一种移动式晶圆储存盒清洗机构的制作方法

本技术属于晶圆储存盒加工清洗，具体涉及一种移动式晶圆储存盒清洗机构。

背景技术：

1、晶圆储存盒是一种用于存储晶圆的盒子，是为了简化运输和尽可能降低晶圆被污染的风险，而晶圆储存盒在生产加工时需要经过多道工序，且每道工序需要用到对应的设备和机构，在晶圆储存盒的清洗工序中，就需要用到清洗烘干一体机，来对晶圆储存盒进行清洗，如公开号为“cn112934841b”的现有专利中所公开的“一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，包括支撑机构、传送机构、清洗机构、烘干机构，所述支撑机构上端安装有所述传送机构，所述清洗机构设置在所述传送机构下侧，所述烘干机构设置在所述清洗机构后侧……”，可以看出该申请中公开的清洗烘干一体机，主要由支撑机构、传送机构、清洗机构、烘干机构组成，使用时传送机构将晶圆存放盒不断的输送至清洗机构内，使得晶圆存放盒在清洗池内进行超声波清洗，达到清洗效果；

2、但上述专利中清洗烘干一体机的清洗机构在实际使用时，因不具有移动的功能，导致该清洗机构在与整个清洗烘干一体机中的其他机构进行组装时，不易于进行自身位置的调节，降低了整个设备的组装便捷性，同时当后期需要对清洗机构自身进行清理和维护时，也因清洗机构不便于移动，而带来一定的不便，降低了该清洗机构的使用便捷性，为此本实用新型提出一种移动式晶圆储存盒清洗机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种移动式晶圆储存盒清洗机构，以解决上述背景技术中提出的现有专利中清洗烘干一体机的清洗机构在组装和后期清理维护时不便于移动的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种移动式晶圆储存盒清洗机构，包括设置在传送链轨下方的清洗池，传送链轨的底部悬挂有多个晶圆储存盒，所述清洗池的底端表面固定有基框，所述清洗池的底部设置有移动组件，所述移动组件包括固定在清洗池底部表面的底基板，且底基板的底部对称设置有四个移动轮；

3、所述清洗池的底部还设置有两个可折叠支撑架，所述可折叠支撑架包括u形撑架和可限位转动机构，所述u形撑架的两端均通过可限位转动机构与基框转动连接，所述u形撑架的底端支撑在地面，所述可限位转动机构包括固定在基框底部表面的轴座，且轴座的一侧表面固定有轴块，所述u形撑架的顶端转动套设在轴块上。

4、优选的，所述可限位转动机构还包括固定在轴座表面的限位挡板，且限位挡板位于轴块的一侧，并与u形撑架相接触。

5、优选的，所述可限位转动机构还包括固定在u形撑架端部表面的矩形座，所述矩形座内活动贯穿设置有限位插杆，所述轴块的表面贯穿开设有限位插孔，所述限位插杆的顶端插入至限位插孔中，所述可限位转动机构还包括底拨块和两个复位拉簧，所述限位插杆的底端贯穿至矩形座的底部，并固定有底拨块，所述底拨块和矩形座之间安装有两个复位拉簧。

6、优选的，所述矩形座的底部表面对称开设有两个筒状安装槽，所述复位拉簧安装在筒状安装槽内，且复位拉簧的底端与底拨块相固定。

7、优选的，所述可限位转动机构还包括辅助结构，所述辅助结构包括辅助结构和搭座，所述底拨块的底部表面滑动设置有滑板，所述搭座固定在u形撑架的侧面，且位置与滑板相对应，所述底拨块的底部表面开设有t形滑槽，且t形滑槽内滑动设置有t形滑块，所述t形滑块的底端伸出至底拨块的底部表面，并与滑板相固定，所述辅助结构还包括橡胶块和圆形凸起，所述搭座的底部表面固定有橡胶块，且橡胶块的底部表面设有一体式的圆形凸起，所述滑板的顶部表面开设有圆形卡槽。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过对现有技术中清洗烘干一体机的清洗机构进行优化改进，在其底部设计了移动组件和可折叠支撑架，可方便该清洗机构与其他机构组装时的位置调节，同时在后续需要将清洗机构自身进行清理维护时，也可以快速的通过移动与其他机构分离，提高整个清洗机构的使用便捷性和维护便捷性，同时在可折叠支撑架的作用下，使得该清洗机构在日常使用时可以得到稳定的支撑，保证其使用稳定性。

