一种蚀刻液配制系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种蚀刻液配制系统，包括：原料单酸接驳系统、单酸贮池、混合贮池、蚀刻液浓度自动测定仪、成品混酸贮池、废液贮池，过滤贮池，压滤机，沉淀贮池，回收贮池、蚀刻设备贮池、隔膜泵及磁力离心泵，通过采用本发明中的蚀刻液配制系统，可对蚀刻废弃药液进行回收利用，不仅大大降低了生产成本，而且也有利于环保，另外本发明通过配备浓度自动测定仪，可以自动完成配比，从而杜绝了人为计算配比出现的误差。
【专利说明】一种蚀刻液配制系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及TFT-1XD蚀刻领域，尤其涉及一种蚀刻液配制系统。
【背景技术】
[0002]传统的蚀刻液配制系统只具备简单的配制混合、成品药液存贮功能，而不具有废弃药液回收处理功能，因此它只能配制全新的蚀刻液，而无法将使用过的蚀刻液进行回收利用，因此大大增加了耗材的使用成本及废液的处理成本，而且作为半自动配制，配制精度也较低。
[0003]因此，有必要提供一种解决上述技术问题的蚀刻液配制系统。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是:提供一种能对蚀刻后的废弃药液进行回收利用的蚀刻液配制系统。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为:一种蚀刻液配制系统，包括:原料单酸接驳系统、单酸贮池、混合贮池、蚀刻液浓度自动测定仪、成品混酸贮池、废液贮池，过滤贮池，压滤机，沉淀贮池，回收贮池、蚀刻设备贮池、隔膜泵及磁力离心泵，所述蚀刻液配制系统的工作原理为:从原料化工厂采购过来的单酸，通过原料单酸接驳系统把单酸注入到单酸贮池，根据生产要求在混合贮池内设置配酸量，配置过程中蚀刻液浓度自动测定仪会对配置后的蚀刻液进行浓度检测，根据实际测定的结果进行微调配酸，确保混酸中每一种酸的浓度的准确性，调配后的蚀刻液通过磁力离心泵注入成品混酸贮池中进行储存，当蚀刻设备需要使用蚀刻液时，就通过磁力离心泵将成品混酸贮池中的蚀刻液注入蚀刻设备贮池中，使用后，蚀刻设备贮池排出的废液首先进入废液贮池进行临时存储，然后通过隔膜泵将废液由废液贮池打入过滤贮池，接着通过启动隔膜泵将过滤贮池中的废液送入压滤机进行过滤，过滤后的澄清药液进入沉淀贮池，在沉淀贮池中静置药液完成药液中细微颗粒的结晶沉淀工作后，使用磁力离心泵将沉淀贮池中的澄清药液输送到回收贮池，从而完成药液回收的过程；最后将回收贮池中的回收液通过磁力离心泵注入到混合贮池，然后蚀刻液浓度自动测定仪对回收液的浓度进行测量，接着设备自动计算出需要注入的单酸的浓度，然后在混合贮池中依次注入单酸进行混合，最终得到需要浓度的蚀刻液，然后再通过磁力离心泵将混合贮池中的调配好的蚀刻液注入成品混酸贮池中，以此循环往复。
[0006]作为一种优选的技术方案，所述蚀刻液配制系统还设置有两个废液池。
[0007]作为一种优选的技术方案，所述混合贮池设有称重装置及冷水降温系统。
[0008]作为一种优选的技术方案，所述废液贮池的数量为两个，所述废液贮池内设有压缩空气鼓包系统。
[0009]作为一种优选的技术方案，所述压滤机的数量为两个。
[0010]作为一种优选的技术方案，所述沉淀贮池的数量共四个，分为两组，每组两个，两组沉淀贮池交替使用。[0011]作为一种优选的技术方案，所述沉淀贮池呈上圆柱体下圆锥体设置，并设有两个出液口，其中一个出液口设置于圆锥体的底部，另一个出液口设置于圆柱体与圆锥体交界处的偏上位置。
