一种腔体清洁装置的制作方法

本技术涉及半导体设备制造，具体涉及一种腔体清洁装置。

背景技术：

1、目前，在半导体制造过程中，薄膜化学沉积设备是非常重要的设备之一。传送腔体是薄膜化学沉积设备中的一个重要部件，用于传送半导体晶圆。由于传送腔体空间较小，清洁难度较大，因此需要定期对传送腔体进行清洁。

2、传统的清洁工具一般为人员使用防尘布或者清洗棉擦拭。

3、上述的清洁工具在清理传送腔体时存在传送腔体需清洁部位空间狭小，导致清理不彻底颗粒超标等问题。

4、上述的清洁工具容易划伤腔体，传统清洁工具需要频繁的沾清洗液，使得清洗容易中断，无法满足半导体制造设备的可持续清洁保养需求。

5、有鉴于此，本实用新型提供一种腔体清洁装置，可以在使用过程中补液，提高便利性以及操作性能。

技术实现思路

1、为实现以上目的，本实用新型提出了一种腔体清洁装置，包括清洁组件、连接装置和手柄；

2、所述清洁组件包括清洁基体和清洁件，所述清洁件包裹于清洁基体，用于防止所述清洁基体刮伤传送腔体，所述清洁件开设有出水口，所述清洁基体设有与所述出水口连通的内部水路；

3、所述连接装置的一端与所述清洁基体连接，另一端与所述手柄连接；所述连接装置内具有补水通路；所述连接装置上设置有补水口，所述补水口与所述补水通路连通，所述补水通路与所述内部水路连通。

4、可选地，所述清洁基体具有清洁面，所述清洁件包裹在所述清洁面，所述清洁件被配置为：所述清洁件受压时可发生弹性形变。

5、可选地，所述清洁面呈弧面。

6、可选地，所述出水口设置为至少一个，所述出水口贯通至所述清洁面。

7、可选地，所述连接装置包括多个连接杆和连接件，各所述连接杆首尾顺序连接，相邻所述连接杆通过一所述连接件连接，所述连接杆内具有流道，各所述连接杆的流道首尾相连通形成所述补水通路。

8、可选地，所述腔体清洁装置还包括第一储液件，所述第一储液件设置于所述补水通路内用于存储清洗液。

9、可选地，相邻所述连接杆呈夹角设置。

10、可选地，所述连接件上设置有第一安装孔和第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔连通，相邻所述连接杆分别可拆卸插装于所述第一安装孔和所述第二安装孔内。

11、可选地，所述腔体清洁装置还包括所述第二储液件，所述第二储液件设置于补水口内，所述第二储液件用于存储清洗液，且所述第二储液件被配置为：所述第二储液件受压时，向所述补水通路内释放存储的清洗液。

12、可选地，所述手柄以绕自身中轴线转动的设置于所述连接装置。

13、综上所述，在本实用新型提供的腔体清洁装置中，包括清洁组件、连接装置和手柄；所述清洁组件包括清洁基体和清洁件，所述清洁基体用于清洁传送腔体，所述清洁件用于包裹清洁基体，防止所述清洁基体刮伤所述传送腔体。所述清洁基体开设有内部水路，所述内部水路用于向所述清洁基体供水且设置有储液件；所述连接装置的一端与所述清洁组件连接，另一端连接所述手柄；所述手柄与连接装置连接。

14、如此配置，在本实用新型提供的一种腔体清洁装置中，通过清洁组件、连接装置和手柄的配合设置，使得本设备能够有效匹配传送腔体被清洁部位，做到快速清洁避免划伤腔体且具备自动补水功能。

15、同时，本设备还具有伸缩设计，可以在不用拆卸其它部件的情况下快速清理传送腔体狭小空间，可以适应不同的清洁深度和空间限制，本装置可以有效地提高清洁效率和清洁质量，减少了清洁过程中的划伤和颗粒超标等问题，具有重要的应用价值。

技术特征：

1.一种腔体清洁装置，其特征在于：包括清洁组件、连接装置和手柄；

2.根据权利要求1所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述清洁基体具有清洁面，所述清洁件包裹在所述清洁面，所述清洁件被配置为：所述清洁件受压时可发生弹性形变。

3.根据权利要求2所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述清洁面呈弧面。

4.根据权利要求2所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述出水口设置为至少一个，所述出水口贯通至所述清洁面。

5.根据权利要求1所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述连接装置包括多个连接杆和连接件，各所述连接杆首尾顺序连接，相邻所述连接杆通过一所述连接件连接，所述连接杆内具有流道，各所述连接杆的流道首尾相连通形成所述补水通路。

6.根据权利要求5所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述腔体清洁装置还包括第一储液件，所述第一储液件设置于所述补水通路内用于存储清洗液。

7.根据权利要求5所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：相邻所述连接杆呈夹角设置。

8.根据权利要求5所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述连接件上设置有第一安装孔和第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔连通，相邻所述连接杆分别可拆卸插装于所述第一安装孔和所述第二安装孔内。

9.根据权利要求1所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述腔体清洁装置还包括第二储液件，所述第二储液件设置于补水口内，所述第二储液件用于存储清洗液，且所述第二储液件被配置为：所述第二储液件受压时，向所述补水通路内释放存储的清洗液。

10.根据权利要求1所述的一种腔体清洁装置，其特征在于：所述手柄以绕自身中轴线转动的设置于所述连接装置。

技术总结
本技术提供一种腔体清洁装置，包括清洁组件、连接装置和手柄；所述清洁组件包括清洁基体和清洁件，所述清洁基体用于清洁传送腔体，所述清洁件用于包裹清洁基体，防止所述清洁基体刮伤所述传送腔体，所述清洁基体开设有内部水路，所述内部水路用于向所述清洁基体供水；所述连接装置的一端与所述清洁组件连接，另一端连接所述手柄；所述手柄与连接装置连接。综上所述，在本技术提供的一种腔体清洁装置中，通过清洁组件、连接装置和手柄的配合设置，使得本设备能够有效匹配传送腔体被清洁部位，做到快速清洁避免划伤腔体且具备补水功能。

技术研发人员：陈明亮
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230713
技术公布日：2024/1/25