一种清洗设备及器件的清洗方法与流程

本发明涉及器件清洗，尤其涉及一种清洗设备及器件的清洗方法。

背景技术：

1、随着集成电路的高速发展，高密度形式越来越多，小型化的出现，对于微缝，或更低的间距清洗烘干带来很大的挑战，主流的洗剂和纯水由于表面张力大于微缝，导致清洗不佳，另外水分在烘干的过程中会羟基化，影响产品的可靠性。

技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种清洗设备及器件的清洗方法。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

3、第一方面，本发明实施例提供一种清洗设备，包括：机架、设于所述机架上的储液罐、加热器、喷淋器、分离罐及清洗机构，所述加热器连通于所述储液罐，所述喷淋器连通于所述加热器，所述清洗机构内设有用于放置物料的置物盘，所述喷淋器伸入所述清洗机构，所述分离罐连通于所述清洗机构，所述储液罐用于装入清洁剂，所述清洁剂经所述加热器加热后，沿着所述喷淋器对所述物料清洗，所述分离罐用于对清洗后的清洁剂进行脏污分离。

4、在一具体实施例中，所述储液罐和所述加热器之间还连通有增压泵，所述机架上还设有用于盛放助溶剂的溶剂箱，所述储液罐流出的所述清洁剂与所述助溶剂于管道内混合后流入所述增压泵。

5、在一具体实施例中，所述清洗机构包括清洗罐，所述置物盘设于所述清洗罐的内部，所述喷淋器伸入所述清洗罐，所述清洗罐内还设有超声波发生器，所述超声波发生器位于所述喷淋器的上方。

6、在一具体实施例中，所述清洗机构包括底板、盖体、壳体、驱动组件及升降组件，所述壳体内部设有清洗座，所述清洗座内侧设有所述置物盘，所述驱动组件及所述升降组件安装于所述底板，所述盖体传动连接于所述升降组件，所述壳体转动连接于所述驱动组件，所述盖体与所述壳体配合，以形成清洗腔，所述喷淋器伸入于所述盖体，所述清洗座设有对应于所述喷淋器的流体导向槽，所述流体导向槽设有连通于所述分离罐的出液孔。

7、在一具体实施例中，所述喷淋器和所述流体导向槽的数量为双数，且均匀分布，所述喷淋器为斜向喷流，所述喷淋器喷流出的所述清洁剂流向对面的所述流体导向槽。

8、在一具体实施例中，所述置物盘放置所述物料时，所述物料的上表面与所述盖体顶壁的距离小于3mm。

9、在一具体实施例中，所述清洗机构还包括旋转电机，所述旋转电机传动连接于所述置物盘。

10、在一具体实施例中，所述机架上还设有冷凝器，所述冷凝器连通于所述分离罐和所述储液罐，所述分离罐脏污分离产生的气体经所述冷凝器冷凝后流入所述储液罐。

11、在一具体实施例中，所述分离罐还连通于所述溶剂箱，所述分离罐脏污分离产生的助溶剂流入所述溶剂箱。

12、本发明的清洗设备，与现有技术相比的有益效果是：通过加热器连通于储液罐，喷淋器连通于加热器，清洗机构内设有用于放置物料的置物盘，喷淋器伸入清洗机构，分离罐连通于清洗机构，储液罐用于装入清洁剂，清洁剂经加热器加热后，沿着喷淋器对物料清洗，分离罐用于对清洗后的清洁剂进行脏污分离，即采用喷流清洗，可很好的解决物料的微缝清洗问题，环保高效。

13、第二方面，本发明实施例提供一种器件的清洗方法，采用上述的清洗设备，包括以下步骤：

14、往储液罐加入清洁剂；

15、启动加热器、喷淋器、分离罐及清洗机构，对器件进行清洗；

16、对清洗后的清洁剂进行脏污分离。

17、本发明的器件的清洗方法，与现有技术相比的有益效果是：通过往储液罐加入清洁剂，然后启动加热器、喷淋器、分离罐及清洗机构，对器件进行清洗，再对清洗后的清洁剂进行脏污分离，即采用喷流清洗，可很好的解决器件的微缝清洗问题，环保高效。

