电镀机喷淋槽的制作方法

本实用新型涉及电镀技术领域，具体涉及电镀机喷淋槽。

背景技术：

电镀是利用电沉积理论在工件表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，从而防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。工件在电镀前需要进行喷淋将工件打湿，即工件在进入电镀槽之前需要在电镀机喷淋槽内进行喷淋，但是现有技术的电镀机喷淋槽在工作时，喷射出的水会向上四溅，一方面使得喷射出的水不能充分的利用，另一方面电镀机喷淋槽长时间工作后，电镀机喷淋槽的周围蓄满水渍，不利于车间保持干净的卫生。

技术实现要素：

本实用新型提供一种电镀机喷淋槽，包括：

槽体，一端开口；

至少一个挡板，设于所述槽体靠近开口的一端，以防止喷射出的水向上四溅。

采用以上技术方案，还包括支架，至少一个挡板两两之间间隔的设置在所述支架上，所述支架纵向设于所述槽体内，所述支架的两端与槽体的内侧壁相连接。

采用以上技术方案，所述支架包括至少一个连接板，至少一个挡板一一对应的安装在至少一个连接板上，

采用以上技术方案，至少一个挡板为软板。

采用以上技术方案，还包括挂具，所述挂具被配置为能够从槽体的开口插入槽体内，或从槽体的开口将挂具抽出。

采用以上技术方案，所述槽体内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具的抽插动作。

采用以上技术方案，单个导轮组件包括多个导轮组，单个导轮组包括一对导轮，一对导轮预留有间距，多个导轮组对应的一对导轮的间距向靠近槽体开口的方向呈逐渐递增的趋势。

采用以上技术方案，还包括防水盖板，所述防水盖板设于槽体的开口处。

本实用新型的有益效果：本实用新型在喷淋槽的开口端设置有至少一个挡板，能够有效防止喷射出的水向上四溅，一方面使得喷射出的水源能够得到充分的利用，另一方面保证电镀机喷淋槽四周环境的干净整洁。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是在图1的基础上暴露内部结构的示意图。

图3是在图2的基础上省略挂具的结构示意图。

图4是图3上a部的局部放大示意图。

图中标号说明：1、槽体；11、开口；2、挡板；3、支架；31、连接板；4、挂具；5、导轮组；51、导轮；6、防水盖板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图4所示，本实用新型的一个实施方式提供一种电镀机喷淋槽，包括槽体1和至少一个挡板2，槽体1的一端开口11，至少一个挡板2安装于槽体1内，且至少一个挡板2设于槽体1靠近开口的一端，以防止喷射出的水向上四溅，一方面使得喷射出的水源能够得到充分的利用，另一方面保证电镀机喷淋槽四周环境的干净整洁。

在本实施方式的情况下，还包括支架3，至少一个挡板2两两之间间隔的设置在支架3上，支架3纵向设于槽体1内，支架3的两端与槽体1的内侧壁相连接，还有支架3包括至少一个连接板31，至少一个挡板2一一对应的安装在至少一个连接板31上，至少一个挡板2为软板，在保证能够阻挡水向上四溅的同时，软板的材质较为柔软，不会干涉工件挂具4的抽插，这里指的工件是指晶圆；

还有在本实施方式的一个优选方案中，至少一个挡板2的数量为三个，三个挡板2间隔的安装在支架3上，以在支架3上形成三层防护挡板2，进一步的防止喷射出的水向上四溅。

在本实施方式的情况下，还包括挂具4，挂具4被配置为能够从槽体1的开口11插入槽体1内，或从槽体1的开口11将挂具4抽出，更具体的说，槽体1内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具4的抽插动作，单个导轮组件包括多个导轮组5，单个导轮组5包括一对导轮51，一对导轮51预留有间距，多个导轮组5对应的一对导轮51的间距向靠近槽体1开口11的方向呈逐渐递增的趋势，即槽体1最底部的一对导轮51的间距最小，且该间距与挂具4的宽度相适配，槽体1最顶部的一对导轮51的间距最大，该间距明显大于挂具5的宽度，便于挂具4从槽体1的开口11插入槽体1内，还有本实用新型的工件(这里指晶圆)可以通过螺栓和螺母锁紧在挂具4上。

在本实施方式的情况下，还包括防水盖板6，防水盖板6设于槽体1的开口11处，具有防水的效果。

本实用新型的有益效果：本实用新型在喷淋槽的开口端设置有至少一个挡板，能够有效防止喷射出的水向上四溅，一方面使得喷射出的水源能够得到充分的利用，另一方面保证电镀机喷淋槽四周环境的干净整洁。

以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

技术特征：

1.一种电镀机喷淋槽，其特征在于，包括：

槽体，一端开口；

至少一个挡板，设于所述槽体靠近开口的一端，以防止喷射出的水向上四溅；

还包括挂具，所述挂具被配置为能够从槽体的开口插入槽体内，或从槽体的开口将挂具抽出；

所述槽体内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具的抽插动作。

2.如权利要求1所述的电镀机喷淋槽，其特征在于：还包括支架，至少一个挡板两两之间间隔的设置在所述支架上，所述支架纵向设于所述槽体内，所述支架的两端与槽体的内侧壁相连接。

3.如权利要求2所述的电镀机喷淋槽，其特征在于：所述支架包括至少一个连接板，至少一个挡板一一对应的安装在至少一个连接板上。

4.如权利要求1所述的电镀机喷淋槽，其特征在于：至少一个挡板为软板。

5.如权利要求1所述的电镀机喷淋槽，其特征在于：单个导轮组件包括多个导轮组，单个导轮组包括一对导轮，一对导轮预留有间距，多个导轮组对应的一对导轮的间距向靠近槽体开口的方向呈逐渐递增的趋势。

6.如权利要求1所述的电镀机喷淋槽，其特征在于：还包括防水盖板，所述防水盖板设于槽体的开口处。

技术总结
本实用新型公开了一种电镀机喷淋槽，包括槽体和至少一个挡板，槽体的一端开口；至少一个挡板设于槽体靠近开口的一端，以防止喷射出的水向上四溅。本实用新型在喷淋槽的开口端设置有至少一个挡板，能够有效防止喷射出的水向上四溅，一方面使得喷射出的水源能够得到充分的利用，另一方面保证电镀机喷淋槽四周环境的干净整洁。

技术研发人员：倪裕林;徐新志;尹旺;王健忠
受保护的技术使用者：昆山蕴鼎自动化科技有限公司
技术研发日：2020.07.20
技术公布日：2021.05.11