火山口清洁夹具的制作方法

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种火山口清洁夹具。

背景技术：

1、电子枪是产生电子束的部件，由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。其原理是：阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在磁场的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转射入装有源锭的坩埚中，其动能变成热能使源锭材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。

2、目前电子枪在镀膜过程中，会沉积大量金属薄膜在坩埚和火山口表面，伴随膜厚的增加，坩埚与火山口表面安全距离不足，此时需对坩埚与火山口进行清洁。

3、当前在清理火山口时没有配套的清理装置，清理过程中，通常使用无尘布垫于地板防尘垫上，用脚踩住火山口固定进行人工清洁，由于清洁时火山口易滑动，容易划伤火山口的表面，效率低且存在安全隐患。

4、因此需要一种火山口清洁夹具，在清洁过程中可对火山口进行定位，以方便火山口的清洁。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种火山口清洁夹具，该夹具具有用于对火山口呈卧式姿态定位的卧姿安装位，以及对火山口呈立式姿态定位的立姿安装位，方便对火山口清理时定位，利于提高火山口的清理效率，消除清理过程中火山口滑动造成的损伤以及安全隐患。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种火山口清洁夹具，包括：夹具本体；

3、所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；

4、所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。

5、可选地，所述立姿安装位设置有多个，所述火山口安装于所述立姿安装位时，各所述立姿安装位对应的所述火山口的立式姿态的方位不同。

6、可选地，所述卧姿安装位包括开设于所述夹具本体上的卧姿安装槽，所述火山口安装于所述卧姿安装槽内时，所述卧姿安装槽与所述火山口的外轮廓适形配置。

7、可选地，所述立姿安装位包括开设于所述夹具本体上的立式插槽。

8、可选地，所述夹具本体上具有安装面，各所述立姿安装位均开设于所述安装面上，所述立式插槽的开设方向与所述安装面呈夹角设置，各所述立式插槽的开设方向与所述安装面的夹角不同。

9、可选地，所述立式插槽的开口呈t型。

10、可选地，所述立式插槽的槽底开设有通孔。

11、可选地，所述夹具本体上具有安装面，所述卧姿安装位和立姿安装位均开设于所述安装面上。

12、可选地，各所述立姿安装位围绕所述卧姿安装位周向设置。

13、可选地，所述夹具本体上设置有用于将夹具本体固定在其他部件上的安装部。

14、综上所述，本实用新型提供的火山口清洁夹具，包括：夹具本体；所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。

15、如此配置，该结构的清洁夹具，可将火山口安装于不同的安装位上定位，不同的安装位分别对应于火山口的卧姿姿态和立姿状态的定位，方便在各个方向对火山口的清理，利于提高火山口的清理效率，降低清洁难度，消除清理过程中火山口滑动造成的损伤以及安全隐患，同时也改善清洁过程中导致的形变情况。

技术特征：

1.一种火山口清洁夹具，其特征在于，包括：夹具本体；

2.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述立姿安装位设置有多个，所述火山口安装于所述立姿安装位时，各所述立姿安装位对应的所述火山口的立式姿态的方位不同。

3.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述卧姿安装位包括开设于所述夹具本体上的卧姿安装槽，所述火山口安装于所述卧姿安装槽内时，所述卧姿安装槽与所述火山口的外轮廓适形配置。

4.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述立姿安装位包括开设于所述夹具本体上的立式插槽。

5.如权利要求4所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述夹具本体上具有安装面，各所述立姿安装位均开设于所述安装面上，所述立式插槽的开设方向与所述安装面呈夹角设置，各所述立式插槽的开设方向与所述安装面的夹角不同。

6.如权利要求4所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述立式插槽的开口呈t型。

7.如权利要求4所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述立式插槽的槽底开设有通孔。

8.如权利要求2所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述夹具本体上具有安装面，所述卧姿安装位和立姿安装位均开设于所述安装面上。

9.如权利要求8所述的火山口清洁夹具，其特征在于，各所述立姿安装位围绕所述卧姿安装位周向设置。

10.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述夹具本体上设置有用于将夹具本体固定在其他部件上的安装部。

技术总结
本技术涉及半导体制造技术领域，提供了一种火山口清洁夹具，包括：夹具本体；所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。如此配置，该结构的清洁夹具，可将火山口安装于不同的安装位上定位，不同的安装位分别对应于火山口的卧姿姿态和立姿状态的定位，方便在各个方向对火山口的清理，利于提高火山口的清理效率，降低清洁难度，消除清理过程中火山口滑动造成的损伤以及安全隐患，同时也改善清洁过程中导致的形变情况。

技术研发人员：朱鹏,周立超,曹乐,张建康
受保护的技术使用者：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
技术研发日：20221206
技术公布日：2024/1/12