超声波清洗中可旋转吸附的装置的制作方法

本技术涉及一种超声波清洗中可旋转吸附的装置。

背景技术：

1、在市场日益全球化的今天，随着社会经济活动的增加和工业生产体系的扩大，超声波清洗领域得到快速发展，超声波清洗虽然有时候不能提供最终的产品，但是清洗质量的好坏却决定了产品的性能与质量。

2、碳化硅晶锭在分离薄片的过程中可运用超声波清洗技术，超声波清洗的质量会影响分片的质量与效果。

3、如果碳化硅晶锭在超声波清洗机中采用托举的方式，则托举治具接触的区域会影响超声波的效果，且如果采用托举的方式，产品在清洗液中不能与治具有相对运动，超声波作用的均匀性比较差，会存在以下问题，1)清洗液中的吸附真空度难以保持；2)会有清洗液进入真空发生器，造成真空发生器损坏；3)因产品的厚薄会有变化，对于薄片来说，过大的真空度极易造成产品破裂。

4、因此，需研发一种超声波清洗中可使超声波完全均匀作用于产品的装置，使效果更加高效。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种超声波清洗中可旋转吸附的装置。

2、本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

3、超声波清洗中可旋转吸附的装置，特点是：包含输送型可调真空发生器、柔软型真空吸盘以及中空旋转平台，中空旋转平台安装于固定底板上，驱动电机锁附在中空旋转平台上，中空旋转平台的输入端与驱动电机的主轴传动连接，柔软型真空吸盘安装在吸盘支架上，吸盘支架与吸盘转接板连接，吸盘转接板与中空旋转平台的输出端连接，旋转快速接头安装在吸盘支架上，旋转快速接头通过管路与输送型可调真空发生器连接。

4、进一步地，上述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其中，中空旋转平台的输入端通过夹持机构夹持驱动电机的电机轴。

5、进一步地，上述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其中，固定底板上固定一传感器固定板，传感器固定板上安装有用于检测产品有无的光纤传感器。

6、进一步地，上述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其中，吸盘支架为管型结构，其内具有用于将旋转快速接头与柔软型真空吸盘的气路连通的气道。

7、进一步地，上述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其中，吸盘支架通过螺纹连接方式与吸盘转接板连接。

8、进一步地，上述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其中，旋转快速接头通过金属软管与输送型可调真空发生器连接。

9、本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：

10、①本实用新型采用输送型可调真空发生器及柔软型真空吸盘，柔软型真空吸盘实现在清洗液中的吸附，并且吸附的真空度大小可控，在清洗液中可以保持不同的真空度，清洗液中产品吸附的同时可以调整真空度，满足不同厚薄产品的吸附要求，避免过大真空度而造成产品的损坏；

11、②具有旋转功能，驱动电机驱动中空旋转平台旋转，带动柔软型真空吸盘及其所吸附的产品转动，增强超声波作用的均匀性；

12、③输送型可调真空发生器采用不锈钢材质，减少清洗液对输送型可调真空发生器的损坏；

13、④柔软型真空吸盘可以保证清洗液中的吸附以及减少清洗液进入管道，在清洗液中超声清洗的过程中完全吸附住产品，达到水中吸附的效果，同时输送型可调真空发生器还可以排水，满足情景下的应用，且不会损坏；

14、⑤实现在超声波清洗中吸附产品并旋转，一方面，解决超声波清洗液中吸附的问题，另一方面，可带动产品旋转，解决超声波作用的均匀性问题，超声波可完全的均匀的作用于产品，使超声效果更高效。

15、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型具体实施方式了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

技术特征：

1.超声波清洗中可旋转吸附的装置，其特征在于：包含输送型可调真空发生器(2)、柔软型真空吸盘(8)以及中空旋转平台(4)，中空旋转平台(4)安装于固定底板(1)上，驱动电机(3)锁附在中空旋转平台(4)上，中空旋转平台(4)的输入端与驱动电机(3)的主轴传动连接，柔软型真空吸盘(8)安装在吸盘支架(9)上，吸盘支架(9)与吸盘转接板(7)连接，吸盘转接板(7)与中空旋转平台(4)的输出端连接，旋转快速接头(6)安装在吸盘支架(9)上，旋转快速接头(6)通过管路与输送型可调真空发生器(2)连接。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其特征在于：中空旋转平台(4)的输入端通过夹持机构夹持驱动电机(3)的电机轴。

3.根据权利要求1所述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其特征在于：固定底板(1)上固定一传感器固定板(10)，传感器固定板(10)上安装有用于检测产品有无的光纤传感器(5)。

4.根据权利要求1所述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其特征在于：吸盘支架(9)为管型结构，其内具有用于将旋转快速接头(6)与柔软型真空吸盘(8)的气路连通的气道。

5.根据权利要求1或4所述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其特征在于：吸盘支架(9)通过螺纹连接方式与吸盘转接板(7)连接。

6.根据权利要求1所述的超声波清洗中可旋转吸附的装置，其特征在于：旋转快速接头(6)通过金属软管与输送型可调真空发生器(2)连接。

技术总结
本技术涉及超声波清洗中可旋转吸附的装置，包含输送型可调真空发生器、柔软型真空吸盘及中空旋转平台，中空旋转平台安装于固定底板上，驱动电机锁附在中空旋转平台上，中空旋转平台的输入端与驱动电机的主轴传动连接，柔软型真空吸盘安装在吸盘支架上，吸盘支架与吸盘转接板连接，吸盘转接板与中空旋转平台的输出端连接，旋转快速接头安装在吸盘支架上，旋转快速接头通过管路与输送型可调真空发生器连接。实现在清洗液中的吸附，吸附的真空度大小可控，清洗液中产品吸附的同时可以调整真空度，满足不同厚薄产品的吸附要求，避免过大真空度而造成产品的损坏；具有旋转功能，带动柔软型真空吸盘及其所吸附的产品转动，增强超声波作用的均匀性。

技术研发人员：赵裕兴,詹长伟
受保护的技术使用者：苏州德龙激光股份有限公司
技术研发日：20230626
技术公布日：2024/1/5