一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法与流程

本发明涉及半导体，特别涉及一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法。

背景技术：

1、在集成电路制造中，以半导体晶片为载体进行密集且复杂的工序处理，特别涉及到光刻胶涂布工序、显影工序、烘烤工序和曝光工序等，从而将设计规定好的线路转移到晶片。在这个过程中，晶圆烘烤工序，在晶圆表面的涂布物受高温影响，会产生及大量挥发，然后经过专门的废气排放管路排出。但在排放废气的过程中，会在排放管路中慢慢累积形成残留物，并需要对其进行定期的清理。需要投入大量的时间与人力，并停机进行维护，以保障废气顺利排放。针对这个问题，急需一种自动清洁残留物的装置及方法。

技术实现思路

1、针对上述问题，本发明的目的在于提供一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法，以解决传统方式清除排放管路中累积形成的残留物时，需进行定期停机清理维护，浪费时间及人力成本的问题。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、本发明一实施例提供一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，包括废气前置处理装置、清洁液喷洒装置、竖直废气导出管路及废气废液汇集管路，其中竖直废气导出管路的侧壁上沿高度方向间隔设有多个废气前置处理装置，废气前置处理装置用于废气的入口及残留物清除；清洁液喷洒装置设置于竖直废气导出管路的上端，清洁液喷洒装置用于向竖直废气导出管路的内壁喷洒清洁液；废气废液汇集管路设置于竖直废气导出管路的下端，废气废液汇集管路用于废气和废液的分离和导出。

4、所述废气前置处理装置包括废气进入管路、管路连接座及废气残留物导出装置，其中废气残留物导出装置沿横向设置于所述竖直废气导出管路一侧，且废气残留物导出装置的末端与所述竖直废气导出管路侧壁上设有的安装口密封连接，废气残留物导出装置的前端设有管路连接座，管路连接座与废气进入管路连接。

5、所述废气残留物导出装置包括步进电机、主动同步轮、同步带、从动同步轮、废气残留物刮板及废气缓冲室，其中主动同步轮和从动同步轮分别可转动地设置于废气缓冲室两端，且主动同步轮和从动同步轮通过同步带传动连接；步进电机设置于废气缓冲室的外侧，且输出端穿过废气缓冲室与主动同步轮连接；废气残留物刮板设置于废气缓冲室的末端且与同步带抵接，废气残留物刮板用于刮取同步带上的废气残留物，被刮取的废气残留物沿废气残留物刮板落入所述竖直废气导出管路内。

6、所述主动同步轮的直径大于所述从动同步轮的直径；且所述主动同步轮和所述从动同步轮的底部位于同一平面内。

7、所述管路连接座设置于所述废气缓冲室的前端顶部，使由所述废气进入管路导入的废气垂直进入所述废气缓冲室内。

8、所述清洁液喷洒装置包括清洁液进入管路、清洁液喷头及清洁液喷洒控制系统，其中清洁液喷头插设于所述竖直废气导出管路的顶部，清洁液喷头的下端设有清洁液喷洒孔，清洁液喷头的上端通过清洁液进入管路与清洁液喷洒控制系统连接。

9、所述清洁液喷洒控制系统包括清洁液供给泵和泵工作控制器，其中清洁液供给泵与所述清洁液进入管路连接，清洁液供给泵通过泵工作控制器控制。

10、所述废气废液汇集管路与所述竖直废气导出管路的下端垂直连接；所述废气废液汇集管路的底部设有集液槽，集液槽的底部与废液排出管路连接；

11、所述废气废液汇集管路的末端设有废气排出口，废气排出口位于集液槽的上方，且侧向延伸。

12、本发明另一实施例提供一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的方法，所述方法包括以下步骤：

13、通过多个废气前置处理装置在不同高度将清洁后的废气导入竖直废气导出管路内，竖直废气导出管路内的废气由上向下流动；

14、通过清洁液喷洒装置在竖直废气导出管路的顶部喷洒清洁液，竖直废气导出管路内壁上的废气残留物通过清洁液溶解；

15、通过废气废液汇集管路在竖直废气导出管路的底部进行气液分离且分别导出废气和废液。

16、所述废气前置处理装置包括步进电机、主动同步轮、同步带、从动同步轮、废气残留物刮板及废气缓冲室，其中主动同步轮和从动同步轮分别可转动地设置于废气缓冲室两端，且主动同步轮和从动同步轮通过同步带传动连接；步进电机设置于废气缓冲室的外侧，且输出端穿过废气缓冲室与主动同步轮连接；废气残留物刮板设置于废气缓冲室的末端且与同步带抵接，步进电机驱动同步带转动，同步带上沉积的废气残留物通过废气残留物刮板刮取且落入所述竖直废气导出管路内。

17、本发明的优点及有益效果是：本发明提供的一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法，其装置首先通过废气前置处理装置进行废气清洁处理，以便清洁进入竖直废气导出管路内的废气，降低竖直废气导出管路内的废气残留物的沉积；再通过清洁液喷洒装置中的清洁溶液喷头进行清洁溶液喷洒，通过清洁溶液溶解管路内壁上的废气残留物，进行管路内壁废气残留物的清洁，利用排出废液自身重力，在废液排放管路中排出；清理方式为可设置间隔自动定时清理，节省时间，降低成本。

