全自动超声清洗机烘箱滤网的制作方法

本技术涉及硅片制备领域，更具体地说，涉及全自动超声清洗机烘箱滤网。

背景技术：

1、超声波在液体中传播，使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动，液体与清洗槽振动时有自己固有频率，这种振动频率是声波频率，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动，以达到超声清洗的目的。

2、在硅片制备过程中，将硅材料切割完毕后，需要进行清洗处理，由于硅材料清洗时需要保证其稳定性，通常采用自动化设备配合超声清洗机使用，从而形成全自动超声清洗机。

3、目前应用在硅片清洗领域中的清洗机，由于清洗机烘箱滤网要不定时取出清理碎片，滤网上方有硅片花篮定位装置，安装操作时需反复确认安装方向，安装错误易造成清洗机机械臂压篮事故，增大了硅片清洗时的废品率。

技术实现思路

1、1.要解决的技术问题

2、针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供全自动超声清洗机烘箱滤网，它可以实现，全自动硅片清洗机烘箱滤网两侧定位装置取消，增加滤网重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，具有具备收纳碎片的作用。

3、2.技术方案

4、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

5、全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼，所述过滤笼呈笼状设置，所述过滤笼前侧端面为不封闭设置，所述过滤笼内腔设置有收纳托盘，所述过滤笼前侧端面左右对称分别设置有限位组件。

6、进一步的，所述收纳托盘呈矩形环状设置，所述收纳托盘内壁靠近中间处固定连接有放置板，所述放置板顶面开设有若干个均匀分布的通孔。

7、进一步的，所述限位组件包括通槽，所述通槽均开设在过滤笼侧壁靠近前侧处，所述通槽内活动连接有挡板，所述过滤笼前侧端面对称开设有两个螺孔，所述螺孔内螺纹连接有螺钉，所述螺钉与挡板相抵。

8、进一步的，所述过滤笼上下侧壁位于边角处均开设有若干个预留孔，所述预留孔内均设置有橡胶塞。

9、进一步的，所述挡板前侧壁均开设有限位槽，所述螺钉与限位槽相抵。

10、进一步的，所述收纳托盘前侧壁固定连接有把手。

11、3.有益效果

12、相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

13、(1)本方案通过过滤笼和收纳托盘等之间的相互配合，取消了传统烘箱滤网两侧的定位装置，增加10％滤网自身重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，烘箱滤网定位取消后操作清理碎硅片时，不用反复确认滤网方向，有效避免因安装不到位造成机械臂压篮事故；同时在清洗过程中产生的碎片可利用收纳托盘进行收纳，便于后续的清理。

14、(2)本方案通过过滤笼、收纳托盘和限位组件等之间的相互配合，当收纳托盘放置在过滤笼内部后，可将两侧挡板拉出，并利用螺钉进行固定，确保收纳托盘在过滤笼内部的稳定性，防止出现晃动等现象。

技术特征：

1.全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼(1)，其特征在于：所述过滤笼(1)呈笼状设置，所述过滤笼(1)前侧端面为不封闭设置，所述过滤笼(1)内腔设置有收纳托盘(2)，所述过滤笼(1)前侧端面左右对称分别设置有限位组件。

2.根据权利要求1所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述收纳托盘(2)呈矩形环状设置，所述收纳托盘(2)内壁靠近中间处固定连接有放置板(3)，所述放置板(3)顶面开设有若干个均匀分布的通孔(4)。

3.根据权利要求1所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述限位组件包括通槽(5)，所述通槽(5)均开设在过滤笼(1)侧壁靠近前侧处，所述通槽(5)内活动连接有挡板(6)，所述过滤笼(1)前侧端面对称开设有两个螺孔，所述螺孔内螺纹连接有螺钉(7)，所述螺钉(7)与挡板(6)相抵。

4.根据权利要求1所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述过滤笼(1)上下侧壁位于边角处均开设有若干个预留孔(8)，所述预留孔(8)内均设置有橡胶塞(9)。

5.根据权利要求3所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述挡板(6)前侧壁均开设有限位槽(10)，所述螺钉(7)与限位槽(10)相抵。

6.根据权利要求2所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述收纳托盘(2)前侧壁固定连接有把手(11)。

技术总结
本技术公开了全自动超声清洗机烘箱滤网，属于硅片制备领域，全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼，所述过滤笼呈笼状设置，所述过滤笼前侧端面为不封闭设置，所述过滤笼内腔设置有收纳托盘，所述过滤笼前侧端面左右对称分别设置有限位组件，所述收纳托盘呈矩形环状设置，所述收纳托盘内壁靠近中间处固定连接有放置板，所述放置板顶面开设有若干个均匀分布的通孔，所述限位组件包括通槽，所述通槽均开设在过滤笼侧壁靠近前侧处，所述通槽内活动连接有挡板，它可以实现，全自动硅片清洗机烘箱滤网两侧定位装置取消，增加滤网重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，具有具备收纳碎片的作用。

技术研发人员：杨昊,王克克,张浩浩,樊欢欢,贾哲
受保护的技术使用者：弘元新材料（包头）有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/1/15