自动植砂设备及自动植砂系统的制作方法

文档序号:11535556阅读:198来源:国知局
自动植砂设备及自动植砂系统的制造方法与工艺

本实用新型涉及一种植砂设备及植砂系统,特别涉及一种自动植砂设备及自动植砂系统。



背景技术:

籽晶引晶促进多晶硅铸锭非自发形核,从而改善多晶硅出锭晶花的大小,降低位错密度与缺陷,提高终端转换效率,被认为是目前最有效的高效铸锭技术。高效植砂技术已被证明是一种有效提高多晶硅铸锭质量的坩埚技术,高效坩埚最常用的引晶材料一般为石英砂、硅料、碳化硅等高纯颗粒,其密度与分布是影响高效植砂技术产业化最关键的技术参数之一,对多晶硅铸锭质量有直接影响。

在现有技术中,植砂采用人工方式实现,具体为在坩埚内涂刷浆料,然后再进行植砂,但人工植砂难以保证植砂均匀,而且植砂效率较低,为此急需一种能够解决上述问题的技术方案。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种自动植砂设备,以解决现有技术植砂效果差的问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种自动植砂设备,包括落砂夹板装置、驱动装置、砂辊和出砂通道;所述落砂夹板装置内部具有容纳腔,所述落砂夹板装置底部设有出砂口,所述出砂口与所述容纳腔导通;所述砂辊设于所述落砂夹板装置下方,所述砂辊的辊面与所述出砂口相对,且所述砂辊的辊面与所述出砂口之间留有出砂间隙;所述驱动装置与所述砂辊的转动中心联接,用以带动所述砂辊转动;所述出砂通道设于所述砂辊的下方,所述出砂通道上部为接砂口,所述接砂口用于接收从所述砂辊排出的砂料,所述出砂通道下部为卸料口,所述出砂通道包括至少一块挡板,所述挡板用于将所述砂料反弹至所述卸料口排出。

优选的,所述出砂通道包括至少两块挡板,各所述挡板沿出砂方向交替排列在所述出砂通道的两侧,所述挡板用于将所述砂料沿出砂方向在各个所述挡板上交替反弹、直至排出卸料口。

优选的,所述出砂通道两侧的所述挡板平行相对。

优选的,所述出砂间隙的宽度为0.1mm至1cm。

优选的,所述挡板的倾斜度为20°至70°。

优选的,所述挡板的材质为玻璃、陶瓷板、亚克力板材或合金板。

优选的,所述砂辊的材质为塑料、橡胶、陶瓷或聚氨酯胶。

本实用新型的有益效果如下:

首先,由于落砂夹板装置内部设有容纳腔、下部设有与容纳腔导通的出砂口,所以砂料能够放置在容纳腔内,并经出砂口流出;其次,由于砂辊的辊面与出砂口相对,且砂辊的辊面与出砂口之间留有出砂间隙,所以经出砂口流出的砂料将落在砂辊的辊面上;再者,由于驱动装置与砂辊的转动中心联接,所以驱动装置能够带动砂辊绕自身的转动中心进行自转,从而带动辊面上的砂料排出、下落;更进一步的,由于出砂通道设于砂辊的下方,出砂通道的上部为接砂口,出砂通道包括至少一块挡板,所以从砂辊落下的砂料将经接砂口落至出砂通道内,并由挡板反弹至卸料口排出,由于这种反弹过程能够使得砂料均匀溅射在坩埚内,从而实现了植砂的自动、高效和均匀。

本实用新型的另一个目的在于提供一种自动植砂系统,以解决现有技术植砂效果差的问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种应用上述自动植砂设备的自动植砂系统,包括坩埚,所述自动植砂设备设于所述坩埚上方,所述自动植砂设备的所述卸料口对准所述坩埚。

优选的,所述坩埚为石英陶瓷坩埚。

本实用新型的有益效果如下:

同理,由于本实用新型所述的自动植砂设备能够将砂料均匀溅出,而本实用新型所述的自动植砂系统应用了该自动植砂设备,所以本实用新型所述的自动植砂系统便能将砂料均匀溅射在坩埚内,以实现植砂的自动、高效和均匀。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型自动植砂设备优选实施方式提供的结构示意图一;

图2是本实用新型自动植砂设备优选实施方式提供的结构示意图二;

图3是本实用新型自动植砂系统优选实施方式提供的结构示意图。

附图标记如下:

1、落砂夹板装置;11、容纳腔;12、出砂口;

2、驱动装置;

3、砂辊;

4、出砂通道;41、第一挡板;42、第二挡板;43、第三挡板;

5、坩埚。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图,对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

