一种大尺寸基板精密清洗设备的制作方法

本技术涉及基板清洗，尤其涉及一种大尺寸基板精密清洗设备。

背景技术：

1、玻璃基板是一种表面极其平整的薄玻璃片，是平板显示产业的关键基础材料之一，大尺寸基板(前端制程2600mm*2250mm*0.4mm玻璃基板)要达到超洁净清洗后送往下一制程进行涂布作业，清洗制程就需要将基板表面有机化合物、颗粒、微颗粒清洗干净，否则涂布(下一道制程)完成后的基板将会存在亮光，脏污等现象。

2、目前市面上的大尺寸基板的清洗设备存在以下缺点：

3、缺点1:无法有效清洁表面有机化合物。

4、缺点2:无法有效清洁微颗粒(5um以下)。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种大尺寸基板精密清洗设备，能够实现有效、精密地清洗大尺寸基板。

3、(二)技术方案

4、为了达到上述目的，本实用新型采用的另一种技术方案包括：包括第一输送机构、角度调节机构、第二输送机构、紫外线清洗设备、毛刷清洗设备、超高压微射流清洗设备、二流体清洗设备、超纯水清洗设备、双刃风刀设备和第三输送机构；

5、沿基板的输送方向依次设置有所述第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构，所述第一输送机构的侧边以及所述第三输送机构的侧边分别设有所述角度调节机构，使第一输送机构/第三输送机构的输送面的角度可调整为与第二输送机构的输送面的倾斜角度一致；

6、所述紫外线清洗设备、毛刷清洗设备、超高压微射流清洗设备、二流体清洗设备、超纯水清洗设备和双刃风刀设备沿基板的输送方向依次设置于所述第二输送机构上。

7、进一步地，所述角度调节机构包括立架、横架、升降机构和支撑组件；

8、所述横架可竖直滑动连接于所述立架的一侧面，所述升降机构驱动所述横架在所述立架上活动，所述横架的两侧分别设有支撑组件，输送机构的前侧/后侧与其输送方向相平行，所述支撑组件用于支撑所述输送机构的侧边，使得传送机构能够倾斜输送产品。

9、进一步地，还包括第一暂存设备和第二暂存设备，所述第一暂存设备用于暂存/运输所述第一输送机构和第二输送机构之间输送的基板，所述第二暂存设备用于暂存/运输所述第二输送机构和第三输送机构之间输送的基板，所述第一暂存设备和第二暂存设备所暂存基板的倾斜角度与所述第二输送机构的输送面的倾斜角度一致。

10、进一步地，所述第一暂存设备的结构与所述第二暂存设备的结构相同，所述第一暂存设备包括z轴电机、输送组件、暂存组件和前挡定位件，所述暂存组件包括多层存储基板的层架，所述输送组件通过多个滚轴转动输送基板，并通过所述前挡定位件的升降运动来挡住基板使其位于层架暂存区间内，所述暂存组件可纵向穿梭输送组件，且所述暂存组件每一层架和多个滚轴形成的输送面均倾斜设置，使其能够与所述第二输送机构相配合。

11、进一步地，所述紫外线清洗设备包括罩体组件、底罩、排气口、极紫外光清洁装置和排气机构；

12、所述罩体组件包括顶罩和底罩，所述顶罩罩设于所述第二输送机构的上方，所述顶罩与所述输送机构之间设有供液晶基板输送通过的通道，所述顶罩内设有所述极紫外光清洁装置，所述底罩罩设于所述输送机构的下方且与所述顶罩相配合，所述底罩的底部设有多个排气口，所述排气口与所述排气机构连通。

13、进一步地，所述罩体组件外还设有臭氧检测器。

14、进一步地，所述顶罩的两侧分别设有升降组件，所述升降组件包括连接件、气缸、横板、套筒、辅助轴和摇杆，所述连接件连接于顶罩的侧部，所述气缸的输出轴与连接件相连接；所述气缸的两侧分别设有多个套筒，所述套筒的顶部固定有横板，所述辅助轴的一端与所述连接件相连接，所述辅助轴的另一端穿过所述横板与所述套筒滑动连接，所述摇杆可转动连接于横板的顶部，所述连接件的底部设有与所述摇杆相配合的抵持位。

15、进一步地，所述二流体清洗设备包括水气混合组件；

16、所述水气混合组件包括水管、高压空气管、高压空气供给接头、快速接头和混合喷射接头，所述高压空气管的外侧壁上分别间隔连接有所述高压空气供给接头和快速接头，所述水管的外侧壁上间隔设有所述混合喷射接头，所述混合喷射接头上分别设有二流体喷嘴以及与所述快速接头相连接配合的高压空气接入接头，所述水管的一端设有纯水供给口。

