硅部件加工废液在线回收系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种在线回收系统，尤其是涉及一种半导体工艺中对硅部件进行生产加工所产生的废液的回收利用系统，属于半导体配套技术领域。


背景技术：

2.目前，在半导体材料领域，硅部件加工过程中的切削废液普遍具有强碱性，含硅粉等问题，因此处于环保要求，需要在厂区内设置收集区域，通过吨桶统一收集后在委外处理，不但花费巨大，且委外方处理也非常浪费资源，不利于节能环保。因此，亟需一种能够解决上述问题的在线回收系统。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种硅部件加工废液在线回收系统，其通过在线处理方式实现了对切削废液的处理，实现了循环回用，起到了节能环保的积极效益。
4.本实用新型的目的是这样实现的：
5.一种硅部件加工废液在线回收系统，包含有切削废水收集地池，所述切削废水收集地池的出液端连通至废水缓存罐，所述废水缓存罐的出液端和浓酸调配罐的出液端均连通至压滤机的进料端，压滤机的出液端经由浊度仪分为两路，一路连通至废水缓存罐，另一路经三通分为两个支路，一条支路连通至调配地池，另一支路连通至浓酸调配罐和珍珠岩调配罐，珍珠岩调配罐的出液口一路连通至切削废水收集地池，另一路连通至压滤机的进料端，调配地池的出液端经精滤器一连通至回用成品地池，回用成品地池的出液端经精滤器二后导入切片车间。
6.优选的，切削废水收集地池并联设置有两组，所述调配地池并联设置有两组，所述回用成品地池并联设置有两组。
7.优选的，所述压滤机上连接有压滤卸压管道，压滤卸压管道的一端与压滤机的出液口相连通，另一端与废水缓存罐的顶部进液口相连通。
8.优选的，所述回用成品地池的出液口经液泵连接至压滤机的二次压榨进水口，且压滤机的二次压榨出水口连接至回用成品地池的进液口。
9.优选的，一回用成品地池的出液口经管路连通至另一回用成品地池的进液口。
10.优选的，切削液吨桶的出液口经由输送泵和计量阀后连通至调配地池。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.本实用新型通过酸液实现了酸碱中和，通过珍珠岩调配罐在压滤机进料前，先将珍珠岩调配罐中的溶液打入压滤机中进行预涂，使得压滤机滤布附上一层珍珠岩溶液的膜，可以使得过滤出来的水更清澈且出干净的水更快；同时通过压滤机实现了对硅粉的过滤和回收，成功而安全有效的实现了切削加工液的回收再利用，且产生的固体废弃物也有较大的经济价值，也符合绿色环保节能的政策要求。
附图说明
13.图1为本实用新型一种硅部件加工废液在线回收系统的示意图。
14.其中：
15.切片车间101；
16.切削废水收集地池1、废水缓存罐2、浓酸调配罐3、珍珠岩调配罐4、压滤机5、浊度仪6、调配地池7、精滤器一8、回用成品地池9、精滤器二10、切削液吨桶11。
具体实施方式
17.参见图1，本实用新型涉及的一种硅部件加工废液在线回收系统，切片车间101内布置的切削废水收集管网连通至切削废水收集地池1，从而将切片车间101内的废液引流至切削废水收集地池1内收集并在切削废水收集地池1内进行搅拌，切削废水收集地池1内收集的废液经由提升泵导入废水缓存罐2内进行搅拌，所述废水缓存罐2的废液导入压滤机5的进料端内，在压滤机进料后期准备卸料前将浓酸调配罐3内的酸液同时导入压滤机5内，从而实现对废液的酸碱中和，随后经由压滤机5压滤后的滤液导出后经由浊度仪6检测，未达标的滤液回流导入废水缓存罐2，达标的滤液分为两路，一路连通至调配地池7，另一端经由流量计后连通至浓酸调配罐3和珍珠岩调配罐4的进液口，实现对浓酸调配罐3的酸度调剂，同时通过珍珠岩调配罐4实现对在压滤机5进料前对压滤机进行预涂，且珍珠岩调配罐4的出液口一路连通至切削废水收集地池1对初始废液进行预调，另一路连通至压滤机5的进料端。同时，针对压滤机5还设置有压滤卸压管道，当压滤机5压滤完成后，需要卸固体废料时，由于管道和压滤机5中都存在压力，且管道及压滤机5中也存在部分废水，因此需通过压滤卸压管道进行卸压，压滤卸压管道连接压滤机5的出液口和废水缓存罐2，从而在卸压时带出废水导入废水缓存罐2内。同时，在压滤机5进料结束和二次鼓膜压榨结束后使用压缩空气进行中心孔余料反吹。
18.调配地池7内的滤液经由精滤器一8过滤一遍后进入回用成品地池9，在回用成品地池9内的滤液经由精滤器二10再次过滤后导入切片车间101内供生产使用。精滤器二10连通至切片车间101的管道在切片车间101铺设支路为设备供液后主管道连通至回用成品地池9构成循环回路（液流：回用成品地池
→
车间机台
→
回用成品地池），以此来保证管路上的输送泵一直恒压运行（还可避免管道中一些絮状物产生），同时还可通过构成循环回路的管道上的变量调节阀来调节流量；设备使用完的废水是通过切削废水收集管网收集到切削废水收集地池1中。
19.同时，回用成品地池9内的滤液泵入压滤机5内提供二次压榨水，且二次压榨后的压榨水回流至回用成品地池9。具体的讲：通过管道连接压滤机5的二次压榨水进口与成品地池9的出液口，通过该管道为压滤机5提供二次压榨水，压滤机5采用的为隔膜压滤机（一块实心板，一块空心板），在压滤机进料后期时（正常供料压力0.65mpa），停止进料泵，打开反压榨泵输送水至空心板中进行鼓膜二次压榨（鼓膜二次压榨压力可达0.85mpa），从而使得压榨的滤饼含水率更低，压榨更充分，二次压榨完成后，通过另一回流管道将二次压榨水回流至回用成品地池9，其液流过程为：回用成品地池
→
压滤机空心泵
→
回用成品地池。
20.所述回用成品地池9并联设置有两组一回用成品地池9的出液口经管路连通至另一回用成品地池9的进液口；此管路上串接有cod检测仪器（cod仪器在循环管道中间），用于
检测回用水的cod值，循环管道一直恒压循环回用水，在cod仪器需取样检测时直接可抽取水样。
21.切削液吨桶11的出液口经由输送泵和计量阀后连通至调配地池7，从而保证随时加入未经使用的切削液与循环液进行调配，保证了回用的切屑液的质量。
22.另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。