从图1至2可知,本实用新型所述的自动植砂设备,包括落砂夹板装置1、驱动装置2、砂辊3和出砂通道4;所述落砂夹板装置1内部具有容纳腔11,所述落砂夹板装置1底部设有出砂口12,所述出砂口12与所述容纳腔11导通;所述砂辊3设于所述落砂夹板装置1下方,所述砂辊3的辊面与所述出砂口12相对,且所述砂辊3的辊面与所述出砂口12之间留有出砂间隙;所述驱动装置2与所述砂辊3的转动中心联接,用以带动所述砂辊3转动;所述出砂通道4设于所述砂辊3的下方,所述出砂通道4上部为接砂口,所述接砂口用于接收从所述砂辊3排出的砂料,所述出砂通道4下部为卸料口,所述出砂通道4包括至少一块挡板,所述挡板用于将所述砂料反弹至所述卸料口排出。

在现有技术中,植砂采用人工方式实现,具体为在坩埚内涂刷浆料,然后再进行植砂,但人工植砂难以保证植砂均匀,而且植砂效率较低。

为了解决这个问题,本实施方式提供了一种自动植砂设备,具体为包括落砂夹板装置1、驱动装置2、砂辊3和出砂通道4;首先,由于落砂夹板装置1内部设有容纳腔11、下部设有与容纳腔11导通的出砂口12,所以砂料能够放置在容纳腔11内,并经出砂口12流出;其次,由于砂辊3的辊面与出砂口12相对,且砂辊3的辊面与出砂口12之间留有出砂间隙,所以经出砂口12流出的砂料将落在砂辊3的辊面上;再者,由于驱动装置2与砂辊3的转动中心联接,所以驱动装置2能够带动砂辊3绕自身的转动中心进行自转,从而带动辊面上的砂料排出、下落;更进一步的,由于出砂通道4设于砂辊3的下方,出砂通道4的上部为接砂口,出砂通道4包括至少一块挡板,所以从砂辊3落下的砂料将经接砂口落至出砂通道4内,并由挡板反弹至卸料口排出,由于这种反弹过程能够使得砂料均匀溅射在坩埚内,从而实现了植砂的自动、高效和均匀。

需要指出,由于挡板的数量至少为一块,所以当挡板为一块时,砂料将落至挡板上,并经挡板直接反弹至卸料口排出,而当挡板为多块时,砂料将在各个挡板上交替反弹、直至排出卸料口。

本实用新型的优选实施方式如图1和2所示,所述出砂通道4包括至少两块挡板,各所述挡板沿出砂方向交替排列在所述出砂通道4的两侧,所述挡板用于将所述砂料沿出砂方向在各个所述挡板上交替反弹、直至排出卸料口。

由于各所述挡板沿出砂方向交替排列在所述出砂通道4的两侧,此时可以定义所述挡板朝向出砂通道4内部的一表面为反弹面,所以砂料将落在第一块挡板的反弹面上,并反弹至第二块挡板的反弹面上,然后再反弹至第三块挡板的反弹面上,以此类推,直至砂料完成整个反弹过程排出,由于这种反弹过程能够使得砂料均匀溅射在坩埚内,从而实现了植砂的自动、高效和均匀。

需要指出,本实施方式定义所述挡板朝向出砂通道4内部的一表面为反弹面,并非限定挡板的一表面上设有特殊材质或结构,而是指代挡板用自身的一表面进行砂料反弹,所以反弹面可以是挡板自身的一表面,也可以是在挡板一表面上设置特殊材质或结构形成。

如图1所示,本实施方式优选将挡板的数量设为两块,即第一挡板41和第二挡板42,此时第一挡板41的上表面为反弹面,第一挡板41的反弹面朝向砂辊3的出砂处,而第二挡板42置于第一挡板41的上方,第二挡板42的下表面为反弹面,第二挡板42的反弹面与第一挡板41的反弹面相对;当砂料下落时,砂料将落在第一挡板41的反弹面上,然后反弹至第二挡板42的反弹面上,最后由第二挡板42的反弹面将砂料均匀溅出。

而将挡板数量设置为多块时,可参考图2,此时挡板的数量为三块,即第一挡板41、第二挡板42和第三挡板43,此时第一挡板41的上表面为反弹面,第一挡板41的反弹面朝向砂辊3的出砂处,而第二挡板42置于第一挡板41的上方,第二挡板42的下表面为反弹面,第二挡板42的反弹面与第一挡板41的反弹面相对,最后,第三挡板43置于第二挡板42的下方,第三挡板43的上表面为反弹面,第三挡板43的反弹面与第二挡板42的反弹面相对;当砂料下落时,砂料将落在第一挡板41的反弹面上,然后反弹至第二挡板42的反弹面上,继而反弹至第三挡板43的反弹面,最后由第三挡板43的反弹面将砂料均匀溅出;通过本实施方式可知,当挡板的数量为多块时,一块挡板的反弹面可以同时与两块挡板的反弹面相对。