技术特征：

1.一种移动式晶圆储存盒清洗机构，包括设置在传送链轨（4）下方的清洗池（1），传送链轨（4）的底部悬挂有多个晶圆储存盒（5），所述清洗池（1）的底端表面固定有基框（11），其特征在于：所述清洗池（1）的底部设置有移动组件（2），所述移动组件（2）包括固定在清洗池（1）底部表面的底基板（21），且底基板（21）的底部对称设置有四个移动轮（22）；

2.根据权利要求1所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述可限位转动机构（32）还包括固定在轴座（321）表面的限位挡板（323），且限位挡板（323）位于轴块（322）的一侧，并与u形撑架（31）相接触。

3.根据权利要求1所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述可限位转动机构（32）还包括固定在u形撑架（31）端部表面的矩形座（324），所述矩形座（324）内活动贯穿设置有限位插杆（325），所述轴块（322）的表面贯穿开设有限位插孔（326），所述限位插杆（325）的顶端插入至限位插孔（326）中。

4.根据权利要求3所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述可限位转动机构（32）还包括底拨块（327）和两个复位拉簧（329），所述限位插杆（325）的底端贯穿至矩形座（324）的底部，并固定有底拨块（327），所述底拨块（327）和矩形座（324）之间安装有两个复位拉簧（329）。

5.根据权利要求4所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述矩形座（324）的底部表面对称开设有两个筒状安装槽，所述复位拉簧（329）安装在筒状安装槽内，且复位拉簧（329）的底端与底拨块（327）相固定。

6.根据权利要求4所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述可限位转动机构（32）还包括辅助结构（328），所述辅助结构（328）包括辅助结构（328）和搭座（3282），所述底拨块（327）的底部表面滑动设置有滑板（3281），所述搭座（3282）固定在u形撑架（31）的侧面，且位置与滑板（3281）相对应。

7.根据权利要求6所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述底拨块（327）的底部表面开设有t形滑槽，且t形滑槽内滑动设置有t形滑块，所述t形滑块的底端伸出至底拨块（327）的底部表面，并与滑板（3281）相固定。

8.根据权利要求6所述的一种移动式晶圆储存盒清洗机构，其特征在于：所述辅助结构（328）还包括橡胶块（3283）和圆形凸起（3284），所述搭座（3282）的底部表面固定有橡胶块（3283），且橡胶块（3283）的底部表面设有一体式的圆形凸起（3284），所述滑板（3281）的顶部表面开设有圆形卡槽。

技术总结
本技术公开了一种移动式晶圆储存盒清洗机构，包括设置在传送链轨下方的清洗池，传送链轨的底部悬挂有多个晶圆储存盒，所述清洗池的底端表面固定有基框，所述清洗池的底部设置有移动组件，所述移动组件包括固定在清洗池底部表面的底基板，且底基板的底部对称设置有四个移动轮；所述清洗池的底部还设置有两个可折叠支撑架；本技术通过对现有技术中清洗烘干一体机的清洗机构进行优化改进，在其底部设计了移动组件和可折叠支撑架，可方便该清洗机构与其他机构组装时的位置调节，同时在后续需要将清洗机构自身进行清理维护时，也可以快速的通过移动与其他机构分离，提高整个清洗机构的使用便捷性和维护便捷性。

技术研发人员：刘建蔚
受保护的技术使用者：昆山兴宇宏机械科技有限公司
技术研发日：20230504
技术公布日：2024/1/14