一种冷阱及冷阱再生装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及抽真空【技术领域】，特别涉及一种冷阱及冷阱再生装置，用于提高冷阱再生的效率。本实用新型公开的冷阱包括：冷阱壳体，设置于冷阱壳体内的低温挡板，以及用于除去冷凝在低温挡板表面上的固体的冷阱再生装置；其中，冷阱再生装置包括：设置于冷阱壳体内、以使冷凝在低温挡板表面上的固体融化的第一加热件；设置于冷阱壳体内的底部、以使从低温挡板上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件；与冷阱壳体底部连通、以将冷凝在低温挡板表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路；设置于冷阱壳体底部与排液管路连通位置的过滤器；以及设置于排液管路上开关阀。
【专利说明】一种冷阱及冷阱再生装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及抽真空【技术领域】，特别涉及一种冷阱及冷阱再生装置。
【背景技术】
[0002]目前，在显示面板的制造过程中，例如在基板上溅射镀膜形成栅极层、源漏极层或有源层时，为了保证产品质量，一般都是在真空腔室内完成的；而为了保证真空腔室内的真空度，通常利用冷阱来除去真空腔室内的水蒸汽。
[0003]如图1所示，为现有技术中一种冷阱的结构示意图；该冷阱I包括:冷阱壳体11，设置于冷阱壳体11内的低温挡板12，设置于冷阱壳体11内且与低温档板12相对的加热板13，以及设置于冷阱壳体11内且与加热板13相对的热反射板14 ;当使用该冷阱I去除真空腔室2内的蒸汽时，因低温挡板12上的温度较低(一般为80k低温)，水蒸汽会在低温档板12上凝结为冰块3，从而去除真空腔室2内的水蒸汽，达到保证真空腔室2内的真空度的目的；当冷阱I使用一段时间后，吸附在低温档板12上冰块会达到饱和，此时需要对冷阱I进行再生，具体是通过加热板13和热反射板14对吸附在低温挡板12上冰块进行加热，使其变为水，从而使冷阱I恢复冷凝蒸汽能力，进而完成冷阱I的再生。
[0004]不过，本申请发明人发现，在对冷阱I进行再生时，体积较大的冰块3小部分融化后脱离了加热板13所辐射的加热区，掉到冷阱壳体11的底部，因此，在冷阱再生过程中，会有较多的冰水混合物聚集在冷阱壳体11的底部，不利于后续将水从冷阱壳体中抽出，严重影响冷阱再生的效率。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种冷阱及冷阱再生装置，用于提高冷阱再生的效率。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案:
[0007]—种冷阱，包括:冷阱壳体，设置于所述冷阱壳体内的低温挡板，以及用于除去冷凝在所述低温挡板表面上的固体的冷阱再生装置；其中，所述冷阱再生装置包括:
[0008]设置于所述冷阱壳体内、以使冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化的第一加热件；
[0009]设置于所述冷阱壳体内的底部、以使从所述低温挡板上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件；
[0010]与所述冷阱壳体底部连通、以将冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路；
[0011]设置于所述冷阱壳体底部与所述排液管路连通位置的过滤器；
[0012]以及设置于所述排液管路上开关阀。
[0013]优选地，所述第一加热件和所述第二加热件分别为加热板、加热管或加热环。
[0014]优选地，所述冷阱壳体的底部具有容纳从所述低温挡板上掉落的液体和固体的容纳槽，所述第二加热件设置于所述容纳槽内，所述排液管路与所述容纳槽连通。
[0015]进一步地，上述冷阱还包括:设置于所述冷阱壳体内且与所述第一加热件相对的热反射板。
[0016]优选地,所述热反射板为单面热反射板或双面热反射板。
[0017]本实用新型同时还提供了一种冷阱再生装置，包括:
[0018]设置于冷阱壳体内以使冷凝在低温挡板表面上的固体融化的第一加热件；
[0019]设置于所述冷阱壳体内的底部、以使从所述低温挡板上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件；
[0020]与所述冷阱壳体底部连通、以将冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路；
[0021]设置于所述冷阱壳体底部与所述排液管路连通位置的过滤器；
[0022]以及设置于所述排液管路上开关阀。
[0023]优选地所述第二加热件分别为加热板、加热管或加热环。
[0024]进一步地，上 述冷阱再生装置还包括:设置于所述冷阱壳体内且与所述第一加热件相对的热反射板。