本实用新型的优选实施方式如图1和2所示,所述出砂通道4两侧的所述挡板平行相对。

在实际应用过程中,若相对挡板的倾斜度各不相同,会导致控制砂料均匀溅出变得困难,如当自动植砂设备原使用砂料A进行植砂,若更换砂料B进行植砂,由于砂料A与砂料B的弹性不同,所以需要对各挡板之间位置进行调整,而调整内容包括各挡板的倾斜度、以及相离挡板的间距,调整的组合多种多样,为调整带来巨大的困难。

为了解决上述问题,本实施方式将所述出砂通道4两侧的所述挡板平行相对,所以需要调整倾斜度时,各挡板的倾斜度一同变化,无需各个挡板单独调节,大大降低了调整的复杂性,为生产使用带来了极大的便利。

本实用新型的优选实施方式如下,所述出砂间隙的宽度为0.1mm至1cm。

出砂间隙的宽度是指砂辊3的辊面最高处与出砂口12之间的间距,所以出砂间隙若过小,砂料将无法经出砂口12排出,而出砂口12若过大,砂料下落至砂辊3上变容易向各个方向溅出,使得控制砂料往固定方向下落难以实现。

为了解决这个问题,本实施方式将出砂间隙的宽度设定为0.1mm至1cm,该宽度范围与现有砂料的大小相适应,能够保证砂料顺利排出,并使得砂辊3能够控制砂料往指定方向排出,其中,现有砂料可以是石英砂、硅料、碳化硅等高纯颗粒。

本实用新型的优选实施方式下,所述挡板的倾斜度为20°至70°。

砂料的溅出角度主要由挡板的倾斜度控制,所以为了保证砂料溅出均匀,如何选取挡板的倾斜度尤为重要;为了解决这个问题,本实施方式将挡板的倾斜度设置为20°至70°,在该范围内能够使得砂料溅出均匀,其中,挡板的倾斜度是指挡板下部与水平线的夹角。

本实用新型的优选实施方式如下,所述挡板的材质为玻璃、陶瓷板、亚克力板材或合金板。

在实际使用过程中,各挡板需要将砂料反弹至指定位置溅出,为了达到这个目的,本实施方式使用了玻璃、陶瓷板、亚克力板材或合金板制作挡板,由于玻璃和合金板均属于硬度较高的材质,所以其反弹能力较佳,能够保证砂料反弹更远的距离,以此使得砂料能够反弹至指定位置溅出。

本实用新型的优选实施方式如下,所述砂辊3的材质为塑料、橡胶、陶瓷或聚氨酯胶。

在实际使用过程中,砂料与砂辊3之间需要保持一定的吸力,以便砂辊3转动时能够将砂料带至指定位置排出;为了达到这个目的,本实施方式使用了塑料、橡胶、陶瓷或聚氨酯胶制作砂辊3,由于塑料、橡胶、陶瓷和聚氨酯胶的摩擦系数较高,所以能够防止砂料与砂辊3产生打滑现象,保证了砂辊3能够将砂料带至指定位置排出。

从图3可知,本实用新型所述的自动植砂系统应用了上述的自动植砂设备,包括坩埚5,所述自动植砂设备设于所述坩埚5上方,所述自动植砂设备的所述卸料口对准所述坩埚5。

同理,由于本实用新型所述的自动植砂设备能够将砂料均匀溅出,所以本实施方式应用该自动植砂设备后便能将砂料均匀溅射在坩埚5内,以实现植砂的自动、高效和均匀。

本实用新型的优选实施方式如下,所述坩埚5为石英陶瓷坩埚。

坩埚5的质量对多晶硅铸锭具有重要影响,所以选择合适的坩埚5尤为重要;为了达到这个目的,本实施方式选用了石英陶瓷坩埚,全称为高纯熔融石英陶瓷坩埚(二氧化硅含量≥99.9%)。是以高纯熔融石英为原料做成的陶瓷质坩埚,一般情况下,其形状主要有方形和圆筒形,其中,方形的高纯石英坩埚用在多晶硅铸锭环节,充当多晶硅化料和长晶的容器,圆形的高纯石英坩埚则用在单晶硅中拉单晶的环节;高纯熔融石英由于具有结构精细、热导率低、热膨胀系数小、制成品尺寸精度高、高温不变形、热震稳定性好、电性能好、耐化学侵蚀性好等特点,因此在玻璃深加工行业、冶金工业、电子工业、化工工业、航空航天等领域得到广泛应用。

当然,上述各个实施方式可以单独应用,也可以组合应用,以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

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