一种碳化硅外延粉尘收集装置的制作方法

1.本实用新型涉及碳化硅外延粉尘收集技术领域，具体为一种碳化硅外延粉尘收集装置。


背景技术：

2.在商业碳化硅外延炉中，淀积生长过程会产生大量高温的附属物粉尘和颗粒，这些附属物粉尘和颗粒随着气流沿着真空抽气管道进入工艺真空泵，工艺设备每天在进行24小时连续的运转，大量的附属物粉尘和颗粒堆积在工艺真空泵里面，当工艺真空泵里面的附属物粉尘和颗粒到一定量时，工艺真空泵卡住出现故障，影响碳化硅外延产品的质量，因此需要对外延粉尘与颗粒进行收集处理。
3.但是，现有的碳化硅外延粉尘收集装置，在对外延炉内部的粉尘收集完毕后，需要将其排出，然而内部的粉尘由于长时间在粉尘收集罐内，内壁易粘附粉尘，导致不便于对其进行清理，并且当遇到潮湿的环境时，内部的粉尘易产生结块的现象，导致不易排出而造成内部堵塞的情况，不利于实际使用。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅外延粉尘收集装置，旨在解决现有技术中，不便于清理粉尘收集罐内壁粉尘，潮湿环境内部粉尘易结块而导致内部堵塞的问题
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
6.一种碳化硅外延粉尘收集装置，包括外延炉、粉尘收集罐和工作台，所述粉尘收集罐的一端安装有驱动电机，且驱动电机的输出端连接有驱动轴，所述驱动轴的一端安装有连接杆，所述连接杆的一端安装有清洁辊；
7.所述清洁辊以连接杆为中心呈对称分布设置，所述清洁辊的一端均安装有清洁刷，所述清洁刷呈等距发布设置有若干组。
8.优选的，所述粉尘收集罐的一端连接有l形连通管，且连通管的一端安装有风机，所述连通管的一端连接有外延炉。
9.优选的，所述粉尘收集罐的一端安装有工作台，且工作台的四角均为圆角设置，所述工作台的底部四周均安装有支撑杆，且支撑杆的底部均安装有支撑脚。
10.优选的，所述驱动轴的一端安装有搅拌杆，且搅拌杆以驱动轴为圆心设有多组，所述驱动轴的一端安装有旋转叶片。
11.优选的，所述粉尘收集罐的一端安装有控制箱，所述粉尘收集罐的一端设有观察窗。
12.优选的，所述粉尘收集罐的底部安装有出料口，且出料口的一端安装有控制阀门。
13.本实用新型实施例提供了一种碳化硅外延粉尘收集装置，具备以下有益效果：改进后的碳化硅外延粉尘收集装置，通过驱动电机产生的动力带动输出端的驱动轴进行转
动，从而驱动轴带动一端的连接杆进行转动，配合连接杆两端的清洁刷对粉尘收集罐的内壁进行清理，有利于实际使用，并且通过驱动电机与驱动轴的配合，带动内部的若干组搅拌杆进行转动，防止因潮湿天气而导致内部粉尘结块不易排出的现象发生，提高了该装置的实用性，有利于实际使用。
14.1、通过设置驱动电机、驱动轴以及清洁刷，通过驱动电机产生的动力带动输出端的驱动轴进行转动，从而驱动轴带动一端的连接杆进行转动，配合连接杆两端的清洁刷对粉尘收集罐的内壁进行清理，清理完毕后的粉尘通过一端的出料口排出，提高了清理的便捷性，便于下一次的使用，有利于实际使用。
15.2、通过设置搅拌杆以及旋转叶片，通过驱动电机与驱动轴的配合，带动内部的若干组搅拌杆进行转动，减少因潮湿天气而导致内部粉尘结块不易排出的现象发生，同时底部的旋转叶片能够对底部进行搅拌处理，防止出料口发生堵塞，提高了该装置的实用性，有利于实际使用。
附图说明
16.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
17.图1是本实用新型整体结构示意图；
18.图2是本实用新型粉尘收集罐结构示意图；
19.图3是本实用新型粉尘收集罐正视图结构示意图。
20.图中：1、外延炉；2、风机；3、连通管；4、粉尘收集罐；5、驱动电机；6、搅拌杆；7、观察窗；8、控制箱；9、工作台；10、出料口；11、驱动轴；12、旋转叶片；13、控制阀门；14、清洁辊；15、清洁刷；16、连接杆；17、支撑杆；18、支撑脚。
具体实施方式
21.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
22.实施例：如图1-3所示，一种碳化硅外延粉尘收集装置，包括外延炉1、粉尘收集罐4和工作台9，由于粉尘收集罐4的一端安装有驱动电机5，且驱动电机5的输出端连接有驱动轴11，驱动轴11的一端安装有连接杆16，连接杆16的一端安装有清洁辊14，清洁辊14以连接杆16为中心呈对称分布设置，清洁辊14的一端均安装有清洁刷15，清洁刷15呈等距发布设置有若干组，清洁刷15以及清洁辊14通过驱动电机5产生的动力进行转动，在与粉尘收集罐4内壁接触的过程中将其表面粘附的粉尘进行清理，防止由于内壁粘附粉尘而影响下一次的使用，提高了该装置的实用性。
23.具体的，请参阅图1，由于粉尘收集罐4的一端连接有l形连通管3，且连通管3的一端安装有风机2，连通管3的一端连接有外延炉1，通过风机2产生的负压将外延炉1内部的粉尘吸出，经过连通管3进入粉尘收集罐4进行集中收集。
24.具体的，请参阅图1，由于粉尘收集罐4的一端安装有工作台9，且工作台9的四角均为圆角设置，减少工作过程中对工作人员的碰撞，工作台9的底部四周均安装有支撑杆17，对粉尘收集罐4起到支撑的作用，并且支撑杆17的底部均安装有支撑脚18，能够有效的增加
该装置在运行过程中的稳定性。
25.具体的，请参阅图1-2，由于驱动轴11的一端安装有搅拌杆6，且搅拌杆6以驱动轴11为圆心设有多组，驱动轴11的一端安装有旋转叶片12，搅拌杆6与旋转叶片12通过驱动电机5与驱动轴11的配合进行转动，对内部的粉尘进行搅拌，能够有效的解决内部粉尘由于结块而不便于排出的问题发生，从而提高该装置的使用率。
26.具体的，请参阅图1，由于粉尘收集罐4的一端安装有控制箱8，粉尘收集罐4的一端设有观察窗7，工作人员通过控制箱8对该装置进行控制，同时可通过观察窗7对内部的状况进行实时观察，有利于实际使用。
27.具体的，请参阅图1-2，由于粉尘收集罐4的底部安装有出料口10，且出料口10的一端安装有控制阀门13，当粉尘收集罐4内部的粉尘需要清理时，工作人员即可通过转动控制阀门13将出料口10打开，便于将内部的粉尘进行清理。
28.工作原理：使用时，通过风机2产生的负压将外延炉1内部的粉尘吸出，经过连通管3进入粉尘收集罐4进行集中收集，工作人员通过控制箱8对粉尘收集罐4进行控制，同时可通过观察窗7对内部的状况进行实时观察，通过驱动电机5产生的动力带动输出端的驱动轴11进行转动，从而驱动轴11带动一端的连接杆16进行转动，配合连接杆16两端的清洁刷15对粉尘收集罐4的内壁进行清理，并且内部的搅拌杆6与旋转叶片12随之进行转动，对内部的粉尘进行搅拌，防止内部粉尘由于结块而难以排出，有利于实际使用。


