一种用于周转盒清洗的洁净水制备装置的制作方法

本技术涉及晶圆盒制造，具体涉及到一种用于周转盒清洗的洁净水制备装置。

背景技术：

1、随着晶圆制造中的临界尺寸越来越小，制程的复杂度越来越高，晶圆盒洁净度对于产品合格率的影响也越来越大，晶圆盒污染问题每年都会造成巨大的损失，因此在制造晶圆盒的过程中需要对晶圆盒进行清洗，以保证成品晶圆盒具有较高的洁净度，现有技术中清洗晶圆盒用的洁净水中去除了不溶性杂质，但仍存在一些可溶性杂质，清洗晶圆盒后，晶圆盒的良品率不高。

技术实现思路

1、为了解决上述现有技术中的不足之处，本实用新型提出一种用于周转盒清洗的洁净水制备装置。

2、为了实现上述技术效果，本实用新型采用如下方案：

3、一种用于周转盒清洗的洁净水制备装置，包括基板，所述基板上固定安装有处理箱以及水箱，所述处理箱的一侧侧壁上设有进水口，所述处理箱内安装有第一活性炭过滤装置，所述第一活性炭过滤装置通过原水管与进水口连接，所述原水管上安装有第一水泵，所述第一活性炭过滤装置通过第一输水管连接第二活性炭过滤装置，所述第一输水管上安装有第二水泵，所述第二活性炭过滤装置通过第二输水管连接离子去除装置，所述第二输水管上安装有第三水泵，所述离子去除装置通过第三输水管连接过滤器，所述过滤器通过第四输水管连接注水口，所述注水口设置于水箱侧壁的上端位置，所述第四输水管上安装有第四水泵，所述水箱侧壁的下端位置设置有出水口，所述出水口设有阀门，所述离子去除装置包括外壳，所述外壳内设置有绝缘管，所述绝缘管的两端伸出外壳分别与第二输水管以及第三输水管连接，所述绝缘管上沿着其长度方向间隔设有两个插孔，两个插孔内分片插入伸入绝缘管内的正极片以及负极片，所述正极片与负极片通过环氧树脂与插孔密封设置，所述正极片的一端通过开关连接电源的正极，所述正极片的另一端连接电源的负极。

4、优选的技术方案，所述第一活性炭过滤装置与第二活性炭过滤装置结构一致，其中所述第一活性炭过滤装置包括吸附箱，所述吸附箱的前侧配合设有箱门，所述吸附箱的上端设有第一连接口，所述第一连接口与原水管连接，所述吸附箱的侧壁靠近下端的位置设有第二连接口，所述第二连接口与第一输水管连接，所述吸附箱内壁的顶端安装有第一花洒喷头，所述第一花洒喷头与第一连接口连接，所述吸附箱内活动放置有吸附架，所述吸附架位于第一花洒喷头的下方，所述吸附箱的底部设有集水槽，所述第二连接口与集水槽连接，所述吸附架的下端放置在集水槽的底部，所述吸附架包括两块侧立设置的侧板，所述侧板之间由上至下固定安装有若干放置槽，所述放置槽的底部具有若干镂空孔，所述放置槽内铺放有若干活性炭。

5、优选的技术方案，所述过滤器包括外箱，所述外箱的上端设有第三连接口，所述第三连接口与第三输水管连接，所述外箱侧壁靠近下端的位置设有第四连接口，所述第四连接口连接第四输水管，所述外箱内的中部位置水平设有过滤框，所述过滤框竖直贯穿设置，所述过滤框的底部安装有过滤网，所述外箱的一侧侧壁上贯穿设有插口，所述插口处朝向外箱内部延伸设有两条滑槽，两条滑槽分别位于外箱内部两个相对应的内壁上，所述过滤框由插口处沿着滑槽插入到外箱内。

6、优选的技术方案，所述过滤框位于外侧的侧壁上安装有拉手。

7、优选的技术方案，所述水箱内壁的顶端罩设有一透明玻璃罩，所述透明玻璃罩内安装有若干紫外灯。

8、优选的技术方案，所述水箱的内壁上安装有第二花洒喷头，所述第二花洒喷头与注水口连接。

9、与现有技术相比，有益效果为：

10、本实用新型结构简单，使用方便，将原水通过第一活性炭过滤装置将水中的不溶性杂质过滤掉，以及吸附部分的次氯酸钠等可被活性炭吸附的溶解物，再经过第二活性炭过滤装置对次氯酸钠以及其他的可吸附溶解物进一步吸附，完成后通过离子去除装置，通电后在正极片与负极片之间形成电场，驱动水中的阴离子与阳离子相向运动进行碰撞，从而结合形成不溶性沉淀杂质，再经过过滤器过滤取出沉淀，将处理完成后的水排入水箱内储存，通过本实用新型，能够大量去除水中的不溶性杂质以及可溶性杂质，提高了洁净水的洁净度，在清洗完晶圆盒后，提高了晶圆盒的良品率。

