SUS初步过滤器的制作方法

sus初步过滤器
技术领域
1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及sus初步过滤器。


背景技术：

2.由于半导体一部分光刻过程中使用的特殊光刻胶膜厚较厚,在光刻后去除表面残胶时候,残胶多为片状，去胶液无法在短时间内将胶溶解,在液体循环时候容易将过滤器内滤芯堵塞，所以本实用新型提供了一种sus初步过滤器以供使用。


技术实现要素：

3.实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开的sus初步过滤器。
4.技术方案：sus初步过滤器，包括壳体和可拆式过滤芯，所述可拆式过滤芯设置在壳体的内部，所述可拆式过滤芯的顶部设置有流量入口，且所述流量入口设置为斜坡结构，所述壳体的一侧表面设置有进液口，且所述进液口的高度高于流量入口的高度，所述壳体的另一侧表面设置有出液口，且所述出液口的高度低于流量入口的高度，所述可拆式过滤芯的内置有过滤网，所述可拆式过滤芯的表壁成型有数个过滤孔，所述壳体的外部设置有排液口。
5.进一步的是，所述壳体顶部设置有壳盖，且所述壳体与壳盖通过活动式卡扣固定。
6.进一步的是，所述可拆式过滤芯的顶部固设有拎把手。
7.进一步的是，所述过滤孔具体设计为圆形孔结构。
8.进一步的是，所述过滤网为100目过滤网。
9.本实用新型实现以下有益效果：
10.本实用新型能解决去胶液因无法在短时间内将胶溶解,并在液体循环时候容易将过滤器内滤芯堵塞的问题，且成本较低，实用性相对较强。
附图说明
11.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
12.图1为本实用新型公开的立体结构示意图。
13.图2为本实用新型公开的剖面结构示意图。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
15.实施例
16.参考图1
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2，sus初步过滤器，包括壳体10和可拆式过滤芯20，可拆式过滤芯设置在壳体的内部，可拆式过滤芯的顶部设置有流量入口30，且流量入口设置为斜坡结构，壳体的一侧表面设置有进液口40，且进液口的高度高于流量入口的高度，壳体的另一侧表面设置有出液口50，且出液口的高度低于流量入口的高度，可拆式过滤芯的内置有过滤网(本实用新型未示出)，过滤网为100目过滤网，可拆式过滤芯的表壁成型有数个过滤孔60，过滤孔具体设计为圆形孔结构，壳体的外部设置有排液口70。
17.在本实施例中，壳体顶部设置有壳盖80，且壳体与壳盖通过活动式卡扣90固定。
18.在本实施例中，可拆式过滤芯的顶部固设有拎把手100，操作人员可通过操作拎把手将可拆式过滤芯从壳体中取出。
19.通过上述实施例的实施，本实用新型能方便拆卸，便于操作人员进行清洗，并且本实用新型所涉及的sus初步过滤器能较好的解决去胶液循环时候容易将过滤器内滤芯堵塞的问题。
20.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.sus初步过滤器，其特征在于，包括壳体和可拆式过滤芯，所述可拆式过滤芯设置在壳体的内部，所述可拆式过滤芯的顶部设置有流量入口，且所述流量入口设置为斜坡结构，所述壳体的一侧表面设置有进液口，且所述进液口的高度高于流量入口的高度，所述壳体的另一侧表面设置有出液口，且所述出液口的高度低于流量入口的高度，所述可拆式过滤芯的内置有过滤网，所述可拆式过滤芯的表壁成型有数个过滤孔，所述壳体的外部设置有排液口。2.根据权利要求1所述的sus初步过滤器，其特征在于，所述壳体顶部设置有壳盖，且所述壳体与壳盖通过活动式卡扣固定。3.根据权利要求1所述的sus初步过滤器，其特征在于，所述可拆式过滤芯的顶部固设有拎把手。4.根据权利要求1所述的sus初步过滤器，其特征在于，所述过滤孔具体设计为圆形孔结构。5.根据权利要求1所述的sus初步过滤器，其特征在于，所述过滤网为100目过滤网。

技术总结
本实用新型公开的SUS初步过滤器，包括壳体和可拆式过滤芯，所述可拆式过滤芯设置在壳体的内部，所述可拆式过滤芯的顶部设置有流量入口，且所述流量入口设置为斜坡结构，所述壳体的一侧表面设置有进液口，且所述进液口的高度高于流量入口的高度，所述壳体的另一侧表面设置有出液口，且所述出液口的高度低于流量入口的高度，所述可拆式过滤芯的内置有过滤网，所述可拆式过滤芯的表壁成型有数个过滤孔，所述壳体的外部设置有排液口，本实用新型能解决去胶液因无法在短时间内将胶溶解,在液体循环时候容易将过滤器内滤芯堵塞的问题，实用性相对较强，且成本较低。且成本较低。且成本较低。


技术研发人员：周志刚 王静强 徐福兴 黄锡钦 陈亮
受保护的技术使用者：昆山基侑电子科技有限公司
技术研发日：2021.02.01
技术公布日：2021/11/9