技术特征：
1.一种碳化硅外延粉尘收集装置，包括外延炉(1)、粉尘收集罐(4)和工作台(9)，其特征在于，所述粉尘收集罐(4)的一端安装有驱动电机(5)，且驱动电机(5)的输出端连接有驱动轴(11)，所述驱动轴(11)的一端安装有连接杆(16)，所述连接杆(16)的一端安装有清洁辊(14)；所述清洁辊(14)以连接杆(16)为中心呈对称分布设置，所述清洁辊(14)的一端均安装有清洁刷(15)，所述清洁刷(15)呈等距发布设置有若干组。2.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于，所述粉尘收集罐(4)的一端连接有l形连通管(3)，且连通管(3)的一端安装有风机(2)，所述连通管(3)的一端连接有外延炉(1)。3.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于，所述粉尘收集罐(4)的一端安装有工作台(9)，且工作台(9)的四角均为圆角设置，所述工作台(9)的底部四周均安装有支撑杆(17)，且支撑杆(17)的底部均安装有支撑脚(18)。4.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于，所述驱动轴(11)的一端安装有搅拌杆(6)，且搅拌杆(6)以驱动轴(11)为圆心设有多组，所述驱动轴(11)的一端安装有旋转叶片(12)。5.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于，所述粉尘收集罐(4)的一端安装有控制箱(8)，所述粉尘收集罐(4)的一端设有观察窗(7)。6.根据权利要求1所述的碳化硅外延粉尘收集装置，其特征在于，所述粉尘收集罐(4)的底部安装有出料口(10)，且出料口(10)的一端安装有控制阀门(13)。

技术总结
本实用新型涉及碳化硅外延粉尘收集技术领域，具体涉及一种碳化硅外延粉尘收集装置，包括外延炉、粉尘收集罐和工作台，粉尘收集罐的一端安装有驱动电机，且驱动电机的输出端连接有驱动轴，驱动轴的一端安装有连接杆，连接杆的一端安装有清洁辊，清洁辊以连接杆为中心呈对称分布设置，清洁辊的一端均安装有清洁刷，清洁刷呈等距发布设置有若干组。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置驱动电机、驱动轴以及清洁刷，通过驱动电机产生的动力带动输出端的驱动轴进行转动，从而驱动轴带动一端的连接杆进行转动，配合连接杆两端的清洁刷对粉尘收集罐的内壁进行清理，清理完毕后的粉尘通过一端的出料口排出，提高了清理的便捷性。性。性。


技术研发人员：卢丙法 卢钦佩
受保护的技术使用者：山东惠久精密磨料有限公司
技术研发日：2022.09.09
技术公布日：2022/12/20