加热器清扫装置的制作方法

本发明涉及半导体，特别涉及一种加热器清扫装置。

背景技术：

1、在半导体加工技术中，晶圆加热是必不可少的加工工艺，加热器是用于对硅片加热的工具。

2、加热器通常具有加热面，晶圆转运至加热器的加热面上进行加热。为便于晶圆的转运，加热器的加热面上通常开设有若干个贯通的通孔，该通孔内可升降的设置有升降杆，升降杆通过升降可将晶圆顶起或者放下，便于机械爪抓取晶圆转运。而顶杆的往复的升降过程中会与加热器的通孔摩擦进而产生微小的颗粒，该微小颗粒容易污染晶圆。因此，需要定期对该通孔进行清洁，现有的清洁方式通常是人工对每个通孔逐一清洁，一方面该清洁方式效率较低，另一方面，其中一个通孔在清洁过程中，容易对其他通孔造成二次污染，清洁效果较差。

3、因此，亟需一种加热器清扫装置，在保证较高清洁效率的同时，也可提高清洁质量。

技术实现思路

1、发明提供了一种加热器清扫装置，该加热器清扫装置通过设置多个吹扫头同时对加热器的各个通孔进行清洁，利于提高清洁效率，同时提高清洁质量。

2、所述加热器清扫装置包括：吹扫架以及若干个吹扫头；

3、所述吹扫头设置于所述吹扫架上；

4、所述吹扫架用于与加热器装配，并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对，各所述吹扫头用于同时向各所述通孔内吹气。

5、可选地，所述加热器清扫装置还包括定位件，所述定位件设置于所述吹扫架上，所述吹扫架与所述加热器装配时，所述定位件用于使得所述吹扫架相对所述加热器定位，并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对。

6、可选地，所述定位件具有贴合面，所述贴合面用于贴合于所述加热器的外周面；和/或，所述定位件包括销轴，所述定位销用于沿所述加热器的轴向插装于所述加热器的工艺孔内。

7、可选地，所述定位件为环形套筒。

8、可选地，所述吹扫架为圆盘形，所述定位件与所述吹扫架同轴设置。

9、可选地，所述加热器清扫装置还包括若干个支管以及总管，所述吹扫头与一所述支管连通，各所述支管与所述总管连通；和/或；所述加热器清扫装置还包括过滤器，所述过滤器与所述吹扫头连通，用于过滤通入吹扫头内的气体。

10、可选地，所述加热器清扫装置还包括把手，所述把手设置于所述吹扫架上。

11、可选地，所述把手以及所述吹扫头的出口端分别沿第一方向位于所述吹扫架的两侧；和/或，各所述吹扫头围绕所述把手设置。

12、可选地，所述吹扫头包括吹扫管和锁紧件，所述吹扫架上沿第一方向开设有安装孔，所述吹扫头沿第一方向穿过所述安装孔，并通过所述锁紧件固定于所述吹扫架上。

13、可选地，所述吹扫管的外壁设置有阻挡件，所述阻挡件沿所述第一方向抵在所述吹扫架的一侧，所述锁紧件与所述吹扫管的螺纹传动配合，并沿第一方向压紧于所述吹扫架的另一侧。

14、综上所述，所述加热器清扫装置包括：吹扫架以及若干个吹扫头；所述吹扫头设置于所述吹扫架上；所述吹扫架用于与加热器装配，并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对，各所述吹扫头用于同时向各所述通孔内吹气。

15、如此配置，本发明的吹扫架上集成有多个吹扫头，吹扫架与加热器装配后，各所述吹扫头与加热器上的通孔一一匹配，并对各个通孔同步吹气，使得各个通孔被同步清洁，经过某个通气孔的带有颗粒如的气流不会回流至其他通气孔内，故清洁后的带有颗粒物的气体不会对通孔造成二次污染；在同步吹气清洁过程中，可保证各个通孔内的颗粒物均被吹出，提高清洁效果；而且在保证较高清洁质量的前提下，还有效提高了清洁效率。

技术特征：

1.一种加热器清扫装置，其特征在于，包括：吹扫架以及若干个吹扫头；

2.如权利要求1所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述加热器清扫装置还包括定位件，所述定位件设置于所述吹扫架上；所述吹扫架与所述加热器装配时，所述定位件用于使得所述吹扫架相对所述加热器定位，并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对。

3.如权利要求2所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述定位件具有贴合面，所述贴合面用于贴合于所述加热器的外周面；和/或，所述定位件包括销轴，所述定位销用于沿所述加热器的轴向插装于所述加热器的工艺孔内。

4.如权利要求2所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述定位件为环形套筒。

5.如权利要求4所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述吹扫架为圆盘形，所述定位件与所述吹扫架同轴设置。

6.如权利要求1所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述加热器清扫装置还包括若干个支管以及总管，所述吹扫头与一所述支管连通，各所述支管与所述总管连通；和/或；所述加热器清扫装置还包括过滤器，所述过滤器与所述吹扫头连通，用于过滤通入吹扫头内的气体。

7.如权利要求1所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述加热器清扫装置还包括把手，所述把手设置于所述吹扫架上。

8.如权利要求7所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述把手以及所述吹扫头的出口端分别沿第一方向位于所述吹扫架的两侧；和/或，各所述吹扫头围绕所述把手设置。

9.如权利要求1所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述吹扫头包括吹扫管和锁紧件，所述吹扫架上沿第一方向开设有安装孔，所述吹扫头沿第一方向穿过所述安装孔，并通过所述锁紧件固定于所述吹扫架上。

10.如权利要求9所述的加热器清扫装置，其特征在于，所述吹扫管的外壁设置有阻挡件，所述阻挡件沿所述第一方向抵在所述吹扫架的一侧，所述锁紧件与所述吹扫管的螺纹传动配合，并沿第一方向压紧于所述吹扫架的另一侧。

技术总结
本发明涉及半导体技术领域，提供了一种加热器清扫装置，包括：吹扫架以及若干个吹扫头；所述吹扫头设置于所述吹扫架上；所述吹扫架用于与加热器装配，并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对，各所述吹扫头用于同时向各所述通孔内吹气。如此配置，本发明的吹扫架上集成有多个吹扫头，吹扫架与加热器装配后，各所述吹扫头与加热器上的通孔一一匹配，并对各个通孔同步吹气，各个通孔被同步清洁，且清洁后的带有颗粒物的气体不会对通孔造成二次污染；同步吹气清洁过程中，可保证各个通孔内的颗粒物均被吹出，提高清洁效果；在保证较高清洁质量的前提下，还有效提高了清洁效率。

技术研发人员：张啸,李哲懿,刘涛,柳小敏,朱亮
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13