尿素处理装置以及尿素处理方法与流程

本申请基于2021年2月17日提出的日本申请特愿2021-23654，并主张基于该申请的优先权。该申请整体作为参照而被引入本申请。本发明涉及尿素处理装置以及处理方法，尤其涉及纯水制造工艺中的尿素处理装置以及尿素处理方法。

背景技术：

1、用于从自来水、地下水、工业用水等原水制造纯水的纯水制造装置例如是将反渗透膜装置、离子交换装置、紫外线氧化装置等进行组合而构成的。在原水中含有尿素的情况下，尿素是反渗透膜装置、离子交换装置以及紫外线氧化装置均难以去除的物质，因生成的纯水中残留尿素，故该纯水的toc(总有机碳；total organic carbon)浓度上升。在对为了半导体制造等用途而纯度特别高的纯水即超纯水进行制造等情况下，所得到的超纯水中的toc浓度的上限值被严格设定，因此需要从原水中去除尿素的工序。

2、在jp特开平9-94585号公报中公开了如下方法：将生成次溴酸盐的药剂加入原水并供给至反应槽，且在反应槽内利用次溴酸盐来分解去除尿素。

3、一般而言，关于尿素分解反应，反应需要时间，因此需要在反应槽中的滞留时间长。在这样的尿素处理方法(处理装置)中存在如下问题：尿素在反应槽内未被分解干净而流出至反应槽的后级的情况下，即使在该时间点向原水进一步追加投入用于生成次溴酸盐的药剂，至得到去除尿素后的处理水为止会发生时滞。在此期间，存在向使用点供给了toc值已上升的处理水的问题。

4、因此，本发明的目的在于，提供尿素处理装置以及尿素处理方法，能抑制向使用点供给toc值上升了的处理水。

技术实现思路

1、本发明涵盖以下的[1]至[10]的构成。

2、[1]一种尿素处理装置，对被处理水中的尿素进行处理，所述尿素处理装置具备：

3、第一反应槽，其对所述被处理水中的尿素进行处理；

4、第一添加单元，其与所述第一反应槽连接或与连接于所述第一反应槽且向所述第一反应槽供给所述被处理水的第一配管连接，并向所述被处理水添加溴化物盐和氯系氧化剂；

5、第二反应槽，其对由所述第一反应槽处理后的第一处理水中残存的尿素进行处理；以及

6、第二添加单元，其与所述第二反应槽连接或与连接于所述第二反应槽且向所述第二反应槽供给所述第一处理水的第二配管连接，并向所述第一处理水添加氯系氧化剂或无机酸的至少一者。

7、[2]在上述[1]记载的尿素处理装置的基础上，所述第二反应槽中的所述第一处理水的滞留时间短于所述第一反应槽中的所述被处理水的滞留时间。

8、[3]在上述[1]或[2]记载的尿素处理装置的基础上，所述尿素处理装置具有：

9、toc计或尿素计，其设置于所述第二反应槽的后级，对由所述第二反应槽处理后的第二处理水中的toc浓度或尿素浓度进行监视；以及

10、根据所述第二处理水中的toc浓度或尿素浓度对来自所述第一添加单元和/或所述第二添加单元的添加量进行控制的单元。

11、[4]在上述[1]至[3]中任一项记载的尿素处理装置的基础上，所述尿素处理装置具备还原剂的添加单元，所述还原剂的添加单元设置于所述第二反应槽的后级，所述还原剂对所述第二处理水中含有的氧化剂成分进行还原。

12、[5]一种纯水制造系统，具备：

13、上述[1]至[4]中任一项记载的尿素处理装置；

14、离子交换装置，其设置于所述尿素处理装置的后级，且被供给由所述尿素处理装置处理后的水；以及

15、反渗透膜装置，其设置于所述离子交换装置的后级，且被供给由所述离子交换装置处理后的水。

16、[6]一种尿素处理方法，是对被处理水中的尿素进行处理的方法，所述尿素处理方法包括：

17、第一处理工序，向所述被处理水添加溴化物盐和氯系氧化剂作为尿素分解剂来处理所述尿素；以及

18、第二处理工序，向由所述第一处理工序得到的第一处理水添加氯系氧化剂或无机酸的至少一者作为尿素分解剂，来对所述第一处理水中残存的尿素进行处理。

19、[7]在上述[6]记载的尿素处理方法的基础上，所述第二处理工序的处理时间短于所述第一处理工序的处理时间。

20、[8]在上述[6]或[7]记载的尿素处理方法的基础上，所述尿素处理方法包括：

21、测量工序，对由所述第二处理工序得到的第二处理水中的toc或尿素浓度进行测量；以及

22、添加量控制工序，根据所述第二处理水中的toc或尿素浓度来对所述第一处理工序和/或第二处理工序中的尿素分解剂的添加量进行控制。

23、[9]在上述[6]至[8]中任一项记载的尿素处理方法的基础上，所述尿素处理方法包括：还原工序，对所述第二处理水中含有的氧化剂成分进行还原。

24、[10]一种纯水制造方法，包括上述[6]至[9]中任一项记载的尿素处理方法作为预处理工序。

25、根据本发明，能够提供尿素处理装置以及尿素处理方法，能抑制向使用点供给toc值上升了的处理水。

26、上述以及其他的本申请的目的、特征以及优点通过参照例示了本申请的附图的以下描述的详细的说明而明确。

技术特征：

1.一种尿素处理装置，对被处理水中的尿素进行处理，所述尿素处理装置具备：

2.根据权利要求1所述的尿素处理装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的尿素处理装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的尿素处理装置，其中，

5.一种纯水制造系统，具备：

6.一种尿素处理方法，是对被处理水中的尿素进行处理的方法，所述尿素处理方法包括：

7.根据权利要求6所述的尿素处理方法，其中，

8.根据权利要求6或7所述的尿素处理方法，其中，

9.根据权利要求6至8中任一项所述的尿素处理方法，其中，

10.一种纯水制造方法，包括权利要求6至9中任一项所述的尿素处理方法作为预处理工序。

技术总结
本发明提供尿素处理装置以及尿素处理方法，能抑制向使用点供给的处理水的TOC值的上升。对被处理水中的尿素进行处理的尿素处理装置具备：第一反应槽，其对所述被处理水中的尿素进行处理；第一添加单元，其与所述第一反应槽连接或与连接于所述第一反应槽且向所述第一反应槽供给所述被处理水的第一配管连接，并向所述被处理水添加溴化物盐和氯系氧化剂；第二反应槽，其对由所述第一反应槽处理后的第一处理水中残存的尿素进行处理；以及第二添加单元，其与所述第二反应槽连接或与连接于所述第二反应槽且向所述第二反应槽供给所述第一处理水的第二配管连接，并向所述第一处理水添加氯系氧化剂或无机酸的至少一者。该装置用于尿素处理方法。

技术研发人员：盐谷惟,高桥一重,须藤史生
受保护的技术使用者：奥加诺株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15