18、下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步描述。

技术特征：

1.一种清洗设备，其特征在于，包括：机架、设于所述机架上的储液罐、加热器、喷淋器、分离罐及清洗机构，所述加热器连通于所述储液罐，所述喷淋器连通于所述加热器，所述清洗机构内设有用于放置物料的置物盘，所述喷淋器伸入所述清洗机构，所述分离罐连通于所述清洗机构，所述储液罐用于装入清洁剂，所述清洁剂经所述加热器加热后，沿着所述喷淋器对所述物料清洗，所述分离罐用于对清洗后的清洁剂进行脏污分离。

2.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述储液罐和所述加热器之间还连通有增压泵，所述机架上还设有用于盛放助溶剂的溶剂箱，所述储液罐流出的所述清洁剂与所述助溶剂于管道内混合后流入所述增压泵。

3.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述清洗机构包括清洗罐，所述置物盘设于所述清洗罐的内部，所述喷淋器伸入所述清洗罐，所述清洗罐内还设有超声波发生器，所述超声波发生器位于所述喷淋器的上方。

4.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述清洗机构包括底板、盖体、壳体、驱动组件及升降组件，所述壳体内部设有清洗座，所述清洗座内侧设有所述置物盘，所述驱动组件及所述升降组件安装于所述底板，所述盖体传动连接于所述升降组件，所述壳体转动连接于所述驱动组件，所述盖体与所述壳体配合，以形成清洗腔，所述喷淋器伸入于所述盖体，所述清洗座设有对应于所述喷淋器的流体导向槽，所述流体导向槽设有连通于所述分离罐的出液孔。

5.根据权利要求4所述的清洗设备，其特征在于，所述喷淋器和所述流体导向槽的数量为双数，且均匀分布，所述喷淋器为斜向喷流，所述喷淋器喷流出的所述清洁剂流向对面的所述流体导向槽。

6.根据权利要求4所述的清洗设备，其特征在于，所述置物盘放置所述物料时，所述物料的上表面与所述盖体顶壁的距离小于3mm。

7.根据权利要求3或4所述的清洗设备，其特征在于，所述清洗机构还包括旋转电机，所述旋转电机传动连接于所述置物盘。

8.根据权利要求1所述的一种清洗设备，其特征在于，所述机架上还设有冷凝器，所述冷凝器连通于所述分离罐和所述储液罐，所述分离罐脏污分离产生的气体经所述冷凝器冷凝后流入所述储液罐。

9.根据权利要求2所述的清洗设备，其特征在于，所述分离罐还连通于所述溶剂箱，所述分离罐脏污分离产生的助溶剂流入所述溶剂箱。

10.一种器件的清洗方法，其特征在于，采用如权利要求1-9任一项所述的清洗设备，包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种清洗设备及器件的清洗方法；所述清洗设备，包括：机架、设于机架上的储液罐、加热器、喷淋器、分离罐及清洗机构，加热器连通于储液罐，喷淋器连通于加热器，清洗机构内设有用于放置物料的置物盘，喷淋器伸入清洗机构，分离罐连通于清洗机构，储液罐用于装入清洁剂，清洁剂经加热器加热后，沿着喷淋器对物料清洗，分离罐用于对清洗后的清洁剂进行脏污分离。本发明通过喷淋器伸入清洗机构，分离罐连通于清洗机构，储液罐用于装入清洁剂，清洁剂经加热器加热后，沿着喷淋器对物料清洗，分离罐用于对清洗后的清洁剂进行脏污分离，即采用喷流清洗，可很好的解决物料的微缝清洗问题，环保高效。

技术研发人员：郑国绍,曾志家,张彥平
受保护的技术使用者：深圳市凯尔迪光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17