[0025]在利用本实用新型提供的冷阱对真空腔室进行抽真空时，冷阱壳体与真空腔室连通，因真空腔室和冷阱壳体存在较大的温差，使得真空腔室内的蒸汽会朝向冷阱壳体中低温挡板流动，当蒸汽与低温挡板接触后会冷凝成固体；当上述冷阱使用一段时间后，冷阱吸附蒸汽的能力达到饱和，此时，需要对冷阱进行再生，具体通过第一加热件对冷凝在低温挡板的固体进行加热，以使所述固体融化成液体流到冷阱壳体的底部，但当固体的体积较大时，小部分融化后脱离了加热板所辐射的加热区，掉到冷阱壳体的底部，即未完全融化的固体从低温挡板上脱落到冷阱壳体的底部，此时，通过第二加热件对对未完全融化的固体进行加热，使其完全融化或融化成可通过过滤器的微小颗粒，以便于从排液管路中排出。
[0026]从上述技术方案可知，与【背景技术】所提的冷阱相比，因在本实用新型提供的冷阱和冷阱再生装置中设置有第二加热件，通过第二加热件可以使未完全融化的固体完全融化成液体或可通过过滤器的微小颗粒，从而可以快速将固体融化所形成的液体或含有微小颗粒的水液体排出冷阱壳体，明显提高了冷阱再生的效率，进而提高了对真空腔室进行抽真空的效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1为现有技术中一种冷阱的结构示意图；
[0028]图2为本实用新型实施例提供的一种冷阱的结构示意图。
[0029]附图标记:
[0030]1-冷阱，2-真空腔室，
[0031]3-冰块，11-冷阱壳体，
[0032]12-低温挡块，13-第一加热件，
[0033]14-热反射板，15-容纳槽，
[0034]16-第二加热件，17-排液管路，
[0035]18-过滤器， 19-开关阀。【具体实施方式】
[0036]现有的冷阱进行再生时，因体积较大的冰块未完全融化就脱离了加热板所辐射的加热区，形成冰水混合物聚集在冷阱壳体的底部，不利于后续将水从冷阱壳体中抽出，影响冷阱再生的效率，有鉴于此，本实用新型提供了一种改进的技术方案，在冷阱壳体内的底部增设了一个第二加热件，以使从低温挡板上掉落的未完全融化的固体完全融化为液体，从而便于将液体排出冷阱壳体，进而提高冷阱再生的效率。
[0037]为了使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合说明书附图对本实用新型实施例进行详细的描述。
[0038]首先申明，因本实用新型实施例提供的冷阱适用于对真空腔室内的水蒸汽、油蒸汽或水油混合蒸汽等蒸汽进行冷凝，对应的冷凝在低温挡板表面上的固体为冰块、油块等固体，为了描述方便，下文将以冷凝在低温挡板上固体为冰块为例进行描述。
[0039]请参阅图2，为本实用新型实施例提供的一种冷阱的结构示意图。本实用新型实施例提供冷阱I包括:冷阱壳体11，设置于冷阱壳体11内的低温挡板12，以及用于除去冷凝在低温挡板12表面上的冰块3的冷阱再生装置；其中，冷阱再生装置包括:设置于冷阱壳体11内、以使冷凝在低温挡板12表面上的冰块3融化的第一加热件13 ;设置于冷讲壳体11内的底部、以使从低温挡板12上掉落的未完全融化的冰块3进一步融化的第二加热件16 ;与冷阱壳体11底部连通、以将冷凝在低温挡板12表面上的冰块3融化所形成的液体排出的排液管路17 ;设置于冷阱壳体11底部与排液管路17连通位置的过滤器18 ;以及设置于排液管路17上开关阀19。
[0040]在上述冷阱中，第一加热件13与低温挡板12平行且相对设置，用于对冷凝在低温挡板12表面上的冰块3进行加热，以使冰块3融化为水；第二加热件16设置于冷阱壳体11内的底部，用于对从低温挡板12上掉落的未完全融化的冰块3进行加热，以使未完全融化的冰块3完全融化或使冰块3融化成可通过过滤器18的微小冰粒；上述冰块经过第一加热件13和第二加热件16加热后融化所形成的水会聚集在冷阱壳体11的底部，打开开关阀19便可排出冷阱壳体11，从而完成冷阱再生。
[0041]当利用上述冷阱I对真空腔室2进行抽真空时，冷阱壳体11与真空腔室2连通，因真空腔室2和冷阱壳体11存在较大的温差，使得真空腔室2内的水蒸汽会朝向冷阱壳体11中低温挡板12流动，当水蒸汽与低温挡板12接触后会冷凝成冰块3 ;当上述冷阱使用一段时间后，冷阱I冷凝水蒸汽的效率会降低，即冷阱I吸附水蒸汽的能力达到饱和，此时，需要对冷阱I进行再生，具体地，利用第一加热件13对冷凝在低温挡板12的冰块3进行加热，以使冰块3融化，因冰块3 —般较大，未完全融化的冰块3会从低温档板12上掉落到冷阱壳体11内的底部，通过第二加热件16对未完全融化的冰块3进行加热，使其完全融化或融化成可通过过滤器18的微小冰粒，以便于从排液管路17中排出。
[0042]因此，与【背景技术】所提的冷阱相比，通过第二加热件可以使未完全融化的冰块完全融化成水或可通过过滤器18的微小冰粒，从而可以快速将冰块融化所形成的水或含有微小冰粒的水排出冷阱壳体11，明显提高了冷阱再生的效率。进而对真空腔室2进行抽真空的效率。
[0043]具体实施时，上述第一加热件13和第二加热件16可分别为加热板、加热管或加热环，并与低温挡板12平行且相对设置，优选地，第一加热件13和第二加热件16分别为加热板，如此设计可以提高加热面积，提高冰块3融化的速度。
