一种多孔部件清洗治具的制作方法

本技术涉及清洗治具领域，尤其涉及一种多孔部件清洗治具。

背景技术：

1、半导体设备中有一种化学气相沉积机台，机台中的配件气体分配盘，结构较为特殊，进气孔只有一个，而出气孔有很多，在清洗过程中需要使用化学清洗工艺，当化学溶剂进入气体分配盘内部后，正常的纯水的直接冲洗不能有效将部件孔内的化学品浸出。

技术实现思路

1、本实用新型为解决上述问题，提供了一种便于纯水清洗作业的多孔部件清洗治具。

2、本实用新型所采取的技术方案：

3、一种多孔部件清洗治具，包括治具主体盘、进水口和出水口，治具主体盘的两侧分别连接进水口和出水口，进水口和出水口相互连通，治具主体盘的周边缘上均布开设有装配口，治具主体盘的周边缘内圈开设有环形密封槽，密封槽内配置橡胶密封圈，治具主体盘连接出水口的侧面在密封槽圈内对称连接有两个定位销。

4、所述的进水口和出水口位于治具主体盘的中间位置。

5、所述的装配口的数量与部件的装配口的位置和数量相匹配。

6、所述的装配口的数量为6个。

7、两个所述的定位销对称分布在出水口两侧。

8、所述的出水口与部件的进气口连接。

9、清洗治具采用特氟龙材质制备。

10、本实用新型的有益效果：本实用新型将部件固定在治具上面，便于纯水清洗作业，将部件内部清洗干净，从而减少部件腐蚀，也可以降低部件化学品残留，治具采用特氟龙材料，避免碰伤部件，也可以避免金属污染。

技术特征：

1.一种多孔部件清洗治具，其特征在于，包括治具主体盘(1)、进水口(5)和出水口(2)，治具主体盘(1)的两侧分别连接进水口(5)和出水口(2)，进水口(5)和出水口(2)相互连通，治具主体盘(1)的周边缘上均布开设有装配口(3)，治具主体盘(1)的周边缘内圈开设有环形密封槽(6)，密封槽(6)内配置橡胶密封圈，治具主体盘(1)连接出水口(2)的侧面在密封槽(6)圈内对称连接有两个定位销(4)。

2.根据权利要求1所述的多孔部件清洗治具，其特征在于，所述的进水口(5)和出水口(2)位于治具主体盘(1)的中间位置。

3.根据权利要求1所述的多孔部件清洗治具，其特征在于，所述的装配口(3)的数量与部件的装配口(3)的位置和数量相匹配。

4.根据权利要求3所述的多孔部件清洗治具，其特征在于，所述的装配口(3)的数量为6个。

5.根据权利要求4所述的多孔部件清洗治具，其特征在于，所述的出水口(2)与部件的进气口连接。

6.根据权利要求1所述的多孔部件清洗治具，其特征在于，所述的治具主体盘(1)的边缘设置有把手。

技术总结
一种多孔部件清洗治具，包括治具主体盘、进水口和出水口，治具主体盘的两侧分别连接进水口和出水口，进水口和出水口相互连通，治具主体盘的周边缘上均布开设有装配口，治具主体盘的周边缘内圈开设有环形密封槽，密封槽内配置橡胶密封圈，治具主体盘连接出水口的侧面在密封槽圈内对称连接有两个定位销。本技术将部件固定在治具上面，便于纯水清洗作业，将部件内部清洗干净，从而减少部件腐蚀，也可以降低部件化学品残留，治具采用特氟龙材料，避免碰伤部件，也可以避免金属污染。

技术研发人员：穆帅帅,张代龙
受保护的技术使用者：富乐德科技发展（天津）有限公司
技术研发日：20230526
技术公布日：2024/1/15