一种孔口去毛刺装置的制作方法

本技术涉及喷淋板生产，具体为一种孔口去毛刺装置。

背景技术：

1、在半导体的加工过程中，例如薄膜沉积工艺，会采用喷淋板喷淋气体至待加工的半导体表面，在半导体晶片表面形成薄膜，进行晶片表面的蚀刻。由于喷淋板上设置有多个微细的喷出孔，喷淋气体从喷出孔喷至待加工的半导体表面，因此喷出孔的加工质量对半导体的加工质量有直接的影响。

2、从加工性方面出发，喷淋板多采用铝或硅等板材，喷淋板上的喷出孔通常采用龙门式加工中心进行加工，由于其在加工过程中因模具间隙过大和过小造成胚料断离时上下不均、模具工作刃口长期工作磨损而出现圆角，造成整个断面因撕裂的不规则等原因均会使孔口产生毛刺，产生的毛刺需要去除。现有技术中公开了一些对铝板冲孔后表面处理的专利，如公开号为cn111070010a的授权专利公开了一种铝板冲孔后表面处理设备及铝板表面处理工艺，首先将铝板冲压面朝下放置在两个限位侧板之间，通过定位机构能够将铝板的位置进行锁定，之后控制推送气缸进行往复的前后运动能够带动清理机构将铝板进行去毛刺处理，位置调节机构能够调节清理机构的左右位置，以便本发明能够对铝板进行彻底打磨。

3、由于上述方案在使用时通过对冲孔后的铝板进行刮除与打磨相配合的去毛刺处理，使得铝板上的毛刺能够被彻底清除，但在此过程中，打磨掉的毛刺及碎屑容易四处飞溅，具有一定的危险性，且研磨掉的碎屑会粘附在工件及底板上，工作人员需要对工件和底板进行清理，较为麻烦；上述方案在使用时，把打磨后的工件取下后，才能放置另一个待打磨的工件，导致设备暂停时间长，影响设备的工作效率，基于此，本申请提出一种孔口去毛刺装置。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种孔口去毛刺装置，解决了上述背景技术中提出的去毛刺过程中，研磨掉的碎屑容易飞溅，具有一定的危险性；去除的毛刺会粘附在工件及底板上，工作人员需要对工件和底板进行清理，较为麻烦；工件更换过程中，设备暂停时间长，设备工作效率低的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种孔口去毛刺装置，利用高压水与待去毛刺的喷淋板接触时的冲击力去除喷淋板上的孔口去毛刺，整个过程在密封的环境内进行，碎屑无法四处飞溅，提高其安全性，且去毛刺过程中产生的废水经过过滤操作被重复循环使用；该装置上设置两组工件夹持固定结构和工件定位支撑结构，缩减装置暂停时间，提高装置工作效率。

3、一种孔口去毛刺装置，包括支撑架，所述支撑架的顶端设有传动结构，传动结构的顶部设有两个工件固定结构，所述支撑架底部的两端均设有与工件固定结构适配的工件定位支撑结构，所述支撑架的中部设有去毛刺结构；所述工件固定结构包括与传动结构固定连接的两个移动杆，所述移动杆顶部的中部镶嵌有信号发射器，所述移动杆的中部设有液压伸缩杆一和电磁铁，所述移动杆外侧的中部固定连接有转动电机一，所述转动电机一的输出轴末端与液压伸缩杆一的一端固定连接，所述液压伸缩杆的另一端与电磁铁活动连接；所述工件定位支撑结构包括与支撑架固定连接的固定杆，所述固定杆另一端通过液压伸缩杆二固定连接有工件定位支撑板；

4、所述去毛刺结构包括与支撑架顶部中部固定连接的去毛箱和与支撑架底部中部接触的除杂水箱和高压水泵，所述去毛箱的外表面活动连接有升降门，所述去毛箱内腔的顶部固定连接有喷头，所述喷头底部的两端设有与信号发射器适配的信号接收器，所述除杂水箱内腔底部的中部固定连接有液压伸缩杆三，所述液压伸缩杆三的顶部依次放置有过滤网一、吸水海绵一、过滤网二、吸水海绵二、过滤网三和压框，所述除杂水箱与喷头通过高压水泵连接。

5、优选的，所述移动杆外侧的中部固定连接有支撑管，所述转动电机一远离其输出轴的一端与支撑管的内壁固定连接。

6、优选的，所述传动结构包括与支撑架顶端两侧均活动连接的同步轮，所述两个同步轮通过同步带传动连接，且所述同步轮两端的外圈均啮合有同步带，所述移动杆的端部与同步带的顶部固定连接，所述支撑架顶端的一侧固定连接有转动电机二，所述转动电机二的输出轴末端与支撑架该侧的同步轮端部的中部固定连接。