技术特征：
1.一种硅部件加工废液在线回收系统，其特征在于：包含有切削废水收集地池（1），所述切削废水收集地池（1）的出液端连通至废水缓存罐（2），所述废水缓存罐（2）的出液端和浓酸调配罐（3）的出液端均连通至压滤机（5）的进料端，压滤机（5）的出液端经由浊度仪（6）分为两路，一路连通至废水缓存罐（2），另一路经三通分为两个支路，一条支路连通至调配地池（7），另一支路连通至浓酸调配罐（3）和珍珠岩调配罐（4），珍珠岩调配罐（4）的出液口一路连通至切削废水收集地池（1），另一路连通至压滤机（5）的进料端，调配地池（7）的出液端经精滤器一（8）连通至回用成品地池（9），回用成品地池（9）的出液端经精滤器二（10）后导入切片车间（101）。2.根据权利要求1所述一种硅部件加工废液在线回收系统，其特征在于：切削废水收集地池（1）并联设置有两组，所述调配地池（7）并联设置有两组，所述回用成品地池（9）并联设置有两组。3.根据权利要求1所述一种硅部件加工废液在线回收系统，其特征在于：所述压滤机（5）上连接有压滤卸压管道，压滤卸压管道的一端与压滤机（5）的出液口相连通，另一端与废水缓存罐（2）的顶部进液口相连通。4.根据权利要求1所述一种硅部件加工废液在线回收系统，其特征在于：所述回用成品地池（9）的出液口经液泵连接至压滤机（5）的二次压榨进水口，且压滤机（5）的二次压榨出水口连接至回用成品地池（9）的进液口。5.根据权利要求2所述一种硅部件加工废液在线回收系统，其特征在于：一回用成品地池（9）的出液口经管路连通至另一回用成品地池（9）的进液口。6.根据权利要求1所述一种硅部件加工废液在线回收系统，其特征在于：切削液吨桶（11）的出液口经由输送泵和计量阀后连通至调配地池（7）。

技术总结
本实用新型一种硅部件加工废液在线回收系统，切削废水收集地池的出液端连通至废水缓存罐，废水缓存罐和浓酸调配罐的均连通至压滤机的进料端，压滤机的出液端经由浊度一路连通至废水缓存罐，另一路经三通后一条支路连通至调配地池，另一支路连通至浓酸调配罐和珍珠岩调配罐，珍珠岩调配罐的出液口一路连通至切削废水收集地池，另一路连通至压滤机的进料端，调配地池的出液端经精滤器一、回用成品地池和精滤器二后导入切片车间。本实用新型一种硅部件加工废液在线回收系统，其通过在线处理方式实现了对切削废液的处理，实现了循环回用，起到了节能环保的积极效益。到了节能环保的积极效益。到了节能环保的积极效益。


技术研发人员：杨东祥 凌海 徐健 陈磊
受保护的技术使用者：江阴东为资源再生技术有限公司
技术研发日：2021.11.05
技术公布日：2023/2/9