SPM工艺用混液喷淋装置的制作方法

spm工艺用混液喷淋装置
技术领域
1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及spm工艺用混液喷淋装置。


背景技术：

2.现有技术中在半导体spm工艺制程下因硫酸+双氧水混合会产生剧烈反应造成温度瞬间窜升及大量烟雾,并在烟雾散去后容易造成白色粉末现象，同时现有技术的喷淋装置会因为管道输送常常发生散温严重的情况，所以需要对其进行改进。


技术实现要素：

3.实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开spm工艺用混液喷淋装置。
4.技术方案：spm工艺用混液喷淋装置，包括进液板、装置本体、高精度喷头、输送管路和温度探头，所述装置本体的内部成型有混合腔室，所述进液板固定在装置本体的一侧，所述进液板内成型有硫酸进液口和双氧水进液口，且所述硫酸进液口和双氧水进液口均与混合腔室连通设置，所述装置本体的底部一体成型有异形块，且所述异形块的顶部一侧成型有插接孔，所述高精度喷头固定在异形块的底部，且所述高精度喷头通过连接输送管路穿过异形块与混合腔室连接，所述温度探头安装在插接孔中。
5.进一步的是，所述进液板通过数个锁紧螺栓与装置本体固定。
6.进一步的是，所述进液板上还设置有数个安装孔。
7.进一步的是，所述插接孔具体设计为斜向结构。
8.本实用新型实现以下有益效果：
9.本实用新型将硫酸和双氧水注入在混合腔室内混合不会造成剧烈的化学反应所产生的浓烟,更无污染问题的发生,这样可保证产品生产的良率,同时因为实时混液就喷淋出去业不会有传统管道输送的散温问题,温度控制更为精准。
附图说明
10.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
11.图1为本实用新型公开的整体侧面结构示意图。
12.图2为本实用新型公开的整体俯视结构示意图。
13.图3为本实用新型公开的立体结构示意图。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
15.实施例
16.参考图1
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3，spm工艺用混液喷淋装置，包括进液板10、装置本体20、高精度喷头50、输送管路60和温度探头70，装置本体的内部成型有混合腔室30，进液板固定在装置本体的一侧，进液板内成型有硫酸进液口110和双氧水进液口120，且硫酸进液口和双氧水进液口均与混合腔室连通设置，装置本体的底部一体成型有异形块90，且异形块的顶部一侧成型有插接孔80，插接孔具体设计为斜向结构，高精度喷头固定在异形块的底部，且高精度喷头通过连接输送管路穿过异形块与混合腔室连接，温度探头安装在插接孔中，以用于对输送管路表面温度进行监测。
17.在本实施例中，进液板通过数个锁紧螺栓100与装置本体固定。
18.在本实施例中，进液板上还设置有数个安装孔40，以用于将装置本体与其它设备进行进行固定。
19.通过上述实施例的实施，本实用新型将硫酸和双氧水注入在混合腔室内混合不会造成剧烈的化学反应所产生的浓烟,更无污染问题的发生,这样可保证产品生产的良率,同时因为实时混液就喷淋出去业不会有传统管道输送的散温问题,温度控制更为精准。
20.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.spm工艺用混液喷淋装置，其特征在于，包括进液板、装置本体、高精度喷头、输送管路和温度探头，所述装置本体的内部成型有混合腔室，所述进液板固定在装置本体的一侧，所述进液板内成型有硫酸进液口和双氧水进液口，且所述硫酸进液口和双氧水进液口均与混合腔室连通设置，所述装置本体的底部一体成型有异形块，且所述异形块的顶部一侧成型有插接孔，所述高精度喷头固定在异形块的底部，且所述高精度喷头通过连接输送管路穿过异形块与混合腔室连接，所述温度探头安装在插接孔中。2.根据权利要求1所述的spm工艺用混液喷淋装置，其特征在于，所述进液板通过数个锁紧螺栓与装置本体固定。3.根据权利要求1所述的spm工艺用混液喷淋装置，其特征在于，所述进液板上还设置有数个安装孔。4.根据权利要求1所述的spm工艺用混液喷淋装置，其特征在于，所述插接孔具体设计为斜向结构。

技术总结
本实用新型公开了SPM工艺用混液喷淋装置，包括进液板、装置本体、高精度喷头、输送管路和温度探头，装置本体的内部成型有混合腔室，进液板固定在装置本体的一侧，进液板内成型有硫酸进液口和双氧水进液口，且硫酸进液口和双氧水进液口均与混合腔室连通设置，装置本体的底部一体成型有异形块，且异形块的顶部一侧成型有插接孔，高精度喷头固定在异形块的底部，且高精度喷头通过连接输送管路穿过异形块与混合腔室连接，温度探头安装在插接孔中，本实用新型将硫酸和双氧水注入在混合腔室内混合不会造成剧烈的化学反应所产生的浓烟,更无污染问题的发生,这样可保证产品生产的良率。污染问题的发生,这样可保证产品生产的良率。污染问题的发生,这样可保证产品生产的良率。


技术研发人员：周志刚 王静强 徐福兴 黄锡钦 陈亮
受保护的技术使用者：昆山基侑电子科技有限公司
技术研发日：2021.02.01
技术公布日：2021/12/21