方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备的制作方法

文档序号:42927326发布日期:2025-09-05 17:58阅读:20来源:国知局

本技术涉及气敏传感器加工领域,特别涉及一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备。


背景技术:

1、气敏传感器是用来检测气体浓度和成分的传感器,它对于环境保护和安全监督方面起着极重要的作用。

2、气敏传感制作原料包括单晶氧化铝衬底,制作时需要将边长为10mm的取向单晶氧化铝衬底在丙酮、异丙醇和去离子水中依次超声清洗5分钟,再使用超净合成空气将衬底吹干,并在光学显微镜下检查衬底抛光面是否清洗干净,否则会有后续的加工。

3、由于单晶氧化铝衬底体积较小,直接放置于超声波清洗机内,容易使单晶氧化铝衬底产生翻滚和碰撞,导致单晶氧化铝衬底产生损坏。

4、因此,很有必要提出一种新的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备用于解决上述问题。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,以解决由于单晶氧化铝衬底体积较小,直接放置于超声波清洗机内,容易使单晶氧化铝衬底产生翻滚和碰撞,导致单晶氧化铝衬底产生损坏的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,包括超声波清洗机,所述超声波清洗机上开设有清洗槽,所述清洗槽的内部设置有放置篮,所述放置篮的内部放置有固定吹干机构。

3、所述固定吹干机构包括底板,所述底板顶端的两侧均固定有支撑块,两个支撑块的顶端均设置有两个固定管,两个支撑块相对的一侧均开设有风槽,两个固定管的底端均和对应的风槽连通,所述固定管上滑动设置有下压板,所述超声波清洗机上固定有输入超净合成空气的气盒,所述气盒的一侧设置有软管,所述软管的一端和对应的固定管连接。

4、优选的,所述气盒设置有两个,两个气盒之间通过管道连通,所述软管的底端设置有螺纹口,所述螺纹口和固定管螺纹连接。

5、优选的,所述放置篮两侧的顶端均固定有支撑把手,两个支撑把手支撑于清洗槽两侧的顶端。

6、优选的,所述下压板的顶端固定连接有辅助把手,所述气盒的一侧设置有输入口。

7、优选的,所述超声波清洗机的内部设置有超声波发生器,且超声波发生器位于清洗槽的底端,所述清洗槽的内部设置有清洗液。

8、优选的,所述放置篮的外侧均设置为滤网结构。

9、优选的,所述输入口和对应的气盒的连接处设置有电磁阀。

10、本实用新型的有益技术效果在于:

11、通过辅助把手将下压板提拉上升,并且将单晶氧化铝衬底放置于底板上,松开下压板,下压板自动对单晶氧化铝衬底进行下压固定,当固定吹干机构放置于清洗液中时,超声波清洗不会使单晶氧化铝衬底产生翻滚,导致单晶氧化铝衬底之间相互碰撞造成损坏。

12、同时根据需要可以叠加放置单晶氧化铝衬底,根据不同单晶氧化铝衬底的厚度,下压板均可进行下压固定,对不同厚度的单晶氧化铝衬底进行清洗沉积。

13、支撑块可以对下压板进行最小高度的支撑,留有空间,使清洗液进入对单晶氧化铝衬底进行清洗,挤压损坏单晶氧化铝衬底或清洗液无法进入的情况,同时,当单晶氧化铝衬底清洗完成后,人员提拉放置篮上升后,通过输入口输入超净合成空气,超净合成空气可以从支撑块一侧的风槽排出,对清洗完成的单晶氧化铝衬底进行吹干,减少清洗液的残留,固定管即可作为空气的流通通道也可以作为下压板上升下降的滑杆。



技术特征:

1.一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:包括超声波清洗机(1),所述超声波清洗机(1)上开设有清洗槽(2),所述清洗槽(2)的内部设置有放置篮(8),所述放置篮(8)的内部放置有固定吹干机构;所述固定吹干机构包括底板(10),所述底板(10)顶端的两侧均固定有支撑块(11),两个支撑块(11)的顶端均设置有两个固定管(12),两个支撑块(11)相对的一侧均开设有风槽(14),两个固定管(12)的底端均和对应的风槽(14)连通,所述固定管(12)上滑动设置有下压板(13),所述超声波清洗机(1)上固定有输入超净合成空气的气盒(3),所述气盒(3)的一侧设置有软管(5),所述软管(5)的一端和对应的固定管(12)连接。

2.根据权利要求1所述的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:所述气盒(3)设置有两个,两个气盒(3)之间通过管道连通,所述软管(5)的底端设置有螺纹口(6),所述螺纹口(6)和固定管(12)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:所述放置篮(8)两侧的顶端均固定有支撑把手(9),两个支撑把手(9)支撑于清洗槽(2)两侧的顶端。

4.根据权利要求1所述的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:所述下压板(13)的顶端固定连接有辅助把手(7),所述气盒(3)的一侧设置有输入口(4)。

5.根据权利要求1所述的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:所述超声波清洗机(1)的内部设置有超声波发生器,且超声波发生器位于清洗槽(2)的底端,所述清洗槽(2)的内部设置有清洗液。

6.根据权利要求1所述的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:所述放置篮(8)的外侧均设置为滤网结构。

7.根据权利要求4所述的方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,其特征在于:所述输入口(4)和对应的气盒(3)的连接处设置有电磁阀。


技术总结
本技术公开一种方便调节沉积厚度的气敏传感器加工设备,包括超声波清洗机,所述超声波清洗机上开设有清洗槽,所述清洗槽的内部设置有放置篮,所述放置篮的内部放置有固定吹干机构,所述固定吹干机构包括底板,所述底板顶端的两侧均固定有支撑块,两个支撑块的顶端均设置有两个固定管,两个支撑块相对的一侧均开设有风槽,可以通过辅助把手将下压板提拉上升,并且将单晶氧化铝衬底放置于底板上,松开下压板,下压板自动对单晶氧化铝衬底进行下压固定,当固定吹干机构放置于清洗液中时,超声波清洗不会使单晶氧化铝衬底产生翻滚,导致单晶氧化铝衬底之间相互碰撞造成损坏。

技术研发人员:李中
受保护的技术使用者:苏州中芯微纳传感科技有限公司
技术研发日:20241106
技术公布日:2025/9/4
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