[0044]继续参阅图2，一种优选实施方式中，冷阱壳体11的底部具有容纳从低温挡板12上掉落的水和冰块3的容纳槽15，第二加热件16设置于容纳槽15内，排液管路17与容纳槽15连通。冰块3融化形成的水及未完全融化的冰块会聚集在容纳槽15内，通过第二加热件16对其加热，使冰水混合物融化成水，如此，可以使未完全融化的冰块集中以便于加热融化，此外，还可以防止聚集在冷阱壳体11内的底部的水流入到真空腔室2。
[0045]进一步地，上述冷阱还包括:设置于冷阱壳体11内且与第一加热件13相对的热反射板14 ;具体地，该热反射板14可以为单面热反射板或双面热反射板，当热反射板14为单面热反射板时，热反射板14的反射面朝向真空腔室2，如此设计，冷阱I正常工作时真空腔室2发射到热反射板14上的热量，会被热反射板14反射回真空腔室2，以免因这些热量而使冷凝在低温挡板12上冰块融化，从而影响真空腔室2的真空度。当热反射板14为双面热反射板时，热反射板14既可以在冷阱I正常工作时使低温档板12避免受到来自真空腔室2的热辐射，又可在冷阱再生时提高第一加热件13的热利用率，节约能源。
[0046]继续参阅图2，本实用新型实施例同时还提供了一种冷阱再生装置，包括:设置于冷阱壳，11内以使冷凝在低温挡板12表面上的冰块3融化的第一加热件13 ;设置于冷阱壳体11内的底部、以使从低温挡板12上掉落的未完全融化的冰块3进一步融化的第二加热件16 ;与冷阱壳体11底部连通、以将冷凝在低温挡板12表面上的冰块3融化所形成的液体排出的排液管路17 ;设置于冷阱壳体11底部与排液管路17连通位置的过滤器18 ;以及设置于排液管路17上开关阀19。
[0047]优选地，第一加热件13和第二加热件16分别为加热板、加热管或加热环。
[0048]进一步地，上述冷阱再生装置还包括:设置于冷阱壳体11内且与第一加热件13相对热反射板14 ;热反射板14的结构与功能已在上文描述，因此不再赘述。
[0049]因上述冷阱再生装置的工作原理与上述实施例所提供的冷阱中冷阱再生装置的工作原理相同，故此不再赘述。
[0050]综上所述，采用本实用新型提供的冷阱和冷阱再生装置，因第二加热件的存在可以进一步使未完全融化的冰块(固体)完全融化或融化成可通过过滤器的微小冰粒(颗粒)，从而便于将聚集在冷阱壳体内的底部的水(液体)排出冷阱壳体，进而提高冷阱再生的效率。
[0051]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种冷阱，其特征在于，包括:冷阱壳体，设置于所述冷阱壳体内的低温挡板，以及用于除去冷凝在所述低温挡板表面上的固体的冷阱再生装置；其中，所述冷阱再生装置包括: 设置于所述冷阱壳体内、以使冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化的第一加热件；设置于所述冷阱壳体内的底部、以使从所述低温挡板上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件； 与所述冷阱壳体底部连通、以将冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路； 设置于所述冷阱壳体底部与所述排液管路连通位置的过滤器； 以及设置于所述排液管路上开关阀。
2.如权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述第一加热件和所述第二加热件分别为加热板、加热管或加热环。
3.如权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述冷阱壳体的底部具有容纳从所述低温挡板上掉落的液体和固体的容纳槽，所述第二加热件设置于所述容纳槽内，所述排液管路与所述容纳槽连通。
4.如权利要求1-3任一所述的冷阱，其特征在于，还包括:设置于所述冷阱壳体内且与所述第一加热件相对的热反射板。
5.如权利要求4所述的冷阱，其特征在于，所述热反射板为单面热反射板或双面热反射板。
6.一种冷阱再生装置，其特征在于，包括: 设置于冷阱壳体内以使冷凝在低温挡板表面上的固体融化的第一加热件； 设置于所述冷阱壳体内的底部、以使从所述低温挡板上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件； 与所述冷阱壳体底部连通、以将冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路； 设置于所述冷阱壳体底部与所述排液管路连通位置的过滤器； 以及设置于所述排液管路上开关阀。
7.如权利要求6所述的冷阱再生装置，其特征在于，所述第一加热件和所述第二加热件分别为加热板、加热管或加热环。
8.如权利要求6或7所述的冷阱再生装置，其特征在于，还包括:设置于所述冷阱壳体内且与所述第一加热件相对的热反射板。
【文档编号】B01D8/00GK203694657SQ201420066305
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年2月14日 优先权日:2014年2月14日
【发明者】高连龙, 张立星, 张继坡, 王亚非, 李国平 申请人:北京京东方显示技术有限公司, 京东方科技集团股份有限公司