分拣设备及其清洁机构的制作方法

本技术涉及一种分拣设备及其清洁机构。

背景技术：

1、在led晶圆的加工制程中，led晶圆被切割成多个晶粒，切割前后的晶粒需要经过一系列的检测，并根据所检测的光电参数进行分类。晶粒分拣设备能够将同一种类的晶粒挑选出来整齐排列到蓝膜上，以方便后续制程作业。

2、图1是现有技术中的分拣设备的示意图。如图1所示，该分拣设备的待分料晶粒顶取机构包括移动构件11、以及蓝膜12，晶粒60黏附在蓝膜12上。移动构件11被驱动设备驱动朝向蓝膜12移动，从而将蓝膜另一面的晶粒送至挑拣机构30的第一吸嘴31。具体而言，移动构件11通常包括顶针帽、以及套设在顶针帽内的顶针，当顶针帽朝向蓝膜12移动时，会带动顶针随之一起移动；随后顶针帽通过其内部的真空吸住蓝膜，且顶针帽相对于顶针回缩(即，朝向远离蓝膜的方向回缩)，此时顶针刺穿蓝膜，将蓝膜另一面的晶粒送至挑拣机构30的第一吸嘴31，使得晶粒被第一吸嘴31拾取，之后挑拣机构30发生旋转，将第一吸嘴31拾取的晶粒运送至晶粒分类机构的蓝膜上，从而实现不同晶粒的分类。

3、这种结构的缺陷在于，顶针在刺穿蓝膜的过程中，会产生蓝膜屑、残胶、碎晶粒等，这些异物会残留在顶针帽的表面和内部。在拾取芯片过程中，这些异物也会被带到第一吸嘴31的表面和晶粒的表面，带有异物的晶粒被贴附到晶粒分类设备蓝膜上后会造成晶粒表面不平整，导致浮晶、品质异常。这些异常的晶粒在检验工序时需要人工在显微镜下用真空吸笔逐个挑除，给产品检验工作带来非常大的工作量，还容易出现漏检的情况。传统的清洁装置一般是通过人工、采用毛刷或无尘布擦拭待清洁机构中的吸嘴和顶针帽，这种方式难以将残胶、蓝膜屑等杂质清除干净。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的分拣设备容易产生异物、难以清除的缺陷，提供一种分拣设备及其清洁机构，能够有效清洁各种异物、杂质。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种清洁机构，包括：

3、本体；

4、滑动连接部，可沿着第一方向相对滑动地设置于所述本体上；

5、第一清洁元件，固定于所述滑动连接部的第一侧；以及

6、滑动连接部驱动装置，驱动所述滑动连接部沿着所述第一方向运动。

7、根据本实用新型所述的清洁机构，所述清洁机构还包括第二清洁元件，固定于所述滑动连接部的第二侧，所述第一侧和第二侧彼此相背。

8、根据本实用新型所述的清洁机构，所述第一清洁元件包括擦拭件，所述清洁机构还包括与所述第一清洁元件连接的清洁液供给组件，所述清洁液供给组件包括：电磁阀，具有入口和出口；用于存储清洁液的储液器；水泵，连接于所述电磁阀的入口与所述储液器之间；以及喷头；连接于所述电磁阀的出口，且所述喷头靠近所述擦拭件。

9、根据本实用新型所述的清洁机构，所述滑动连接部驱动装置包括固定在所述本体上的电机、以及与所述电机连接的偏心轮，所述偏心轮直接或间接作用于所述滑动连接部；所述清洁机构还包括复位元件，所述复位元件对所述滑动连接部施加与所述滑动连接部驱动装置的驱动力方向相反的复位力；所述复位元件直接或间接连接于所述本体和滑动连接部之间，或者直接或间接连接于本体与第二清洁元件之间。

10、根据本实用新型所述的清洁机构，所述第二清洁元件通过连接杆固定于所述滑动连接部的第二侧,所述连接杆可相对于所述本体沿着第一方向滑动,所述滑动连接部或所述连接杆受到所述本体的支撑和导向。

11、根据本实用新型所述的清洁机构，在所述本体上固定有直线轴承,所述连接杆与所述直线轴承配合；所述复位元件套设在所述连接杆上，所述复位元件的一端连接于所述直线轴承，所述复位元件的另一端连接于所述第二清洁元件上。

12、根据本实用新型所述的清洁机构，所述清洁组件包括推动组件，所述推动组件包括推动杆和随动器，所述推动杆的第一端与所述滑动连接部相抵或者固定连接，所述随动器可转动地连接于所述推动杆的第二端且与所述偏心轮配合。

13、根据本实用新型所述的清洁机构，所述清洁机构还包括第三清洁元件，所述第三清洁元件固定在所述滑动连接部面向所述挑拣机构的一侧,所述第三清洁元件是毛刷或海绵；且/或