18、本发明通过多个横向设置的废气残留物导出装置进行废气前置处理，废气残留物导出装置通过传送带沉积废气残留物，通过废气残留物刮板刮取传送带上的沉积废气残留物，操作简单，清洁效果好。

技术特征：

1.一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，包括废气前置处理装置、清洁液喷洒装置(4)、竖直废气导出管路(5)及废气废液汇集管路(6)，其中竖直废气导出管路(5)的侧壁上沿高度方向间隔设有多个废气前置处理装置，废气前置处理装置用于废气的入口及残留物清除；清洁液喷洒装置(4)设置于竖直废气导出管路(5)的上端，清洁液喷洒装置(4)用于向竖直废气导出管路(5)的内壁喷洒清洁液；废气废液汇集管路(6)设置于竖直废气导出管路(5)的下端，废气废液汇集管路(6)用于废气和废液的分离和导出。

2.根据权利要求1所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述废气前置处理装置包括废气进入管路(1)、管路连接座(2)及废气残留物导出装置(3)，其中废气残留物导出装置(3)沿横向设置于所述竖直废气导出管路(5)一侧，且废气残留物导出装置(3)的末端与所述竖直废气导出管路(5)侧壁上设有的安装口密封连接，废气残留物导出装置(3)的前端设有管路连接座(2)，管路连接座(2)与废气进入管路(1)连接。

3.根据权利要求2所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述废气残留物导出装置(3)包括步进电机(301)、主动同步轮(302)、同步带(303)、从动同步轮(304)、废气残留物刮板(305)及废气缓冲室(306)，其中主动同步轮(302)和从动同步轮(304)分别可转动地设置于废气缓冲室(306)两端，且主动同步轮(302)和从动同步轮(304)通过同步带(303)传动连接；步进电机(301)设置于废气缓冲室(306)的外侧，且输出端穿过废气缓冲室(306)与主动同步轮(302)连接；废气残留物刮板(305)设置于废气缓冲室(306)的末端且与同步带(303)抵接，废气残留物刮板(305)用于刮取同步带(303)上的废气残留物，被刮取的废气残留物沿废气残留物刮板(305)落入所述竖直废气导出管路(5)内。

4.根据权利要求3所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述主动同步轮(302)的直径大于所述从动同步轮(304)的直径；且所述主动同步轮(302)和所述从动同步轮(304)的底部位于同一平面内。

5.根据权利要求3所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述管路连接座(2)设置于所述废气缓冲室(306)的前端顶部，使由所述废气进入管路(1)导入的废气垂直进入所述废气缓冲室(306)内。

6.根据权利要求1所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述清洁液喷洒装置(4)包括清洁液进入管路(401)、清洁液喷头(402)及清洁液喷洒控制系统，其中清洁液喷头(402)插设于所述竖直废气导出管路(5)的顶部，清洁液喷头(402)的下端设有清洁液喷洒孔(403)，清洁液喷头(402)的上端通过清洁液进入管路(401)与清洁液喷洒控制系统连接。

7.根据权利要求6所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述清洁液喷洒控制系统包括清洁液供给泵(8)和泵工作控制器(9)，其中清洁液供给泵(8)与所述清洁液进入管路(401)连接，清洁液供给泵(8)通过泵工作控制器(9)控制。

8.根据权利要求1所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置，其特征在于，所述废气废液汇集管路(6)与所述竖直废气导出管路(5)的下端垂直连接；所述废气废液汇集管路(6)的底部设有集液槽(602)，集液槽(602)的底部与废液排出管路(7)连接；

9.一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的方法，其特征在于，所述废气前置处理装置包括步进电机(301)、主动同步轮(302)、同步带(303)、从动同步轮(304)、废气残留物刮板(305)及废气缓冲室(306)，其中主动同步轮(302)和从动同步轮(304)分别可转动地设置于废气缓冲室(306)两端，且主动同步轮(302)和从动同步轮(304)通过同步带(303)传动连接；步进电机(301)设置于废气缓冲室(306)的外侧，且输出端穿过废气缓冲室(306)与主动同步轮(302)连接；废气残留物刮板(305)设置于废气缓冲室(306)的末端且与同步带(303)抵接，步进电机(301)驱动同步带(303)转动，同步带(303)上沉积的废气残留物通过废气残留物刮板(305)刮取且落入所述竖直废气导出管路(5)内。

技术总结
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种应用于排风管道的自动清洁工艺残留物的装置及方法。该装置包括废气前置处理装置、清洁液喷洒装置、竖直废气导出管路及废气废液汇集管路，其中竖直废气导出管路的侧壁上沿高度方向间隔设有多个废气前置处理装置，废气前置处理装置用于废气的入口及残留物清除；清洁液喷洒装置设置于竖直废气导出管路的上端，清洁液喷洒装置用于向竖直废气导出管路的内壁喷洒清洁液；废气废液汇集管路设置于竖直废气导出管路的下端，废气废液汇集管路用于废气和废液的分离和导出。本发明通过废气残留物导出装置配合清洁液喷洒装置及废液排放管路，进行管路内壁废气残留物的清洁，清洁效果较好，降低成本。

技术研发人员：徐庆阳,韩禹,谢永刚,王若愚,周平
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/25