晶圆切割机清洗装置的制作方法

1.本发明涉及晶圆切割机技术领域，特指一种晶圆切割机清洗装置。


背景技术：

2.现有的晶圆切割机，它具有切刀，用于晶圆切割，晶圆切割好之后，需要对晶圆进行清洗，将切割产生的碎屑清洗掉，现有的晶圆切割机，只能对晶圆进行切割，晶圆清洗需要使用专用的清洗设备，设备成本比较高，而且结构复杂。
3.因此，基于上述现有的晶圆切割机清洗设备的缺陷，需要对现有的晶圆切割机清洗设备进行改进。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种晶圆切割机清洗装置，该晶圆切割机清洗装置解决了现有的晶圆清洗设备所存在的：成本高、结构复杂等缺陷。
5.为实现上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：晶圆切割机清洗装置，包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转。
6.进一步的，所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸，顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触。
7.进一步的，所述的物料座上端具有多个固定位。
8.进一步的，所述的清洗桶的下端具有清洗电机，清洗桶内竖直安装有固定轴，清洗电机驱动固定轴，固定轴的上端连接有安装杆，安装杆固定有清洗头。
9.进一步的，所述的安装杆水平设置。
10.本发明的有益效果在于：晶圆从顶盖的开口放入清洗桶内，由旋转电机带动晶圆旋转，实现旋转清洗以及旋转甩干，可以直接安装于切割机内，体积小，结构简单，制造成本低，而且节约了生产工序，提高生产效率。
附图说明
11.图1为本发明的结构示意图。
12.图2为本发明应用的晶圆切割机示意图。
13.标号及说明：
14.进料区1、另一侧形成上料区2、控制区3、电气区4、晶圆5、清洗桶6、物料座7、旋转电机8、顶盖9、支架10、固定位11、顶升气缸12、清洗电机 13、固定轴14、安装杆15、清洗头16。
具体实施方式
15.下面结合附图对本发明作进一步的说明。
16.见图1——图2，本发明应用的晶圆切割机，切割机主体呈方形，它的前端一侧形成进料区1、另一侧形成上料区2，上料区2具有移动门，主体的后端具有检修门，可以进行切刀更换，主体的左侧具有控制区3，用于切割机的操作控制，主体的右侧后端具有电气区4，切割机的主要电气装置都安装在电气区4，便于统一管理，非常方便。
17.本发明晶圆切割机清洗装置包括：清洗桶6，图中未示出清洗桶6的侧壁，清洗桶6的上端顶盖9，清洗桶6的下端安装有支架10，支架10安装于切割机内，进一步的，上料区2包括两个并排设置的部分，一个是切割上料移动轨道区域，另一个即是清洗装置。
18.本发明的清洗桶6内具有物料座7，清洗桶6的下端安装有旋转电机8、顶升气缸12，旋转电机8驱动物料座7旋转，顶升气缸12的伸缩杆与物料座7的底面活动接触，顶升气缸12可以将物料座7向上顶起，晶圆从顶盖9的开口送入到物料座7，顶升气缸向下复位，使物料座7向下带动晶圆进入清洗桶6内进行清洗。
19.本发明的物料座7上端具有多个固定位11，用于对晶圆定位。
20.本发明的清洗桶6的下端具有清洗电机13，清洗电机13驱动位于清洗桶6 内的固定轴14旋转，固定轴14的上端连接有安装杆15，安装杆15固定有清洗头16，清洗电机13驱动固定轴14旋转，使安装杆15带动清洗头16产生旋转，清洗头16对晶圆5进行清洗，同时，通过旋转电机8驱动物料座7旋转，将晶圆5表面的水甩干。
21.本发明应用的切割机可以在切割完成后直接进行清洗，不需要再拿到外部清洗设备进行清洗非常方便。


技术特征：
1.晶圆切割机清洗装置，其特征在于：包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转。2.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洗装置，其特征在于：所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸，顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触。3.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洗装置，其特征在于：所述的物料座上端具有多个固定位。4.根据权利要求1所述的晶圆切割机清洗装置，其特征在于：所述的清洗桶的下端具有清洗电机，清洗桶内竖直安装有固定轴，清洗电机驱动固定轴，固定轴的上端连接有安装杆，安装杆固定有清洗头。5.根据权利要求5所述的晶圆切割机清洗装置，其特征在于：所述的安装杆水平设置。

技术总结
本发明涉及晶圆切割机技术领域，特指一种晶圆切割机清洗装置；本发明包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转；晶圆从顶盖的开口放入清洗桶内，由旋转电机带动晶圆旋转，实现旋转清洗以及旋转甩干，可以直接安装于切割机内，体积小，结构简单，制造成本低，而且节约了生产工序，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。


技术研发人员：魏余红 谭将强
受保护的技术使用者：东莞科卓机器人有限公司
技术研发日：2022.07.18
技术公布日：2022/10/13