一种硅片清洗干燥装置的制作方法

本技术涉及硅片清洗，尤其涉及一种硅片清洗干燥装置。

背景技术：

1、半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

2、如申请号为：202220647539.6的中国实用新型专利，公开了一种硅片清洗干燥装置，包括清洗筒本体，所述清洗筒本体上方设置有电机、第一支撑座、第二支撑座，所述第一支撑座上方设置有水泵，所述水泵上方连接有水管，所述第二支撑座上方设置有气泵，所述气泵上方连接有气管，所述电机下方连接有转轴，该装置通过电机带着转轴转动，转轴带着固定机构转动，与此同时，转轴带着第一齿轮转动，第一齿轮通过啮合的方式带着第二齿轮转动，第二齿轮带着第一连管转动，第一连管带着水筒本体转动，水筒本体带着圆孔转动，此时清洗液经过水泵增压，即清洗液通过圆孔并以旋转的方式冲洗硅片与清洗筒本体内壁，增加清洗效率，提高清洗质量。

3、如上述专利，现有的硅片清洗干燥装置在对硅片进行清洗时，需要先将硅片通过夹持机构进行夹持固定，在通过喷头进行冲洗，以此来清除硅片表面的污染和杂质，但是在对夹持的硅片进行冲洗时，由于硅片处于夹持状态，使得硅片的夹持处不能进行有效的冲洗，从而使得硅片的夹持处有污染和杂质残留，进而使得硅片清洗效果不佳。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗干燥装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅片清洗干燥装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有冲洗组件，所述箱体的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的另一端固定连接有l型板，所述l型板的一侧固定连接有双向电动伸缩杆，所述双向电动伸缩杆的双向伸缩端均固定连接有固定板，两个所述固定板上均设置有夹持组件，所述夹持组件包括固定连接在固定板一侧的电动伸缩杆和导向杆，所述电动伸缩杆的伸缩端固定连接有移动杆，所述移动杆上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的移动板，所述导向杆活动贯穿移动板，所述导向杆远离固定板的一端固定连接有支撑板，所述移动杆活动贯穿支撑板，所述导向杆上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的夹板，所述夹板的一侧固定连接有伸缩板。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述l型板的底部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的另一端与其中一个支撑板的顶部固定连接。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述移动板和夹板数量一致且一一对应设置。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述伸缩板上开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有若干个挤压弹簧，所述伸缩板的伸缩端与若干个挤压弹簧固定连接。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述冲洗组件包括固定连接在箱体内壁背面的条形管，所述条形管的背面连通有进水管，所述进水管固定贯穿箱体并延伸至箱体外部，所述条形管的正面固定连通有若干个喷头。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述箱体的顶部固定连通有气管。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述箱体的底部开设有若干个渗水孔。

15、本实用新型具有如下有益效果：

16、1、与现有技术相比，该硅片清洗干燥装置，可实现对硅片的夹持处进行冲洗，当下方的夹持组件将硅片下方固定夹持后，可通过冲洗组件对硅片上方进行冲洗，并在硅片上方冲洗完成之后，可通过上方的夹持组件对硅片上方冲洗后的部位进行固定夹持，从而可解除对硅片下方的固定夹持，避免下方的夹持组件遮挡硅片，进而可对硅片下方的夹持处进行冲洗，避免了硅片的夹持处冲洗不到而有污染和杂质残留，进而提高了硅片的冲洗质量。

17、2、与现有技术相比，该硅片清洗干燥装置，通过气管、驱动电机、转轴、l型板、电动伸缩杆、移动板和夹板等结构的配合使用，可使得固定夹持的硅片在箱体内左右旋转，从而在离心力的作用下，可将硅片表面的水分甩掉，从而加快硅片的烘干效果，进而提高硅片的干燥效率。

技术特征：

1.一种硅片清洗干燥装置，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的内部设置有冲洗组件，所述箱体（1）的顶部固定连接有驱动电机（2），所述驱动电机（2）的输出端固定连接有转轴（3），所述转轴（3）的另一端固定连接有l型板（4），所述l型板（4）的一侧固定连接有双向电动伸缩杆（5），所述双向电动伸缩杆（5）的双向伸缩端均固定连接有固定板（6），两个所述固定板（6）上均设置有夹持组件，所述夹持组件包括固定连接在固定板（6）一侧的电动伸缩杆（7）和导向杆（8），所述电动伸缩杆（7）的伸缩端固定连接有移动杆（9），所述移动杆（9）上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的移动板（10），所述导向杆（8）活动贯穿移动板（10），所述导向杆（8）远离固定板（6）的一端固定连接有支撑板（13），所述移动杆（9）活动贯穿支撑板（13），所述导向杆（8）上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的夹板（11），所述夹板（11）的一侧固定连接有伸缩板（12）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述l型板（4）的底部固定连接有伸缩杆（16），所述伸缩杆（16）的另一端与其中一个支撑板（13）的顶部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述移动板（10）和夹板（11）数量一致且一一对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述伸缩板（12）上开设有凹槽（14），所述凹槽（14）的内部设置有若干个挤压弹簧（15），所述伸缩板（12）的伸缩端与若干个挤压弹簧（15）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述冲洗组件包括固定连接在箱体（1）内壁背面的条形管（17），所述条形管（17）的背面连通有进水管（18），所述进水管（18）固定贯穿箱体（1）并延伸至箱体（1）外部，所述条形管（17）的正面固定连通有若干个喷头（19）。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述箱体（1）的顶部固定连通有气管（20）。

7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置，其特征在于：所述箱体（1）的底部开设有若干个渗水孔（21）。

技术总结
本技术公开了一种硅片清洗干燥装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有冲洗组件，所述箱体的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的另一端固定连接有L型板，所述L型板的一侧固定连接有双向电动伸缩杆。本技术可实现对硅片的夹持处进行冲洗，当下方的夹持组件将硅片下方固定夹持后，可通过冲洗组件对硅片上方进行冲洗，并在硅片上方冲洗完成之后，可通过上方的夹持组件对硅片上方冲洗后的部位进行固定夹持，从而可解除对硅片下方的固定夹持，避免下方的夹持组件遮挡硅片，进而可对硅片下方的夹持处进行冲洗，避免了硅片的夹持处冲洗不到而有污染和杂质残留，进而提高了硅片的冲洗质量。

技术研发人员：朱中亚,王迎枫,刘华俊,刘开连,纪磊,曹宝玉
受保护的技术使用者：安徽领坤生物科技有限公司
技术研发日：20230703
技术公布日：2024/1/15