一种用于清洁衬底的装置和系统的制作方法

本发明涉及衬底，具体为一种用于清洁衬底的装置和系统。

背景技术：

1、半导体显示衬底在生产制造过程中需要经过多道清洗工序，例如化学清洗、超声波清洗以及超高压水洗等。化学清洗是将半导体显示衬底浸泡在化学试剂一段时间，以达到清除半导体显示衬底表面的污垢的清洗方法。

2、如中国专利公开号为cn211965189u，该专利文献所公开的技术方案如下：一种半导体显示衬底的化学清洗设备，包括清洗槽、清洗治具和驱动机构，清洗治具用于放置半导体显示衬底，包括安装框架和多个放置结构，驱动机构用于驱动清洗治具作上下往复直线运动。

3、针对现有技术存在以下问题：

4、现有技术中通过伸缩杆将放置块和安装框架连接，从而可以通过改变伸缩杆的长度进而改变两个放置块的距离，从而适应不同大小的半导体显示衬底，但是在调节的过程中操作不够便利需要挨个调节，费时费力，降低了衬底的清洁效率。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于清洁衬底的装置和系统。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于清洁衬底的装置，包括清洗槽，所述清洗槽的外壁固定安装有支架，所述支架的内部设置有横板，所述横板的底部设置有调节机构，所述调节机构包括电机、连轴杆、锥齿一、双向螺纹杆、锥齿二、连接板、轴承、孔洞一、移动板、圆杆、框体、孔洞二、安装板，所述电机固定安装在横板的底部，所述电机的输出端与连轴杆的一端固定连接，所述锥齿一固定安装在连轴杆的另一端，所述锥齿一与锥齿二啮合连接，所述双向螺纹杆穿过孔洞一与移动板螺纹连接。

5、优选的，所述连接板的顶部与横板的底部固定连接，所述轴承固定安装在连接板的左侧外壁，所述双向螺纹杆的一端与轴承的内圈固定连接，所述锥齿二固定安装在双向螺纹杆的另一端，所述孔洞一开设在移动板上，通过设置轴承可以固定双向螺纹杆。

6、优选的，所述移动板、圆杆和安装板的数量皆为两个，两个移动板分别位于框体的左右两侧，所述孔洞二开设在框体上，两个安装板皆设置在框体的内部，且相对设置，通过设置安装板是为了方便固定需要清洗的衬底。

7、优选的，两个圆杆的一端分别与两个移动板的外壁固定连接，所述圆杆穿过孔洞二与孔洞二滑动连接，两个圆杆的另一端分别与两个安装板的外壁固定连接，所述框体的顶部固定安装有连接架，且连接架的顶部与横板的底部固定连接，通过设置连接架可以提高框体连接的牢固性。

8、优选的，两个所述安装板上皆设置有固定机构，所述固定机构包括u型板、弹簧、压板，所述u型板固定安装在安装板的外壁，所述弹簧的两端分别与u型板的内壁和压板的外壁固定连接，所述u型板上开设有通孔，通过将需要清洗的衬底两侧分别放置到相对设置的u型板内部，压板在弹簧的作用下压住衬底，达到固定的目的，且配合通孔使得衬底被清洗的更彻底。

9、优选的，所述支架上设置有升降机构，所述升降机构包括液压杆、限位杆，所述液压杆固定安装在支架的内部，所述液压杆的输出端与横板的顶部固定连接，所述限位杆固定安装在支架的内部，所述限位杆贯穿横板与横板滑动连接。

10、优选的，所述清洗槽的内壁底部设置有坡面，所述清洗槽的右侧底部连通设置有排放管，且排放管上设置有控制阀。

11、一种用于清洁衬底的系统，所述用于清洁衬底的系统包括如权利要求-任一项所述的用于清洁衬底的装置。

12、(三)有益效果

13、与现有技术相比，本发明提供了一种用于清洁衬底的装置和系统，具备以下有益效果：

14、1、该一种用于清洁衬底的装置和系统，通过启动电机，电机带动连轴杆转动，连轴杆带动锥齿一转动，锥齿一带动锥齿二转动，锥齿二带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆带动两个移动板移动，两个移动板通过两个圆杆带动两个安装板相互靠近或远离，达到调节两个安装板之间距离的目的，使得该装置可以适应不同尺寸的衬底进行清洗，且调节快速便捷，提高清洗效率。

15、2、该一种用于清洁衬底的装置和系统，通过将需要清洗的衬底两侧分别放置到相对设置的u型板内部，压板在弹簧的作用下压住衬底，达到固定的目的，且配合通孔使得衬底被清洗的更彻底。

