冷凝回收装置及清洗装备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体清洗装置技术领域，具体地说，涉及一种冷凝回收装置及清洗装备。


背景技术：

2.在半导体清洗行业中，通常需要使用化学清洗剂、di水(超纯水)进行加热后喷淋到产品表面，再通过风淋去除产品表面残留液体后，经过烘干工序完成整个清洗工艺。
3.风淋工序中，在清洗设备内部产生的气体，由抽气管道排走，气体中包含大量的化学清洗剂蒸汽，直接排放到大气中，不利于环保管理。大量化学清洗剂蒸发排走，导致化学清洗机消耗量大，生产成本偏高。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种冷凝回收装置及清洗装备，能有效回收超纯水和化学清洗剂，且安装方便、维护简单。
5.本实用新型公开的冷凝回收装置所采用的技术方案是:
6.一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，包括抽气管道，所述抽气管道一端设进风口，另一端设出风口，所述抽气管道出风口连通冷凝仓，所述冷凝仓内设冷凝器，所述冷凝器用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂，所述抽气管道上还开设冷凝回流口，所述冷凝回流口位于冷凝仓下方。
7.作为优选方案，所述冷凝仓包括仓体和盖设于仓体的抽风盖板，所述冷凝器设于仓体内，所述抽气管道的出风口连通仓体，所述抽风盖板上开设抽风口，所述抽风口与外部抽风装置连接。
8.作为优选方案，所述抽风盖板与仓体之间设密封条。
9.作为优选方案，所述抽气管道竖直设置，所述抽气管道下端收口形成冷凝回流口，所述进风口开设在抽气管道下端侧壁。
10.作为优选方案，所述冷凝器包括冷凝翅片以及穿设在冷凝翅片上的若干导热管，若干所述导热管分层间隔排列在冷凝翅片中。
11.一种清洗设备，包括依次设置的清洗室、第一漂洗室、第二漂洗室、烘干室，所述清洗室、第一漂洗室、第二漂洗室、烘干室均具有腔体；还包括若干冷凝回收装置，每一所述腔体连通至少一冷凝回收装置。
12.本实用新型公开的冷凝回收装置及清洗装备的有益效果是：处于清洗设备的腔体内的废气经进风口流入抽气管道，经冷凝仓内的冷凝器后，废气中的蒸汽被液化，液体回流至冷凝回流口，从而方便回收利用，其余气体从抽气管道的出风口排出。本冷凝回收装置能够回收超纯水和化学清洗剂，且安装方便、维护简单。
附图说明
13.图1是本实用新型冷凝回收装置的爆炸示意图。
14.图2是本实用新型冷凝回收装置的剖视图。
15.图3是本实用新型冷凝回收装置的冷凝器的结构示意图。
16.图4是本实用新型清洗设备的结构示意图。
具体实施方式
17.下面结合具体实施例和说明书附图对本实用新型做进一步阐述和说明:
18.请参考图1和图2，一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，包括抽气管道10。所述抽气管道10一端设进风口12，另一端设出风口，所述抽气管道10出风口连通冷凝仓20，所述冷凝仓20内设冷凝器30，所述冷凝器30用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂。所述抽气管道10上还开设冷凝回流口11，所述冷凝回流口11位于冷凝仓20下方。
19.处于清洗设备的腔体内的废气经进风口12流入抽气管道10，经冷凝仓20内的冷凝器30后，废气中的超纯水和化学清洗剂蒸汽被液化，液体回流至冷凝回流口11，从而方便回收利用，其余气体从抽气管道10的出风口排出。
20.所述冷凝仓20包括仓体21和盖设于仓体21的抽风盖板22，所述冷凝器30设于仓体21内，所述抽气管道10的出风口连通仓体21，所述抽风盖板22上开设抽风口221，所述抽风口221与外部抽风装置连接。
21.所述抽风盖板22与仓体21之间设密封条23。密封条23用于使抽风盖板22与仓体21密封。其中，所述抽风盖板22通过螺丝固定在仓体21上。
22.所述抽气管道10竖直设置，所述抽气管道10下端收口形成冷凝回流口11，所述进风口12开设在抽气管道10下端侧壁。
23.请参考图3，其中，冷凝器30包括冷凝翅片31，以及穿设在冷凝翅片31上的导热管32。若干所述导热管分层间隔排列在冷凝翅片31中。冷凝器30热交换面积约为其表面积的65倍，对比传统直管翅片结构冷凝效果提高12倍左右。
24.本冷凝回收装置日常清洗维护过程：拆除设置在抽风口221的接口后，松开螺丝，取下抽风盖板22，取下密封条，取出冷凝器30冲洗。冷凝器30放回冷凝仓20，放置密封条，放置抽风盖板22，拧紧螺丝，最后连上抽风口221的接口。
25.本冷凝回收装置能够回收超纯水和化学清洗剂，降低了成本和污染，且安装方便、维护简单。
26.请参考图4，本实用新型还公开一种清洗设备，包括依次设置的清洗室、第一漂洗室、第二漂洗室、烘干室。所述清洗室、第一漂洗室、第二漂洗室、烘干室均具有腔体；还包括若干冷凝回收装置100，每一所述腔体连通至少一冷凝回收装置100。图4中，从右向左依次为清洗室的冷凝回收装置100、第一漂洗室的冷凝回收装置100，第二漂洗室的冷凝回收装置100，烘干室的冷凝回收装置100。
27.其中，抽气管道10设置在该清洗设备的侧壁，且出风口朝上，进风口12连接在清洗设备的侧壁并连通腔体。
28.最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细地说明，本领域的普
通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。


