一种含硅氢氟酸废液回收系统的制作方法

本技术属于氢氟酸回收，具体涉及一种含硅氢氟酸废液回收系统。

背景技术：

1、液晶显示及半导体行业氢氟酸的应用非常普遍，因而产生了大量的含硅氢氟酸废液，且其排放量逐年增加。现有工艺采用化学反应的方法回收氢氟酸，现场应用条件苛刻，控制条件多，控制精度要求高，回收成本高。

技术实现思路

1、针对上述现有技术，本实用新型提供一种含硅氢氟酸废液回收系统，以解决现有回收工艺存在控制条件多、控制精度要求高、回收成本高的问题。

2、为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：提供一种含硅氢氟酸废液回收系统，包括依次连接的原水罐、保安过滤器和纳滤膜管，纳滤膜管的渗透液出口与回收液罐连接，纳滤膜管的浓液出口通过三通阀与原水罐和浓缩液罐连接，纳滤膜管的浓液出口与三通阀间设置有水质监测器，水质监测器通过控制器与三通阀通信连接。

3、本实用采取上述技术方案的有益效果是：原水罐中储存氢氟酸废液通过保安过滤器过滤掉颗粒物，可以降低对后端纳滤膜装置的耗损，进而降低浓缩液的浓度，提高循环回收的频率；再通过纳滤膜管将氢氟酸提取出来并储存在回收液罐中，纳滤膜管产生渗透液则通过水质监测器测量进行测量，如氢氟酸含量已达标则储存至浓缩液罐中，如氢氟酸含量仍较高，则流入原水罐中进行循环。

4、在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

5、进一步，保安过滤器顶部设置有阻垢剂储罐，阻垢剂储罐与保安过滤器间设置有闸板阀。

6、本实用采取上述进一步技术方案的有益效果是：阻垢剂储罐中储存在阻垢剂，阻垢剂可以防止纳滤膜阻塞结垢，提高回收效率。

7、进一步，原水罐与保安过滤器间设置有增压泵。

8、本实用采取上述进一步技术方案的有益效果是：增压泵用于控制系统中的流量，同时为纳滤膜管提供动力。

9、进一步，纳滤膜管上设置有两个进液口和两个浓液出口。

10、本实用采取上述进一步技术方案的有益效果是：纳滤膜管采用双进液口、双浓缩液口设计，与后端浓缩液回流循环结合，可有效提高回收氢氟酸的纯度及效率；可充分发挥增压泵的效能，降低回收液中硅的含量，提高回收液纯度。

11、进一步，纳滤膜管包括中心管、引导网和多个膜片层组，引导网环绕包覆于中心管外，且引导网的一端沿中心管轴向固定于中心管的外壁；中心管与引导网之间设置有膜片层组，膜片层组包括一纳滤膜和一进水网，纳滤膜沿中心管的轴向对折。

12、本实用采取上述进一步技术方案的有益效果是：纳滤膜的对折边设置于邻近引导网与中心管的连接部的一侧，可防止通过进水网流入的未经过充分分离的液体流入中心管内，保证产品回收的质量。

13、进一步，保安过滤器的精度为5~10μm。

14、本实用新型的有益效果是：本实用新型采用纳滤膜过滤的方式回收含硅氢氟酸废水中的氢氟酸，无须化学反应，采用双进液口、双浓缩液口、单回收液口的方式，充分发挥增压泵的效能，降低回收液中硅的含量，提高回收液纯度，浓缩液出水采用多次循环回流的方式，提高整个系统中氢氟酸的回收率。本实用的适用范围广，搬运拆卸方便。

技术特征：

1.一种含硅氢氟酸废液回收系统，其特征在于：包括依次连接的原水罐（1）、保安过滤器（4）和纳滤膜管（5），所述纳滤膜管（5）的渗透液出口与回收液罐（6）连接，所述纳滤膜管（5）的浓液出口通过三通阀（8）与所述原水罐（1）和浓缩液罐（7）连接，所述纳滤膜管（5）的浓液出口与所述三通阀（8）间设置有水质监测器（9），所述水质监测器（9）通过控制器与所述三通阀（8）通信连接。

2.根据权利要求1所述的含硅氢氟酸废液回收系统，其特征在于：所述保安过滤器（4）顶部设置有阻垢剂储罐（3），所述阻垢剂储罐（3）与所述保安过滤器（4）间设置有闸板阀。

3.根据权利要求1所述的含硅氢氟酸废液回收系统，其特征在于：所述原水罐（1）与保安过滤器（4）间设置有增压泵（2）。

4.根据权利要求1或3所述的含硅氢氟酸废液回收系统，其特征在于：所述纳滤膜管（5）上设置有两个进液口和两个浓液出口。

5.根据权利要求4所述的含硅氢氟酸废液回收系统，其特征在于：所述纳滤膜管（5）包括中心管、引导网和多个膜片层组，所述引导网环绕包覆于所述中心管外，且所述引导网的一端沿所述中心管轴向固定于所述中心管的外壁；所述中心管与所述引导网之间设置有膜片层组，所述膜片层组包括一纳滤膜和一进水网，所述纳滤膜沿所述中心管的轴向对折。

6.根据权利要求1所述的含硅氢氟酸废液回收系统，其特征在于：所述保安过滤器（4）的精度为5~10μm。

技术总结
本技术公开了一种含硅氢氟酸废液回收系统，包括依次连接的原水罐、保安过滤器和纳滤膜管，纳滤膜管的渗透液出口与回收液罐连接，纳滤膜管的浓液出口通过三通阀与原水罐和浓缩液罐连接，纳滤膜管的浓液出口与三通阀间设置有水质监测器，水质监测器通过控制器与三通阀通信连接。本技术采用纳滤膜过滤的方式回收含硅氢氟酸废水中的氢氟酸，无须化学反应，采用双进液口、双浓缩液口、单回收液口的方式，充分发挥增压泵的效能，降低回收液中硅的含量，提高回收液纯度，浓缩液出水采用多次循环回流的方式，提高整个系统中氢氟酸的回收率。本实用的适用范围广，搬运拆卸方便。

技术研发人员：刘鸣,黄清云,陆朝霞
受保护的技术使用者：苏州市晶协高新电子材料有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/1/15