17、进一步地，所述水气混合组件有上下两个，上下两个的水气混合组件的二流体喷嘴相向设置。

18、进一步地，所述双刃风刀设备的前刃为倾斜吹气，所述双刃风刀设备的后刃与基板垂直。

19、(三)有益效果

20、本实用新型的有益效果是：

21、1、第二输送机构的输送面进行了倾斜设计，能够引导大尺寸基板在清洗过程中被处理下来的异物的水流流动的方向，形成固定的冲刷水流，减少槽体内绕流影响清洗品质，确保清洗效果；

22、2、为了保证输送精度，确保第二输送机构在接收基板和送走基板的过程中，前后输送基板的倾斜角度保持统一，通过角度调节机构对第一输送机构和第三输送机构进行水平状态和倾斜状态的切换调节，以满足其上、下游基板运输角度的需求，实现设备内部基板自动转运并精准定位，进而保证基板优异的传送稳定性。

23、3、通过紫外线清洗设备、毛刷清洗设备、超高压微射流清洗、二流体清洗设备、超纯水清洗设备以及双刃风刀设备对基板进行精密的清洗作业，能够将基板表面有机化合物、颗粒、微颗粒都清洗干净。

技术特征：

1.一种大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，包括第一输送机构、角度调节机构、第二输送机构、紫外线清洗设备、毛刷清洗设备、超高压微射流清洗设备、二流体清洗设备、超纯水清洗设备、双刃风刀设备和第三输送机构；

2.根据权利要求1所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述角度调节机构包括立架、横架、升降机构和支撑组件；

3.根据权利要求1所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，还包括第一暂存设备和第二暂存设备，所述第一暂存设备用于暂存/运输所述第一输送机构和第二输送机构之间输送的基板，所述第二暂存设备用于暂存/运输所述第二输送机构和第三输送机构之间输送的基板，所述第一暂存设备和第二暂存设备所暂存基板的倾斜角度与所述第二输送机构的输送面的倾斜角度一致。

4.根据权利要求3所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述第一暂存设备的结构与所述第二暂存设备的结构相同，所述第一暂存设备包括z轴电机、输送组件、暂存组件和前挡定位件，所述暂存组件包括多层存储基板的层架，所述输送组件通过多个滚轴转动输送基板，并通过所述前挡定位件的升降运动来挡住基板使其位于层架暂存区间内，所述暂存组件可纵向穿梭输送组件，且所述暂存组件每一层架和多个滚轴形成的输送面均倾斜设置，使其能够与所述第二输送机构相配合。

5.根据权利要求1所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述紫外线清洗设备包括罩体组件、底罩、排气口、极紫外光清洁装置和排气机构；

6.根据权利要求5所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述罩体组件外还设有臭氧检测器。

7.根据权利要求5所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述顶罩的两侧分别设有升降组件，所述升降组件包括连接件、气缸、横板、套筒、辅助轴和摇杆，所述连接件连接于顶罩的侧部，所述气缸的输出轴与连接件相连接；所述气缸的两侧分别设有多个套筒，所述套筒的顶部固定有横板，所述辅助轴的一端与所述连接件相连接，所述辅助轴的另一端穿过所述横板与所述套筒滑动连接，所述摇杆可转动连接于横板的顶部，所述连接件的底部设有与所述摇杆相配合的抵持位。

8.根据权利要求1所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述二流体清洗设备包括水气混合组件；

9.根据权利要求8所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述水气混合组件有上下两个，上下两个的水气混合组件的二流体喷嘴相向设置。

10.根据权利要求1所述的大尺寸基板精密清洗设备，其特征在于，所述双刃风刀设备的前刃为倾斜吹气，所述双刃风刀设备的后刃与基板垂直。

技术总结
本技术涉及一种大尺寸基板精密清洗设备，包括第一输送机构、角度调节机构、第二输送机构、紫外线清洗设备、毛刷清洗设备、超高压微射流清洗设备、二流体清洗设备、超纯水清洗设备、双刃风刀设备和第三输送机构；沿基板的输送方向依次设置有第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构，第一输送机构的侧边以及第三输送机构的侧边分别设有角度调节机构，使第一输送机构/第三输送机构的输送面的角度可调整为与第二输送机构的输送面的倾斜角度一致；紫外线清洗设备、毛刷清洗设备、超高压微射流清洗设备、二流体清洗设备、超纯水清洗设备和双刃风刀设备沿基板的输送方向依次设置于第二输送机构上，能够对基板进行精密的清洗作业。

技术研发人员：张世意,廖嵩缐,林金灵,罗华泳,谢敏峰,王贞伙
受保护的技术使用者：福建晟哲自动化科技有限公司
技术研发日：20230228
技术公布日：2024/1/13