半导体12寸MES系统中FOUPClean的自动化流程设计方法及系统与流程

文档序号:31053410发布日期:2022-08-06 09:17阅读:1037来源:国知局
半导体12寸MES系统中FOUPClean的自动化流程设计方法及系统与流程
半导体12寸mes系统中foup clean的自动化流程设计方法及系统
技术领域
1.本发明涉及半导体器件清洗领域,具体涉及一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计方法。


背景技术:

2.在半导体12寸晶圆生产的过程中,foup clean为清洗载具的设备(比如eet vfc301&psth mtcm-830型号的设备)。在清洗载具之前,需要确保载具内没有晶圆,所以清洗过程中载具内是空的。在12寸的生产系统里,需要达到所有过程全自动,而大部分的场景里,载具里都有包含晶圆批次,自动化流程都是围绕批次进行管控,而没有批次的foup clean则无法使用批次场景进行管控。哥瑞利软件股份有限公司设计一套以载具为管控的流程将12寸晶圆工厂的foup clean控制自动化。
3.现有12寸晶圆生产系统以批次为管理中心,对空载具的自动化清洗流程没有对应的标准,有些工厂保留了人工清洗的操作,这种方式无法达成100%全自动(full auto)的关灯工厂标准。


技术实现要素:

4.本发明提供了一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计方法,是一种以载具为中心的自动化异常处理流程。
5.一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计系统,包括载具管理模块(cms)、搬运模块(gtm)、自动化模块(auto),所述载具管理模块管理载具的状态,包括载具的使用次数以及载具的使用时间,所述搬运模块负责与载具管理模块(cms)协作在载具状态dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运,所述自动化模块负责与自动化软件(eap)协作把载具清洗在设备上自动执行起来。
6.作为优选实施例,所述自动化模块包含foup clean的接口供eap使用。
7.一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计方法,包括如下步骤:
8.(1)载具放上端口后,eap发送startclean到mes的自动化模块,此步骤作用在于对载具的开始清洗同步到mes系统;
9.(2)mes把载具状态改变为清洗中,此步骤作用在于对载具的状态呈现给用户;
10.(3)清洗完成后,设备通知eap清洗完成,eap发送endclean到mes的自动化模块,此步骤作用在于对载具的完成清洗同步到mes系统;
11.(4)异常发生时,针对载具进行暂停处理,此步骤作用在于对载具清洗的异常进行自动暂停管理,防止异常载具重复清洗;
12.(5)利用mes系统和eap系统的接口细节,接口细节的作用在于系统之间的固定协议内容。
13.作为优选实施例,利用mes系统和eap系统的接口细节,eap发送mes.startclean到mes(eap-》mes)。
14.作为优选实施例,利用mes系统和eap系统的接口细节,eap发送mes.endclean到mes(eap-》mes)。
15.作为优选实施例,利用mes系统和eap系统的接口细节,eap发送mes.holdcarrier到mes(eap-》mes)。
16.一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计方法,采用本技术的系统。
17.有益效果:本发明是基于wildfly平台搭建的分布式mes系统,采用以载具为中心的自动化异常处理流程设计,能够100%达到自动化清洗流程标准。在传统的以批次为中心的管理设计里,没有批次的空载具无法进行100%自动化管理,需要人为干预清洗过程。在本发明使用之后,12寸半导体生产无尘室可以达到“关灯”效果,无尘室内不需要操作员。
附图说明
18.图1为现有的半导体制造流程示意图。
19.图2为本发明一个实施例中mes系统模块结构示意图。
20.图3为本发明一个实施例中清洗管理流程示意图。
21.图4为本发明一个实施例中自动清洗管理时序图。
22.图5为本发明一个实施例中startclean的设计流程图。
23.图6为本发明一个实施例中endclean的设计流程图。
24.图7为本发明一个实施例中holdcarrier的设计流程图。
具体实施方式
25.下面结合附图对本发明的实施例作详细说明:本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
