一种基片清洗夹具的制作方法

本技术涉及机械领域，具体涉及一种基片清洗夹具。

背景技术：

1、在半导体制造装置中，制造工序中颗粒在基片表面附着是大幅影响产品成品率的因素之一。为此，在对基片进行处理之前或之后需要对基片进行清洗，其目的主要是为了去除吸附在基片表面的各种杂质，如微粒、有机物、金属离子等，使基片表面的洁净度达到工艺要求。针对孔内需要金属化的产品，需要在基片上打孔，打孔的方式是激光烧结孔或者机械钻孔，基片会出现孔内烧结物或者基片粉末，这就需要对基片进行清洗，清洗过程中需要使用到基片清洗夹具。

2、传统的清洗夹具泛用度不高，清洗不同型号的基片时需要更换不同的清洗夹具；在清洗过程中，基片容易从原有的基片夹具中滑落出来，从而导致了破片，大大影响了产品合格率，同时基片通过夹具竖直放置在清洗溶液中，存在有些嵌于孔内侧壁上的杂志未能去除干净，从而导致产品的孔内金属化不完整，影响产品性能问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种基片清洗夹具，包括底座和基片，所述底座开有槽条，所述基片平放在槽条内；所述底座上方设置有横条；所述横条通过在所述底座上移动来固定所述基片。

2、优选的：所述横条设计有凸出部分，与所述凸出部分高度与槽条深度相适配，所述凸出部分宽度和所述槽条宽度相适配。

3、优选的：所述槽条设置有多个。

4、优选的：所述横条的凸出部分数量与槽条数量一致，所述横条两端设置有固定结构。

5、优选的：所述固定结构高度与所述底座高度一致。

6、优选的：所述横条各个凸出部分的间距与所述底座各个槽条之间的间距相适配。

7、优选的：所述横条设置有多个。

8、优选的：所述横条两端的固定结构上均开有螺丝孔。

9、优选的：所述横条通过螺丝与所述底座固定。

10、优选的：所述底座为矩形，所述横条为矩形。

11、本实用新型的技术效果和优点：

12、可以根据不同型号的基片移动横条，使夹具适配于不同型号的基片；夹具的设计可以使基片平放，这样的设计让基片开的孔与清洗溶液更好的接触，孔内的杂质受到重力作用，更容易去除，同时能够大大减少因基片在清洗过程中脱落损坏，造成损失。

技术特征：

1.一种基片清洗夹具，包括底座(1)和基片(4)，其特征在于，所述底座(1)开有槽条，所述基片(4)平放在槽条内；

2.根据权利要求1所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)设计有凸出部分，与所述凸出部分高度与槽条深度相适配，所述凸出部分宽度和所述槽条宽度相适配。

3.根据权利要求2所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述槽条设置有多个。

4.根据权利要求3所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)的凸出部分数量与槽条数量一致，所述横条两端设置有固定结构。

5.根据权利要求4所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述固定结构高度与所述底座(1)高度一致。

6.根据权利要求5所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)各个凸出部分的间距与所述底座(1)各个槽条之间的间距相适配。

7.根据权利要求1所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)设置有多个。

8.根据权利要求5所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)两端的固定结构上均开有螺丝孔。

9.根据权利要求8所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述横条(2)通过螺丝(3)与所述底座(1)固定。

10.根据权利要求1所述的一种基片清洗夹具，其特征在于，所述底座(1)为矩形，所述横条(2)为矩形。

技术总结
本技术公开了一种基片清洗夹具，包括底座和基片，底座开有槽条，基片平放在槽条内；底座上方设置有横条；横条通过在底座上移动来固定基片。常规的基片清洗夹具，大多是把基片竖直的放进基片盒中，实用酸碱溶液浸泡，超声清洗，因为是竖直放置，基片的孔是横向的，孔内杂质不容易清洗掉，存在残留，从而导致孔内金属化不完整；本技术，为了让基片更好地与酸碱溶液接触，将基片平铺于清洗夹具中，基片的孔是竖向的，可利用重力将基片孔内处理干净，保证产品器件的完整性；也能够大大减少因基片在清洗过程中脱落损坏，造成损失；同时可以根据不同型号的基片移动横条，使夹具适配于不同型号的基片。

技术研发人员：殷敏,周丹,徐亚龙,沈健
受保护的技术使用者：苏州华勤源微电子科技有限公司
技术研发日：20221122
技术公布日：2024/1/13