本技术涉及单晶硅、多晶硅片清洗,特别是一种硅料碱洗池。
背景技术:
1、硅料碱洗池是一种用于清洗硅料的设备或工艺,硅料是一种重要的工业原料,在制造半导体、太阳能电池板、玻璃等行业中被广泛应用,硅料碱洗池主要用于去除硅料表面的杂质、污染物和氧化物,以提高硅料的纯度和质量。碱洗池通常由酸洗池、中和洗池和水洗池组成。
2、在中国专利cn205999021u中公开的一种微粉碱洗清质池,该微粉碱洗清质池,通过搅拌能使微粉悬浮液与碱性除杂液进行充分混合,再通过导热油管来提高反应温度,加快微粉悬浮液与碱性除杂液的反应,最后通过气泡清洗的方式,快速地将杂质从微粉悬浮液中分离出来,并漂浮在液面上。
3、但对比于相关领域的现有技术,硅料在进入池内后会堆积在一块,若通过搅拌的方式促使其散开,则容易因硬接触而大量损坏硅料,从而影响硅料的品质,若仅通过气泡清洗,则难以促使堆积在一块硅料散开,从而导致硅料的碱洗效果不佳,容易对后续工艺产生影响。
技术实现思路
1、本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。
2、本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,解决背景技术中所提到的问题,提供一种硅料碱洗池。
3、本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种硅料碱洗池,包括底板以及铰接在所述底板顶部的碱洗池本体,所述碱洗池本体内部的前后两侧均固定安装有齿条,所述齿条的上侧活动连接有多个物料盛放组件;
4、所述物料盛放组件包括盛放筒,所述盛放筒的外表面开设有若干个通孔,所述盛放筒对应齿条的位置均固定连接有齿圈,所述齿圈与所述齿条相啮合。
5、优选的,所述底板的顶部中间处固定连接有铰接座,所述碱洗池本体位于所述铰接座的位置固定连接有与其铰接连接的铰接块,通过采用上述技术方案,介绍了碱洗池本体如何与底板铰接。
6、优选的,所述底板顶部的左右两侧均固定安装有液压缸,两个所述液压缸的输出端均固定连接有橡胶垫,通过采用上述技术方案,可以避免液压缸的输出端和碱洗池本体的底部出现硬摩擦。
7、优选的,所述齿条的形状均为l型,通过采用上述技术方案,可以提高盛放筒滚动时的稳定性。
8、优选的,所述盛放筒的两端均螺纹连接有密封盖,通过采用上述技术方案,可以便于加装物料。
9、优选的,所述碱洗池本体左侧靠近底部的位置固定设有气泡发生管,所述碱洗池本体右侧靠近底部的位置固定设有排放管,通过采用上述技术方案,一方面利用气泡发生管可以使碱洗池本体内部液体产生气泡,从而提高物料与液体的混合效果,另一方面利用排放管可以便于更换液体,确保液体纯度。
10、与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
11、该硅料碱洗池,通过设置碱洗池本体、齿条、物料盛放组件和液压缸,利用液压缸配合运作,一个液压缸输出端伸出,另一个液压缸输出端缩回,从而让碱洗池本体进行左右摆动,碱洗池本体摆动时,盛放筒可以通过齿圈与齿条的啮合进行自转,从而使盛放筒内部的物料进行自动翻动,进而提高物料与碱洗液的混合效果,同时又不会对物料造成损伤,有效避免对后续工艺产生影响。
1.一种硅料碱洗池,其特征在于:包括底板(1)以及铰接在所述底板(1)顶部的碱洗池本体(2),所述碱洗池本体(2)内部的前后两侧均固定安装有齿条(3),所述齿条(3)的上侧活动连接有多个物料盛放组件(4);
2.根据权利要求1所述的一种硅料碱洗池,其特征在于:所述底板(1)的顶部中间处固定连接有铰接座(101),所述碱洗池本体(2)位于所述铰接座(101)的位置固定连接有与其铰接连接的铰接块(201)。
3.根据权利要求2所述的一种硅料碱洗池,其特征在于:所述底板(1)顶部的左右两侧均固定安装有液压缸(5),两个所述液压缸(5)的输出端均固定连接有橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种硅料碱洗池,其特征在于:所述齿条(3)的形状均为l型。
5.根据权利要求1所述的一种硅料碱洗池,其特征在于:所述盛放筒(401)的两端均螺纹连接有密封盖(404)。
6.根据权利要求1所述的一种硅料碱洗池,其特征在于:所述碱洗池本体(2)左侧靠近底部的位置固定设有气泡发生管(202),所述碱洗池本体(2)右侧靠近底部的位置固定设有排放管(203)。