14、所述清洁机构还包括压力传感器，所述压力传感器固定设置在所述滑动连接部的第一侧。

15、本实用新型还提供了一种分拣设备，包括：

16、晶粒顶取机构，包括：用于放置待分类的晶粒的待分料膜、以及沿着第一方向设置在所述待分料膜一侧的顶针组件；

17、沿着第一方向与所述晶粒顶取机构相对设置的晶粒分类机构；

18、以及设置在两者之间的挑拣机构，所述顶针组件和所述挑拣机构分别位于所述待分料膜的两侧；

19、所述分拣设备还包括如上所述的清洁机构，所述清洁机构设置在所述顶针组件和所述挑拣机构之间。

20、根据本实用新型所述的分拣设备，所述分拣设备还包括驱动所述清洁机构沿着第二方向和第三方向运动的驱动装置，所述第一、第二、第三方向相互垂直。

21、根据本实用新型所述的分拣设备，所述晶粒顶取机构包括用于放置所述待分料膜的待分料架，所述清洁机构连接于所述待分料架上；所述驱动装置包括：承载所述清洁机构和待分料膜且可沿着第二方向和第三方向中的一者运动的第一滑台、承载所述第一滑台且可沿着第二方向和第三方向中的另一者运动的第二滑台、驱动所述第一滑台运动的第一滑台驱动件、以及驱动所述第二滑台运动的第二滑台驱动件。

22、实施本实用新型的分拣设备，具有以下有益效果：可以有效对挑拣机构的吸嘴和顶针组件进行清洁，无需人工对吸嘴和顶针帽进行清洁。

技术特征：

1.一种清洁机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁机构还包括第二清洁元件，固定于所述滑动连接部的第二侧，所述第一侧和第二侧彼此相背。

3.根据权利要求2所述的清洁机构，其特征在于，所述第一清洁元件包括擦拭件，所述清洁机构还包括与所述第一清洁元件连接的清洁液供给组件，所述清洁液供给组件包括：电磁阀，具有入口和出口；用于存储清洁液的储液器；水泵，连接于所述电磁阀的入口与所述储液器之间；以及喷头；连接于所述电磁阀的出口，且所述喷头靠近所述擦拭件。

4.根据权利要求2所述的清洁机构，其特征在于，所述滑动连接部驱动装置包括固定在所述本体上的电机、以及与所述电机连接的偏心轮，所述偏心轮直接或间接作用于所述滑动连接部；所述清洁机构还包括复位元件，所述复位元件对所述滑动连接部施加与所述滑动连接部驱动装置的驱动力方向相反的复位力；所述复位元件直接或间接连接于所述本体和滑动连接部之间，或者直接或间接连接于本体与第二清洁元件之间。

5.根据权利要求4所述的清洁机构，其特征在于，所述第二清洁元件通过连接杆固定于所述滑动连接部的第二侧,所述连接杆可相对于所述本体沿着所述第一方向滑动,所述滑动连接部或所述连接杆受到所述本体的支撑和导向。

6.根据权利要求5所述的清洁机构，其特征在于，在所述本体上固定有直线轴承,所述连接杆与所述直线轴承配合；所述复位元件套设在所述连接杆上，所述复位元件的一端连接于所述直线轴承，所述复位元件的另一端连接于所述第二清洁元件上。

7.根据权利要求4所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁机构包括推动组件，所述推动组件包括推动杆和随动器，所述推动杆的第一端与所述滑动连接部相抵或者固定连接，所述随动器可转动地连接于所述推动杆的第二端且与所述偏心轮配合。

8.根据权利要求3所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁机构还包括第三清洁元件，所述第三清洁元件固定在所述滑动连接部的第一侧,所述第三清洁元件是毛刷或海绵；且/或

9.一种分拣设备，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的分拣设备，其特征在于，所述分拣设备还包括驱动所述清洁机构沿着第二方向和第三方向运动的驱动装置，所述第一、第二、第三方向相互垂直。

11.根据权利要求10所述的分拣设备，其特征在于，所述晶粒顶取机构包括用于放置所述待分料膜的待分料架，所述清洁机构连接于所述待分料架上；所述驱动装置包括：承载所述清洁机构和待分料膜且可沿着第二方向和第三方向中的一者运动的第一滑台、承载所述第一滑台且可沿着第二方向和第三方向中的另一者运动的第二滑台、驱动所述第一滑台运动的第一滑台驱动件、以及驱动所述第二滑台运动的第二滑台驱动件。

技术总结
本技术涉及一种分拣设备及其清洁机构，所述清洁机构包括：本体；滑动连接部，可沿着第一方向相对滑动地设置于所述本体上；第一清洁元件，固定于所述滑动连接部的第一侧；以及滑动连接部驱动装置，驱动所述滑动连接部沿着所述第一方向运动。分拣设备，包括：晶粒顶取机构，包括：用于放置待分类的晶粒的待分料膜、以及沿着第一方向设置在所述待分料膜一侧的顶针组件；沿着第一方向与所述晶粒顶取机构相对设置的晶粒分类机构；以及设置在两者之间的挑拣机构，所述顶针组件和所述挑拣机构分别位于所述待分料膜的两侧；分拣设备还包括该清洁机构，该清洁机构设置在所述顶针组件和所述挑拣机构之间。

技术研发人员：何滩,倪志军
受保护的技术使用者：深圳市希芯智能设备有限公司
技术研发日：20230223
技术公布日：2024/1/14