7、优选的，所述工件定位支撑板顶部的中部设有与工件适配的放置槽，且放置槽两端的中部均设有凹槽。

8、优选的，所述去毛箱和除杂水箱的顶端均为透明的，所述去毛箱的一侧固定连接有液压伸缩杆四，所述液压伸缩杆四的顶部与升降门的中部固定连接。

9、优选的，所述高压水泵的进水端固定连接有进水管，进水管的另一端延伸至除杂水箱内腔的底端，所述高压水泵的出水端固定连接有出水管，所述出水管的另一端延伸至喷头的内腔内。

10、优选的，所述喷头的底部设有与工件适配的出水孔，所述压框的顶部与除杂水箱的顶部齐平，所述压框的厚度值和除杂水箱侧壁的厚度值之和小于支撑架侧边的厚度值。

11、与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

12、1、该孔口去毛刺装置，通过去毛刺结构的设置，利用该装置对喷淋板的孔口进行去毛刺操作时是在密闭的空间内进行的，能够有效的防止碎屑四溅，并可以对碎屑进行有效的收集；通过除杂水箱的设置，除杂水箱可以把水和碎屑分开，使该装置中的水能够循环重复使用，节约了资源。

13、2、该孔口去毛刺装置，通过两个工件固定结构的设置，缩减了去毛刺结构的暂停时间，提高了该装置的工作效率；通过工件定位支撑结构的设置，使喷淋板在工件固定结构中的位置保持不变，便于喷淋板的去毛刺，且工件定位支撑板上设置的凹槽，便于喷淋板的取放。

技术特征：

1.一种孔口去毛刺装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的顶端设有传动结构，传动结构的顶部设有两个工件固定结构，所述支撑架(1)底部的两端均设有与工件固定结构适配的工件定位支撑结构，所述支撑架(1)的中部设有去毛刺结构；所述工件固定结构包括与传动结构固定连接的两个移动杆(3)，所述移动杆(3)顶部的中部镶嵌有信号发射器(4)，所述移动杆(3)的中部设有液压伸缩杆一(16)和电磁铁(17)，所述移动杆(3)外侧的中部固定连接有转动电机一(15)，所述转动电机一(15)的输出轴末端与液压伸缩杆一(16)的一端固定连接，所述液压伸缩杆一(16)的另一端与电磁铁(17)活动连接；所述工件定位支撑结构包括与支撑架(1)固定连接的固定杆(28)，所述固定杆(28)另一端通过液压伸缩杆二(27)固定连接有工件定位支撑板(8)；

2.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述移动杆(3)外侧的中部固定连接有支撑管(10)，所述转动电机一(15)远离其输出轴的一端与支撑管(10)的内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述传动结构包括与支撑架(1)顶端两侧均活动连接的同步轮(9)，所述两个同步轮(9)通过同步带(2)传动连接，且所述同步轮(9)两端的外圈均啮合有同步带(2)，所述移动杆(3)的端部与同步带(2)的顶部固定连接，所述支撑架(1)顶端的一侧固定连接有转动电机二(13)，所述转动电机二(13)的输出轴末端与支撑架(1)该侧的同步轮(9)端部的中部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述工件定位支撑板(8)顶部的中部设有与工件适配的放置槽，且放置槽两端的中部均设有凹槽。

5.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述去毛箱(5)和除杂水箱(6)的顶端均为透明的，所述去毛箱(5)的一侧固定连接有液压伸缩杆四(14)，所述液压伸缩杆四(14)的顶部与升降门(7)的中部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述高压水泵(12)的进水端固定连接有进水管，进水管的另一端延伸至除杂水箱(6)内腔的底端，所述高压水泵(12)的出水端固定连接有出水管(11)，所述出水管(11)的另一端延伸至喷头(25)的内腔内。

7.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述喷头(25)的底部设有与工件适配的出水孔，所述压框(18)的顶部与除杂水箱(6)的顶部齐平，所述压框(18)的厚度值和除杂水箱(6)侧壁的厚度值之和小于支撑架(1)侧边的厚度值。

技术总结
本技术公开了一种孔口去毛刺装置，涉及喷淋板生产技术领域，具体包括支撑架，所述支撑架的顶端设有传动结构，传动结构的顶部设有两个工件固定结构，所述支撑架底部的两端均设有与工件固定结构适配的工件定位支撑结构，所述支撑架的中部设有去毛刺结构；所述工件固定结构包括与传动结构固定连接的两个移动杆。该孔口去毛刺装置，通过去毛刺结构的设置，该装置通过高压水清除工件孔口毛刺，且工件去毛刺操作时是在密闭的空间内进行的，能够有效的防止碎屑四溅，并可以对碎屑进行有效的收集；通过除杂水箱的设置，除杂水箱可以把水和碎屑分开，使该装置中的水能够循环重复使用，节约了资源。

技术研发人员：崔日
受保护的技术使用者：合肥智杰精密设备有限公司
技术研发日：20230519
技术公布日：2024/1/15