16、3、该一种用于清洁衬底的装置和系统，通过启动液压杆，液压杆带动横板上下移动，横板带动框体上下移动，从而带动框体进出清洗槽，便于清洗前后衬底的放取。

17、4、该一种用于清洁衬底的装置和系统，通过限位杆可以使得升降的过程更稳定，通过设置连接架可以提高框体连接的牢固性，通过设置坡面可以便于从排放管排出清洗液。

技术特征：

1.一种用于清洁衬底的装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)的外壁固定安装有支架(2)，所述支架(2)的内部设置有横板(3)，所述横板(3)的底部设置有调节机构(4)，所述调节机构(4)包括电机(401)、连轴杆(402)、锥齿一(403)、双向螺纹杆(404)、锥齿二(405)、连接板(406)、轴承(407)、孔洞一(408)、移动板(409)、圆杆(410)、框体(411)、孔洞二(412)、安装板(413)，所述电机(401)固定安装在横板(3)的底部，所述电机(401)的输出端与连轴杆(402)的一端固定连接，所述锥齿一(403)固定安装在连轴杆(402)的另一端，所述锥齿一(403)与锥齿二(405)啮合连接，所述双向螺纹杆(404)穿过孔洞一(408)与移动板(409)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于清洁衬底的装置，其特征在于：所述连接板(406)的顶部与横板(3)的底部固定连接，所述轴承(407)固定安装在连接板(406)的左侧外壁，所述双向螺纹杆(404)的一端与轴承(407)的内圈固定连接，所述锥齿二(405)固定安装在双向螺纹杆(404)的另一端，所述孔洞一(408)开设在移动板(409)上。

3.根据权利要求2所述的一种用于清洁衬底的装置，其特征在于：所述移动板(409)、圆杆(410)和安装板(413)的数量皆为两个，两个移动板(409)分别位于框体(411)的左右两侧，所述孔洞二(412)开设在框体(411)上，两个安装板(413)皆设置在框体(411)的内部，且相对设置。

4.根据权利要求3所述的一种用于清洁衬底的装置，其特征在于：两个圆杆(410)的一端分别与两个移动板(409)的外壁固定连接，所述圆杆(410)穿过孔洞二(412)与孔洞二(412)滑动连接，两个圆杆(410)的另一端分别与两个安装板(413)的外壁固定连接，所述框体(411)的顶部固定安装有连接架(8)，且连接架(8)的顶部与横板(3)的底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于清洁衬底的装置，其特征在于：两个所述安装板(413)上皆设置有固定机构(5)，所述固定机构(5)包括u型板(501)、弹簧(502)、压板(503)，所述u型板(501)固定安装在安装板(413)的外壁，所述弹簧(502)的两端分别与u型板(501)的内壁和压板(503)的外壁固定连接，所述u型板(501)上开设有通孔(6)。

6.根据权利要求1所述的一种用于清洁衬底的装置，其特征在于：所述支架(2)上设置有升降机构(7)，所述升降机构(7)包括液压杆(701)、限位杆(702)，所述液压杆(701)固定安装在支架(2)的内部，所述液压杆(701)的输出端与横板(3)的顶部固定连接，所述限位杆(702)固定安装在支架(2)的内部，所述限位杆(702)贯穿横板(3)与横板(3)滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于清洁衬底的装置，其特征在于：所述清洗槽(1)的内壁底部设置有坡面(9)，所述清洗槽(1)的右侧底部连通设置有排放管(10)，且排放管(10)上设置有控制阀(11)。

8.一种用于清洁衬底的系统，其特征在于：所述用于清洁衬底的系统包括如权利要求1-7任一项所述的用于清洁衬底的装置。

技术总结
本发明涉及衬底技术领域，且公开了一种用于清洁衬底的装置，包括清洗槽，所述清洗槽的外壁固定安装有支架，所述支架的内部设置有横板，所述横板的底部设置有调节机构，所述调节机构包括电机、连轴杆、锥齿一、双向螺纹杆、锥齿二、连接板、轴承、孔洞一、移动板、圆杆、框体、孔洞二、安装板；本发明通过启动电机，电机带动连轴杆转动，连轴杆带动锥齿一转动，锥齿一带动锥齿二转动，锥齿二带动双向螺纹杆转动，双向螺纹杆带动两个移动板移动，两个移动板通过两个圆杆带动两个安装板相互靠近或远离，达到调节两个安装板之间距离的目的，使得该装置可以适应不同尺寸的衬底进行清洗，且调节快速便捷，提高清洗效率。

技术研发人员：谷赛辉,曾壤
受保护的技术使用者：深圳市中科劲纬智能有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16