一种具有化学清洗的超声波清洗设备的制作方法

本技术涉及清洗设备，具体为一种具有化学清洗的超声波清洗设备。

背景技术：

1、半导体制程时，为了保持设备的使用寿命，需要使用适当清洗设备去除半导体制程设备的零件表面的杂质，并可维持半导体制程设备的效能。经检索，中国专利号为cn219187932u的专利，涉及的一种具有化学清洗的超声波清洗设备，可以提升装置对于物体表面的清洗效果，便于利用挂钩将待清洗的物体挂在传送带的底部，使得物体可以在传送带的带动下进行移动，以代替人工将物体放入装置内部进行清洗。上述专利虽然代替人工将物体放入装置内部进行清洗，但在挂钩在移动零件时，不同大小的零件会容易误碰清洗槽的边缘，并会导致零件掉落，因此不够方便，仍有使用局限性。

技术实现思路

1、为解决现有化学清洗的超声波清洗设备虽然代替人工将物体放入装置内部进行清洗，但在挂钩在移动零件时，不同大小的零件会容易误碰清洗槽的边缘，并会导致零件掉落，因此不够方便，仍有使用局限性的问题，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种具有化学清洗的超声波清洗设备，包括第一放置箱，所述第一放置箱内嵌合连接第一清洗箱和第二清洗箱，所述第一放置箱顶端螺栓连接支板，所述支板顶端螺栓连接顶板，所述顶板中部螺栓连接电动滑台，所述电动滑台侧端滑动连接滑块，所述滑块中部螺栓连接液压推杆的驱动端，所述液压推杆的输出端通过紧固件与第二放置箱相连接，所述第一清洗箱底端螺栓连接换能器，所述换能器侧端通过导线与超声波发生器相连接，所述第二放置箱顶端设有连板，所述连板侧端通过轴销与侧板相连接，所述连板另一侧端设有卡扣，所述卡扣侧端卡合连接侧板。

2、优选的，所述第一清洗箱侧端设有第一注水口，所述第一清洗箱另一侧端设有第一排水口，所述第一注水口和第一排水口侧端通过管道与第一水泵相连接，所述第一水泵侧端卡套连接溶液箱。

3、优选的，所述第二清洗箱侧端设有第二注水口，所述第二清洗箱另一侧端设有第二排水口。

4、优选的，所述第二注水口和第二排水口侧端通过管道与第二水泵相连接，所述第二水泵侧端卡套连接清水箱。

5、优选的，所述第二放置箱侧端设有呈矩形分布形式的侧板，所述第二放置箱底端设有底板，所述连板、侧板和底板中部设有网格。

6、本实用新型提供了一种具有化学清洗的超声波清洗设备。具备以下有益效果：

7、(1)、本实用新型可通过放置箱放置零件，然后通过电动滑台和液压推杆平移和升降放置箱以及零件，这样可使零件可被放入第一清洗箱和第二清洗箱进行化学清洗，清洗效率高。

8、(2)、本实用新型的放置箱通过卡扣可快速打开顶板，这样可方便在放置箱内放置零件，也使零件不会误碰到清洗槽的边缘，便捷实用。

技术特征：

1.一种具有化学清洗的超声波清洗设备，其特征在于：包括第一放置箱(1)，所述第一放置箱(1)内嵌合连接第一清洗箱(2)和第二清洗箱(3)，所述第一放置箱(1)顶端螺栓连接支板(4)，所述支板(4)顶端螺栓连接顶板(5)，所述顶板(5)中部螺栓连接电动滑台(6)，所述电动滑台(6)侧端滑动连接滑块(7)，所述滑块(7)中部螺栓连接液压推杆(8)的驱动端，所述液压推杆(8)的输出端通过紧固件与第二放置箱(9)相连接，所述第一清洗箱(2)底端螺栓连接换能器(11)，所述换能器(11)侧端通过导线与超声波发生器(10)相连接，所述第二放置箱(9)顶端设有连板(91)，所述连板(91)侧端通过轴销与侧板(92)相连接，所述连板(91)另一侧端设有卡扣(93)，所述卡扣(93)侧端卡合连接侧板(92)。

2.根据权利要求1所述一种具有化学清洗的超声波清洗设备，其特征在于：所述第一清洗箱(2)侧端设有第一注水口(21)，所述第一清洗箱(2)另一侧端设有第一排水口(22)，所述第一注水口(21)和第一排水口(22)侧端通过管道与第一水泵(23)相连接，所述第一水泵(23)侧端卡套连接溶液箱(24)。

3.根据权利要求1所述一种具有化学清洗的超声波清洗设备，其特征在于：所述第二清洗箱(3)侧端设有第二注水口(31)，所述第二清洗箱(3)另一侧端设有第二排水口(32)。

4.根据权利要求3所述一种具有化学清洗的超声波清洗设备，其特征在于：所述第二注水口(31)和第二排水口(32)侧端通过管道与第二水泵(33)相连接，所述第二水泵(33)侧端卡套连接清水箱(34)。

5.根据权利要求1所述一种具有化学清洗的超声波清洗设备，其特征在于：所述第二放置箱(9)侧端设有呈矩形分布形式的侧板(92)，所述第二放置箱(9)底端设有底板，所述连板(91)、侧板(92)和底板中部设有网格。

技术总结
本技术公开了一种具有化学清洗的超声波清洗设备，涉及清洗设备技术领域，所要解决的技术问题是提供一种具有化学清洗的超声波清洗设备，采用的方案为：所述第一放置箱顶端螺栓连接支板，所述支板顶端螺栓连接顶板，所述顶板中部螺栓连接电动滑台，所述电动滑台侧端滑动连接滑块，所述滑块中部螺栓连接液压推杆的驱动端，所述液压推杆的输出端通过紧固件与第二放置箱相连接，所述第一清洗箱底端螺栓连接换能器，所述换能器侧端通过导线与超声波发生器相连接，本技术可通过放置箱放置零件，然后通过电动滑台和液压推杆平移和升降放置箱以及零件，并将进行零件化学清洗，清洗效率高。

技术研发人员：阮五福
受保护的技术使用者：东莞市世平光电科技有限公司
技术研发日：20230828
技术公布日：2024/5/8