一种静电卡盘清洗装置的制作方法

本技术涉及电池充电，特别涉及一种静电卡盘清洗装置。

背景技术：

1、现有技术中，公开号为cn217191138u的专利公布了一种静电卡盘清洗工具，包括：板体，设置有与旋转驱动机构连接的连接部，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，圆柱体，从板体的板面延伸出来，圆柱体的侧壁上分布有至少一条流道，在圆柱体的侧壁以及流道内都设置有多个孔，且流道内的孔与所述通道连通，其中，在流道外的侧壁上的孔，用于安装清洗刷。本实用新型采用物理和化学方法共同作用清洗静电卡盘功能孔，方便快捷，清洗彻底。

2、但是，该工具的板体用于限制工具的位置，清洗过程中，板体与静电卡盘接触，转动过程中容易损伤静电卡盘的表面；

3、其流道外的侧壁上的孔和物料清洗刷上下高度固定，孔中流出的流体不能均匀的喷洒在静电卡盘孔的侧壁上，转动清洗时，静电卡盘孔的部分区域无法清洗到；

4、若清洗静电卡盘孔的尺寸较圆柱体大，转动清洗时，无法转动一周清洗到全部的孔的侧壁。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种静电卡盘清洗装置，解决背景技术中提出的技术问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：

3、一种静电卡盘清洗装置，包括板体和圆柱体，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，从板体的板面延伸出来，所述圆柱体的侧壁上设有安装清洗刷，所述圆柱体的侧壁上分布有一条流道，所述流道内都设置有多个孔，且流道内的孔与所述通道连通，所述板体上方设有与所述板体连接的转动装置，所述转动装置设置在支撑板上，所述支撑板上设有伸缩支撑装置。

4、优选的，所述转动装置包括连接件，所述连接件的下端与板体连接，所述连接件的上端与电机连接。

5、优选的，所述电机的动力输出端通过定位组件与连接件滑动连接，所述定位组件包括定位杆和设置在所述定位杆上的定位块，所述连接件上设有与所述定位块配合的限位槽。

6、优选的，所述限位槽的长度方向与地面平行。

7、优选的，所述定位杆上设有螺纹段，所述螺纹段上套设有定位螺母。

8、优选的，所述流道的长度方向为上下方向。

9、优选的，所述伸缩支撑装置包括用于放置待清洗静电卡盘的支撑盘和伸缩杆，所述伸缩杆设置在所述支撑板与所述支撑盘之间，所述伸缩杆的伸缩端与所述支撑盘连接。

10、采用上述技术方案，具有以下有益效果：

11、通过在板体上设置转动装置，在转动装置的支撑下，可以驱动板体、圆柱体转动，且板体的下侧壁不会与静电卡盘接触，避免接触磨损静电卡盘；

12、通过设置伸缩支撑装置，使得在清洗静电卡盘时，让静电卡盘上下移动，让孔中流出的液体较为均匀的喷洒在静电卡盘孔的侧壁上；

13、通过设置连接件和定位组件，可以让圆柱体的旋转中心与电机的旋转中心错开，以获得更大的清理空间。

技术特征：

1.一种静电卡盘清洗装置，包括板体和圆柱体，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，从板体的板面延伸出来，所述圆柱体的侧壁上设有安装清洗刷，其特征在于，所述圆柱体的侧壁上分布有一条流道，所述流道内都设置有多个孔，且流道内的孔与所述通道连通，所述板体上方设有与所述板体连接的转动装置，所述转动装置设置在支撑板上，所述支撑板上设有伸缩支撑装置。

2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘清洗装置，其特征在于：所述转动装置包括连接件，所述连接件的下端与板体连接，所述连接件的上端与电机连接。

3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘清洗装置，其特征在于：所述电机的动力输出端通过定位组件与连接件滑动连接，所述定位组件包括定位杆和设置在所述定位杆上的定位块，所述连接件上设有与所述定位块配合的限位槽。

4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘清洗装置，其特征在于：所述限位槽的长度方向与地面平行。

5.根据权利要求4所述的一种静电卡盘清洗装置，其特征在于：所述定位杆上设有螺纹段，所述螺纹段上套设有定位螺母。

6.根据权利要求1所述的一种静电卡盘清洗装置，其特征在于：所述流道的长度方向为上下方向。

7.根据权利要求4所述的一种静电卡盘清洗装置，其特征在于：所述伸缩支撑装置包括用于放置待清洗静电卡盘的支撑盘和伸缩杆，所述伸缩杆设置在所述支撑板与所述支撑盘之间，所述伸缩杆的伸缩端与所述支撑盘连接。

技术总结
本技术公开了一种静电卡盘清洗装置，属于静电卡盘领域，包括板体和圆柱体，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，从板体的板面延伸出来，所述圆柱体的侧壁上设有安装清洗刷，所述圆柱体的侧壁上分布有一条流道，所述流道内都设置有多个孔，且流道内的孔与所述通道连通，所述板体上方设有与所述板体连接的转动装置，所述转动装置设置在支撑板上，所述支撑板上设有伸缩支撑装置。

技术研发人员：石锗元,李君,陈振宁,陈庶舒,肖伟
受保护的技术使用者：君原电子科技（海宁）有限公司
技术研发日：20230909
技术公布日：2024/4/17