26.如图1-7所示,一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计系统,包括载具管理模块(cms)、搬运模块(gtm)、自动化模块(auto),所述载具管理模块管理载具的状态,包括载具的使用次数以及载具的使用时间,所述搬运模块负责与载具管理模块(cms)协作在载具状态dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运,所述自动化模块负责与自动化软件(eap)协作把载具清洗在设备上自动执行起来。所述自动化模块包含foup clean的接口供eap使用。
27.一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计方法,包括如下步骤:
28.(1)载具放上端口后,eap发送startclean到mes的自动化模块,此步骤作用在于对载具的开始清洗同步到mes系统;
29.(2)mes把载具状态改变为清洗中,此步骤作用在于对载具的状态呈现给用户;
30.(3)清洗完成后,设备通知eap清洗完成,eap发送endclean到mes的自动化模块,此步骤作用在于对载具的完成清洗同步到mes系统;
31.(4)异常发生时,针对载具进行暂停处理,此步骤作用在于对载具清洗的异常进行自动暂停管理,防止异常载具重复清洗;
32.(5)利用mes系统和eap系统的接口细节,接口细节的作用在于系统之间的固定协议内容。
33.利用mes系统和eap系统的接口细节,eap发送mes.startclean到mes(eap-》mes)。
34.利用mes系统和eap系统的接口细节,eap发送mes.endclean到mes(eap-》mes)。
35.利用mes系统和eap系统的接口细节,eap发送mes.holdcarrier到mes(eap-》mes)。
36.一种基于半导体12寸mes系统的foup clean的自动化流程设计方法,采用本技术的系统。
37.如图1所示,是半导体的制造流程图,一般分三个阶段:
38.(1)从原材料开始到下线作业的准备;
39.(2)生产过程中的前段和后段制程;
40.(3)制造完成后的测试以及入库流程。
41.如图2所示,为本技术中mes系统模块结构示意图:
42.(1)外部接口可以透过rti,bpm,esb模块跟eap和erp通讯;
43.(2)应用模块包括cms,auto,gtm等模块;
44.(3)基础服务包括msg,tsk,arc等模块;
45.(4)开发模块包括构建和部署的自动化模块;
46.(5)运维包括技术看板,监控与通知和日志管理。
47.如图3所示,是本技术中清洗管理流程图:
48.(1)触发载具需要清洗的因素有两个:时间和使用次数;
49.(2)清洗之前确保载具是空的;
50.(3)载具放上设备后eap开始驱动自动化清洗;
51.(4)清洗完成后通知mes系统。
52.如图4所示,是本技术中的自动清洗管理时序图:
53.(1)载具放上设备后,会有一系列的设备动作通知发送到eap;
54.(2)eap通知mes清洗开始(异常情况则把载具暂停);
55.(3)清洗开始进行;
56.(4)清洗完成后自动发送结果到mes系统(异常情况则把载具暂停);
57.(5)清洗完成后,会有一系列的设备动作通知发送到eap。
58.如图5所示,是本技术中的startclean设计方法:
59.(1)request header为通用的发送内容;
60.(2)request body为startclean的独有内容,包含了类型、设备、端口、载具;
61.(3)reply header为通用的回复内容。
62.如图6所示,是本技术中的endclean设计方法:
63.(1)request header为通用的发送内容;
64.(2)request body为endclean的独有内容,包含了类型、设备、载具;
65.(3)reply header为通用的回复内容。
66.如图7所示,是本技术中的holdcarrier设计方法:
67.(1)request header为通用的发送内容;
68.(2)request body为endclean的独有内容,包含了类型、设备、暂停码、暂停原因、暂停备注;
69.(3)reply header为通用的回复内容。
70.本发明是基于wildfly平台搭建的分布式mes系统,采用以载具为中心的自动化异常处理流程设计,能够100%达到自动化清洗流程标准。在传统的以批次为中心的管理设计里,没有批次的空载具无法进行100%自动化管理,需要人为干预清洗过程。在本发明使用之后,12寸半导体生产无尘室可以达到“关灯”效果,无尘室内不需要操作员。
71.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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