[0012]本发明的有益效果是:通过采用本发明中的蚀刻液配制系统，可对蚀刻废弃药液进行回收利用，不仅大大降低了生产成本，而且也有利于环保，另外本发明通过配备浓度自动测定仪，可以自动完成配比，从而杜绝了人为计算配比出现的误差。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本发明中蚀刻液配制系统的结构示意图。
[0015]图1中:1、原料单酸接驳系统，2、单酸贮池，3、混合贮池，4、蚀刻液浓度自动测定仪，5、成品混酸贮池，6、废液贮池，7、过滤贮池，8、压滤机，9、沉淀贮池，90、91、出液口，10、回收贮池，11、蚀刻设备贮池，12、13、16、17、磁力离心泵，14、15、19、隔膜泵，18、废液池，。
【具体实施方式】
[0016]为了进一步理解本发明，下面结合实施例对本发明优选实施方案进行描述，但是应当理解，这些描述只是为进一步说明本发明的特征和优点，而不是对本发明权利要求的限制。
[0017]请参阅图1，一种蚀刻液配制系统，包括:原料单酸接驳系统1、单酸贮池2、混合贮池3、蚀刻液浓度自动测定仪4、成品混酸贮池5、废液贮池6，过滤贮池7，压滤机8，沉淀贮池9，回收贮池10、蚀刻设备贮池11、隔膜泵14、15、19、及磁力离心泵12、13、16、17、，所述蚀刻液配制系统的工作原理为:从原料化工厂采购过来的单酸，通过原料单酸接驳系统I把单酸注入到单酸贮池2，根据生产要求在混合贮池3内设置配酸量，配置过程中蚀刻液浓度自动测定仪4会对配置后的蚀刻液进行浓度检测，根据实际测定的结果进行微调配酸，确保混酸中每一种酸的浓度的准确性，所述混合贮池3设有称重装置及冷水降温系统，所述称重装置能够精确的测量配置过程中每一种单酸的注入量，所述冷水降温系统能够快速的降低酸液混合过程中产出的热量，加快混酸配置速度。调配后的蚀刻液通过磁力离心泵12注入成品混酸贮池5中进行储存，当蚀刻设备需要使用蚀刻液时，就通过磁力离心泵13将成品混酸贮池5中的蚀刻液注入蚀刻设备贮池11中，使用后，蚀刻设备贮池11排出的废液首先进入废液贮池6进行临时存储，所述废液贮池6的数量为两个，所述废液贮池6内设有压缩空气鼓包系统，废液贮池6设置两个的好处在于:可以做到交替使用，降低故障率，实现无间断作业。设置压缩空气鼓包系统的作用在于:可防止废液中的沉淀物在废液贮池内堆积结块，造成废液贮池容积变小，及后期难以清理等问题。然后通过隔膜泵14将废液由废液贮池6打入过滤贮池7，接着通过启动隔膜泵15将过滤贮池7中的废液送入压滤机8进行过滤，所述压滤机8的数量为两个，采用双压滤机，可以实现双倍速作业，无间断作业，当一台压滤机需要清理的时候，另外一台可以继续工作满足不间断生产要求。过滤后的澄清药液进入沉淀贮池9，在沉淀贮池9中静置药液完成药液中细微颗粒的结晶沉淀工作后，使用磁力离心泵16将沉淀贮池9中的澄清药液输送到回收贮池10，从而完成药液回收的过程；在本实施方式中，所述沉淀贮池9的数量共四个，分为两组，每组两个，两组沉淀贮池9交替使用。当一组沉淀贮池在进行沉淀作业的时候，另一组沉淀贮池进行输送作业可以将已经沉淀好的废液通过磁力离心泵送入回收贮池,最后将回收贮池10中的回收液通过磁力离心泵17注入到混合贮池3，然后蚀刻液浓度自动测定仪4对回收液的浓度进行测量，接着设备自动计算出需要注入的单酸的浓度，然后在混合贮池3中依次注入单酸进行混合，最终得到需要浓度的蚀刻液，然后再通过磁力离心泵12将混合贮池3中的调配好的蚀刻液注入成品混酸贮池5中，以此循环往复。所述蚀刻液配制系统还设置有两个废液池18，可以根据实际生产中产品品质的情况，排掉不可以再利用的废液，废液池18中的废液可以用于其它用途，减少资源的浪费与环境的污染。本发明中的沉淀贮池9呈上圆柱体下圆锥体设置，并设有两个出液口 90、91，其中一个出液口 90设置于圆锥体的底部，另一个出液口 91设置于圆柱体与圆锥体交界处的偏上位置。两个出液口的功能不同，位于圆锥体底部的出液口 90连接到过滤贮池7，主要目的是通过隔膜泵19定期将含有一定异物的药液送回过滤贮池7进行过滤，确保沉淀贮池的洁净度；位于交界处偏上的出液口 91通过磁力离心泵16将沉淀好的干净废液输送到回收贮池10。
