一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具的制作方法

本技术涉及吹扫治具的，尤其涉及一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具。

背景技术：

1、加热盘部件在化学气相沉积法(cvd)制成作业过程中会在工作区域沉积一层工艺产物，最后需要对盘体工作区域沉积的工艺产物采用药液浸泡以及喷砂等方法去除。

2、但是在去除过程中，盘体工作面的四处陶瓷孔内会残留药液或砂尘。现有的处理方式均是采用人工使用气枪对各孔进行吹扫，易出现吹扫不到位，吹扫时间较短，占用人工等问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具。

2、本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

3、一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，包括外支撑底箱，外支撑底箱内部设有内支撑底箱，内支撑底箱内部从上到下设有若干定位板，定位板中心开设有供加热盘部件底杆穿入的定位孔，内支撑底箱顶部设有环形支撑板，环形支撑板上圆周均布有若干支撑板，支撑板上设有缓冲保护布，环形支撑板上表面外边缘靠近外支撑底箱背板的一侧设有两个弧形导向保护板，外支撑底箱背板上开设有若干透气孔，外支撑底箱顶部设有顶盖，顶盖上对应加热盘部件工作面四个孔洞开设有四个吹扫孔，四个吹扫孔通过连通管道共同连接有吹扫管道，吹扫管道与外部供气装置连接。

4、支撑板上设有穿接孔，缓冲保护布穿设安装在穿接孔内。

5、本实用新型的有益效果是：本实用新型的治具可自动同时吹扫加热盘部件的孔洞，无需人工操作，省时省力。

技术特征：

1.一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，包括外支撑底箱(1)，外支撑底箱(1)内部设有内支撑底箱(2)，内支撑底箱(2)内部从上到下设有若干定位板(3)，定位板(3)中心开设有供加热盘部件底杆(19)穿入的定位孔(4)，内支撑底箱(2)顶部设有环形支撑板(5)，环形支撑板(5)上圆周均布有若干支撑板(6)，支撑板(6)上设有缓冲保护布，环形支撑板(5)上表面外边缘靠近外支撑底箱(1)背板的一侧设有两个弧形导向保护板(7)，外支撑底箱(1)背板上开设有若干透气孔(8)，外支撑底箱(1)顶部设有顶盖(9)，顶盖(9)上对应加热盘部件工作面(18)四个孔洞开设有四个吹扫孔(10)，四个吹扫孔(10)通过连通管道(11)共同连接有吹扫管道(12)，吹扫管道(12)与外部供气装置连接。

2.根据权利要求1所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，支撑板(6)上设有穿接孔(13)，缓冲保护布穿设安装在穿接孔(13)内。

3.根据权利要求2所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，顶盖(9)上左右两侧设有顶盖把手(14)。

4.根据权利要求3所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，外支撑底箱(1)内部左右两侧设有卡板(15)，内支撑底箱(2)设置在两个卡板(15)之间。

5.根据权利要求4所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，外支撑底箱(1)四个内壁的两侧均设有贴合板(16)，贴合板(16)顶部伸出外支撑底箱(1)顶面并与顶盖(9)内壁贴合设置。

6.根据权利要求5所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，外支撑底箱(1)左右侧外壁上均设有外底箱把手(17)。

7.根据权利要求6所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，内支撑底箱(2)左右侧外壁上均设有内底箱把手。

8.根据权利要求7所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，顶盖把手(14)为“回”字形结构。

技术总结
本技术是一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，包括外支撑底箱，外支撑底箱内设有内支撑底箱，内支撑底箱内部从上到下设有若干定位板，定位板中心开设有供加热盘部件底杆穿入的定位孔，内支撑底箱顶部设有环形支撑板，环形支撑板上圆周均布有若干支撑板，支撑板上设有缓冲保护布，环形支撑板上表面外边缘靠近外支撑底箱背板的一侧设有两个弧形导向保护板，外支撑底箱背板上开设有若干透气孔，外支撑底箱顶部设有顶盖，顶盖上对应加热盘部件工作面四个孔洞开设有四个吹扫孔，四个吹扫孔通过连通管道共同连接有吹扫管道，吹扫管道与外部供气装置连接。本技术的治具可自动同时吹扫加热盘部件的孔洞，无需人工操作，省时省力。

技术研发人员：穆帅帅,郭立伟,贺凯
受保护的技术使用者：富乐德科技发展（天津）有限公司
技术研发日：20230627
技术公布日：2024/1/15