技术特征：
1.一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，其特征在于，包括抽气管道，所述抽气管道一端设进风口，所述进风口与清洗设备的腔体连通，所述抽气管道另一端设出风口，所述抽气管道出风口连通冷凝仓，所述冷凝仓内设冷凝器，所述冷凝器用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂，所述抽气管道上还开设冷凝回流口，所述冷凝回流口位于冷凝仓下方。2.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述冷凝仓包括仓体和盖设于仓体的抽风盖板，所述冷凝器设于仓体内，所述抽气管道的出风口连通仓体，所述抽风盖板上开设抽风口，所述抽风口与外部抽风装置连接。3.如权利要求2所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述抽风盖板与仓体之间设密封条。4.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述抽气管道竖直设置，所述抽气管道下端收口形成冷凝回流口，所述进风口开设在抽气管道下端侧壁。5.如权利要求1所述的冷凝回收装置，其特征在于，所述冷凝器包括冷凝翅片以及穿设在冷凝翅片上的若干导热管，若干所述导热管分层间隔排列在冷凝翅片中。6.一种清洗设备，其特征在于，包括依次设置的清洗室、第一漂洗室、第二漂洗室、烘干室，所述清洗室、第一漂洗室、第二漂洗室、烘干室均具有腔体；还包括若干如权利要求1-5任一项所述的冷凝回收装置，每一所述腔体连通至少一冷凝回收装置。

技术总结
本实用新型公开了一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，包括抽气管道，所述抽气管道一端设进风口，所述进风口与清洗设备的腔体连通，所述抽气管道另一端设出风口，所述抽气管道出风口连通冷凝仓，所述冷凝仓内设冷凝器，所述冷凝器用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂，所述抽气管道上还开设冷凝回流口，所述冷凝回流口位于冷凝仓下方。本实用新型还公开一种清洗设备。本实用新型提供的冷凝回收装置及清洗装备，能有效回收超纯水和化学清洗剂，且安装方便、维护简单。维护简单。维护简单。


技术研发人员：方敏 董辉
受保护的技术使用者：深圳市山木电子设备有限公司
技术研发日：2021.10.29
技术公布日：2022/4/21