[0018]通过采用本发明中的蚀刻液配制系统，可对蚀刻废弃药液进行回收利用，不仅大大降低了生产成本，而且也有利于环保，另外本发明通过配备浓度自动测定仪，可以自动完成配比，从而杜绝了人为计算配比出现的误差。
[0019]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的 关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0020]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【权利要求】
1.一种蚀刻液配制系统，其特征在于:包括:原料单酸接驳系统、单酸贮池、混合贮池、蚀刻液浓度自动测定仪、成品混酸贮池、废液贮池,过滤贮池,压滤机,沉淀贮池，回收贮池、蚀刻设备贮池、隔膜泵及磁力离心泵，所述蚀刻液配制系统的工作原理为:从原料化工厂采购过来的单酸，通过原料单酸接驳系统把单酸注入到单酸贮池，根据生产要求在混合贮池内设置配酸量，配置过程中蚀刻液浓度自动测定仪会对配置后的蚀刻液进行浓度检测，根据实际测定的结果进行微调配酸，确保混酸中每一种酸的浓度的准确性，调配后的蚀刻液通过磁力离心泵注入成品混酸贮池中进行储存，当蚀刻设备需要使用蚀刻液时，就通过磁力离心泵将成品混酸贮池中的蚀刻液注入蚀刻设备贮池中，使用后,蚀刻设备贮池排出的废液首先进入废液贮池进行临时存储，然后通过隔膜泵将废液由废液贮池打入过滤贮池，接着通过启动隔膜泵将过滤贮池中的废液送入压滤机进行过滤，过滤后的澄清药液进入沉淀贮池，在沉淀贮池中静置药液完成药液中细微颗粒的结晶沉淀工作后，使用磁力离心泵将沉淀贮池中的澄清药液输送到回收贮池，从而完成药液回收的过程；最后将回收贮池中的回收液通过磁力离心泵注入到混合贮池，然后蚀刻液浓度自动测定仪对回收液的浓度进行测量，接着设备自动计算出需要注入的单酸的浓度，然后在混合贮池中依次注入单酸进行混合，最终得到需要浓度的蚀刻液，然后再通过磁力离心泵将混合贮池中的调配好的蚀刻液注入成品混酸贮池中，以此循环往复。
2.如权利要求1所述的一种蚀刻液配制系统，其特征在于:所述蚀刻液配制系统还设置有两个废液池。
3.如权利要求2所述的一种蚀刻液配制系统，其特征在于:所述混合贮池设有称重装置及冷水降温系统。
4.如权利要求1或2或3所述的一种蚀刻液配制系统，其特征在于:所述废液贮池的数量为两个，所述废液贮池内设有压缩空气鼓包系统。
5.如权利要求4所述的一种蚀刻液配制系统，其特征在于:所述压滤机的数量为两个。
6.如权利要求1所述的一种蚀刻液配制系统，其特征在于:所述沉淀贮池的数量共四个，分为两组，每组两个，两组沉淀贮池交替使用。
7.如权利要求1或6所述的一种蚀刻液配制系统，其特征在于:所述沉淀贮池呈上圆柱体下圆锥体设置，并设有两个出液口，其中一个出液口设置于圆锥体的底部，另一个出液口设置于圆柱体与圆锥体交界处的偏上位置。
【文档编号】B01F3/08GK103861486SQ201410060819
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2014年2月24日 优先权日:2014年2月24日
【发明者】滕祥飞, 阮军 申请人:惠晶显示科技（苏州）有限公司