一种大管径石英管清洗工艺及其装置的制作方法

本发明涉及半导体加工，具体来说，涉及一种大管径石英管清洗工艺及其装置。

背景技术：

1、现有石英管清洗技术中，由于石英管是由二氧化硅制成的，具有稳定的化学和物理性能，清洗中较多的采用氢氟酸，一般做法是将石英管放在盛有氢氟酸的卧式酸洗槽内泡洗，泡洗完后用大量的水冲洗，再进行烘干，这样做虽然简单、快捷，但存在以下几个方面的问题：第一，若酸的浓度掌握不好，则会影响清洗效果，导致石英管表面杂质清洗不干净，或是影响石英管的性能；第二，酸泡后用大量水冲洗，会对水资源造成严重浪费，第三，难以实现直径1米以上的石英管，进行清洗，导致清洗不彻底，影响清洗质量。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种大管径石英管清洗工艺及其装置，具备设计合理，使用方便，节省水资源的优点，进而解决了无法对管径较大的石英管进行清洗，以及清洗不彻底，影响清洗质量的问题。

2、为实现上述设计合理，使用方便，节省水资源的优点，本发明采用的具体技术方案如下：

3、一种大管径石英管清洗工艺及其装置，包括石英管与箱体，所述箱体的一侧设置有用于清洗石英管的清洗机构，清洗机构延伸至箱体内，所述箱体设置有用于旋转石英管的导向机构，石英管的下方设置有超声波振子，所述导向机构包括滚轮、包胶轴、框架、链条、电机、齿轮，所述滚轮与包胶轴连接，分别对应在框架的两端，所述防腐电机设置在框架上，并通过链条与包胶轴上的齿轮连接，箱体上设置有加热器。

4、进一步的，所述清洗机构包括喷淋气缸、喷头、风吹气缸、喷嘴、移动架、连接管，所述喷淋气缸与风吹气缸设置有安装支架，并通过安装支架安装在移动架上，两组所述连接管的一端与喷淋气缸与风吹气缸连接，另一端上设置有清洗石英管的喷头与喷嘴。

5、进一步的，所述连接管为y形管体，数组喷头与喷嘴分别相对设置在连接管的内侧，并与石英管的管体位置相对应。

6、进一步的，所述移动架的底部设置有滑销，并设置有与滑销相配合有滑槽。

7、进一步的，所述电机根据工艺需要为防腐电机。

8、进一步的，所述框架、链条与滚轮为非金属材质，优选铁氟龙或者尼龙材质。

9、进一步的，所述箱体整个装置为pvc或尼龙材质制作，骨架为不锈钢，外包pvc。

10、一种大管径石英管清洗工艺，操作流程如下：

11、第一步、操作人员将石英管放入装置中，放置在装置滚轮上电机通过链条带动滚轮缓慢旋转；

12、第二步、在箱体内加入纯水，淹过石英管三分之一，开启超声波，石英管5保持5分钟一圈的速度，旋转6-8圈后，排出纯水；

13、第三步、加入酸液，sc-ⅱ酸洗溶液是由盐酸：双氧水：纯水配比组成，盐酸：双氧水：纯水为1:1:3~6。加热器1工作，酸洗温度控制在40℃，石英管5控制在5分钟一圈的速度，旋转3-4圈后排出；

14、第四步、喷淋气缸将喷头伸出，喷头倾斜，碰出方向与石英管旋转方向相反，冲出高压纯水，石英管保持2分钟一圈的速度，旋转2圈，将酸液冲洗掉；

15、第五步、在箱体内加入纯水，开启超声波，石英管保持2分钟一圈的速度，旋转2圈；

16、第六步、风吹气缸将喷嘴伸出，伸出让石英管保持2分钟一圈的速度，旋转2圈；

17、最后、操作人员包上无尘薄膜，保持2分钟一圈的速度，旋转1.1圈，将石英管包装好。

18、与现有技术相比，本发明提供了一种大管径石英管清洗工艺及其装置，具备以下有益效果：

19、它具有使用方便，节省水资源的优点，还可以对大口径石英管半导体级洗净，不存在清洗死角，在保证石英管的良好性能的前提下提高清洗质量。通过将两组连接管接通纯水与通气，喷淋气缸将喷头伸出，喷头倾斜，碰出方向与石英管旋转方向相反，冲出高压纯水，风吹气缸将喷嘴伸出，对石英管的表面进行吹气，从而使在清洗时不存在清洗死角，通过放置在装置滚轮上电机通过链条带动滚轮缓慢旋转；从而石英管旋转在滚轮上，底部超声波振子对石英管进行振动，适应不同尺寸的石英管进行清洗。

技术特征：

1.一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：包括石英管(5)与箱体(6)，所述箱体(6)的一侧设置有用于清洗石英管(5)的清洗机构(2)，清洗机构(2)延伸至箱体(6)内，所述箱体(6)设置有用于旋转石英管(5)的导向机构(3)，石英管(5)的下方设置有超声波振子(4)，所述导向机构(3)包括滚轮(31)、包胶轴(32)、框架(33)、链条(34)、电机(35)、齿轮(36)，所述滚轮(31)与包胶轴(32)连接，分别对应在框架(33)的两端，所述防腐电机(35)设置在框架(33)上，并通过链条(34)与包胶轴(32)上的齿轮(36)连接，箱体(6)上设置有加热器(1)。

2.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述清洗机构(2)包括喷淋气缸(21)、喷头(22)、风吹气缸(23)、喷嘴(24)、移动架(25)、连接管(26)，所述喷淋气缸(21)与风吹气缸(23)设置有安装支架，并通过安装支架安装在移动架(25)上，两组所述连接管(26)的一端与喷淋气缸(21)与风吹气缸(23)连接，另一端上设置有清洗石英管(5)的喷头(22)与喷嘴(24)。

3.根据权利要求2所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述连接管(26)为y形管体，数组喷头(22)与喷嘴(24)分别相对设置在连接管(26)的内侧，并与石英管(5)的管体位置相对应。

4.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述移动架(25)的底部设置有滑销，并设置有与滑销相配合有滑槽。

5.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述电机(35)根据工艺需要为防腐电机。

6.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述框架(33)、链条(34)与滚轮(31)为非金属材质，优选铁氟龙或者尼龙材质。

7.根据权利要求1所述一种大管径石英管清洗装置，其特征在于：所述箱体(6)整个装置为pvc或尼龙材质制作，骨架为不锈钢，外包pvc。

8.一种大管径石英管清洗工艺，操作流程如下：

技术总结
本发明公开了一种大管径石英管清洗装置，包括石英管与箱体，所述箱体的一侧设置有用于清洗石英管的清洗机构，清洗机构延伸至箱体内，所述箱体设置有用于旋转石英管的导向机构，石英管的下方设置有超声波振子，所述导向机构包括滚轮、包胶轴、框架、链条、电机、齿轮，所述滚轮与包胶轴连接，分别对应在框架的两端，所述防腐电机设置在框架上，并通过链条与包胶轴上的齿轮连接，箱体上设置有加热器。有益效果：它具有使用方便，节省水资源的优点，还可以对大口径石英管半导体级洗净，不存在清洗死角，在保证石英管的良好性能的前提下提高清洗质量。

技术研发人员：陈海源,张月清,杨军
受保护的技术使用者：江苏富乐德石英科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13