技术特征：

1.一种用于周转盒清洗的洁净水制备装置，其特征在于，包括基板，所述基板上固定安装有处理箱以及水箱，所述处理箱的一侧侧壁上设有进水口，所述处理箱内安装有第一活性炭过滤装置，所述第一活性炭过滤装置通过原水管与进水口连接，所述原水管上安装有第一水泵，所述第一活性炭过滤装置通过第一输水管连接第二活性炭过滤装置，所述第一输水管上安装有第二水泵，所述第二活性炭过滤装置通过第二输水管连接离子去除装置，所述第二输水管上安装有第三水泵，所述离子去除装置通过第三输水管连接过滤器，所述过滤器通过第四输水管连接注水口，所述注水口设置于水箱侧壁的上端位置，所述第四输水管上安装有第四水泵，所述水箱侧壁的下端位置设置有出水口，所述出水口设有阀门，所述离子去除装置包括外壳，所述外壳内设置有绝缘管，所述绝缘管的两端伸出外壳分别与第二输水管以及第三输水管连接，所述绝缘管上沿着其长度方向间隔设有两个插孔，两个插孔内分片插入伸入绝缘管内的正极片以及负极片，所述正极片与负极片通过环氧树脂与插孔密封设置，所述正极片的一端通过开关连接电源的正极，所述正极片的另一端连接电源的负极。

2.如权利要求1所述的用于周转盒清洗的洁净水制备装置，其特征在于，所述第一活性炭过滤装置与第二活性炭过滤装置结构一致，其中所述第一活性炭过滤装置包括吸附箱，所述吸附箱的前侧配合设有箱门，所述吸附箱的上端设有第一连接口，所述第一连接口与原水管连接，所述吸附箱的侧壁靠近下端的位置设有第二连接口，所述第二连接口与第一输水管连接，所述吸附箱内壁的顶端安装有第一花洒喷头，所述第一花洒喷头与第一连接口连接，所述吸附箱内活动放置有吸附架，所述吸附架位于第一花洒喷头的下方，所述吸附箱的底部设有集水槽，所述第二连接口与集水槽连接，所述吸附架的下端放置在集水槽的底部，所述吸附架包括两块侧立设置的侧板，所述侧板之间由上至下固定安装有若干放置槽，所述放置槽的底部具有若干镂空孔，所述放置槽内铺放有若干活性炭。

3.如权利要求1所述的用于周转盒清洗的洁净水制备装置，其特征在于，所述过滤器包括外箱，所述外箱的上端设有第三连接口，所述第三连接口与第三输水管连接，所述外箱侧壁靠近下端的位置设有第四连接口，所述第四连接口连接第四输水管，所述外箱内的中部位置水平设有过滤框，所述过滤框竖直贯穿设置，所述过滤框的底部安装有过滤网，所述外箱的一侧侧壁上贯穿设有插口，所述插口处朝向外箱内部延伸设有两条滑槽，两条滑槽分别位于外箱内部两个相对应的内壁上，所述过滤框由插口处沿着滑槽插入到外箱内。

4.如权利要求3所述的用于周转盒清洗的洁净水制备装置，其特征在于，所述过滤框位于外侧的侧壁上安装有拉手。

5.如权利要求1所述的用于周转盒清洗的洁净水制备装置，其特征在于，所述水箱内壁的顶端罩设有一透明玻璃罩，所述透明玻璃罩内安装有若干紫外灯。

6.如权利要求1所述的用于周转盒清洗的洁净水制备装置，其特征在于，所述水箱的内壁上安装有第二花洒喷头，所述第二花洒喷头与注水口连接。

技术总结
本技术公开了一种用于周转盒清洗的洁净水制备装置，包括基板，基板上固定安装有处理箱以及水箱，处理箱上设有进水口，处理箱内依次安装有第一活性炭过滤装置、第二活性炭过滤装置、离子去除装置以及过滤器，过滤器连接水箱，离子去除装置包括外壳，外壳内设置有绝缘管，绝缘管上沿着其长度方向间隔设有两个插孔，两个插孔内分别插入伸入绝缘管内的正极片以及负极片，正极片的一端通过开关连接电源的正极，正极片的另一端连接电源的负极，通过本技术，能够大量去除水中的不溶性杂质以及可溶性杂质，提高了洁净水的洁净度，在清洗完晶圆盒后，提高了晶圆盒的良品率。

技术研发人员：洪巧水,粘怡达,孟余红
受保护的技术使用者：荣耀半导体材料（嘉善）有限公司
技术研发日：20230627
技术公布日：2024/2/19