一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置的制作方法

1.本发明属于氯化氢提纯技术领域，具体涉及一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置。


背景技术：

2.高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻、钝化和外延等工艺的重要材料，也可用于金属冶炼光导通讯和科学研究等领域。随着大规模集成电路的发展,对氯化氢纯度的要求越来越高,对其中杂质的含射要求越来越苛刻，国内外对于制备高纯氯化氢的方法有很多，但对于氯化氢合成气中脱氢方法比较少，采用的方法也相对传统，脱氢效率低。


技术实现要素：

3.为达到上述目的，本发明的技术方案如下：一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置,所述装置包括反应釜和处理装置，反应釜输出连接处理装置，处理装置包括第一处理结构、第二处理结构、回收结构、供给结构以及控制结构，反应釜的输出口通过进气管连接第一处理结构的进气口，第一处理结构的排气口通过第一排气管连接至第二处理结构的进气口，第一处理结构和第二处理结构内部设置有吸附物，第二处理结构的出气口通过第二排气管连接至回收结构，供给结构通过供给管连接于第一处理结构和第二处理结构的进液口，进气管、第一排气管、第二排气管以及供给管上均设置有控制阀。
4.基于上述方案，反应釜中用于盛装反应气体，第一处理结构和第二处理结构用于对反应气体进行脱氢处理，回收机构用于回收排出的废气，供给结构用于对第一处理结构和第二处理结构内的吸附物进行补给。
5.作为本实用新型的一种改进,控制结构包括设置于第一处理结构和第二处理结构上的液位传感器，液位传感器设置于第一处理结构和第二处理结构的内壁上。
6.基于上述方案，第一处理结构和第二处理结构内的液位传感器能够对内部的液体进行实时监测，配合相应控制器和报警器对处理结构内的液体进行监控。
7.作为本实用新型的一种改进,回收结构包括废气收集罐，废气收集罐上具有排出口。
8.基于上述方案，废气收集罐上的排出口用于定时将废气排出。
9.作为本实用新型的一种改进,供给结构与第一处理结构和第二处理结构之间连接处设置有保护装置。
10.基于上述方案，保护装置用于保护供给结构与第一处理结构和第二处理结构之间连接的密封性，保证了供给过程的稳定性。
11.作为本实用新型的一种改进, 保护装置包括设置于第一处理结构和第二处理结构上进液口内的四氟管和石墨垫片，石墨垫片上下位置还设置有法兰盘和密封垫片。
12.基于上述方案，法兰盘的下侧设置有密封垫片，法兰盘之间设置有石墨垫片。
13.本发明的有益效果为：第一处理结构和第二处理结构用于对反应气体进行脱氢处
理，回收机构用于回收排出的废气，供给结构用于对第一处理结构和第二处理结构内的吸附物进行补给；第一处理结构和第二处理结构内的液位传感器能够对内部的液体进行实时监测，配合相应控制器和报警器对处理结构内的液体进行监控。
附图说明
14.图1为本实用新型中脱氢装置结构示意图。
15.图2为本实用新型中保护装置结构示意图。
16.附图标识列表：100-反应釜、101-第一处理结构、102-第二处理结构、103-回收结构、104-供给结构、105-输出口、106-进气管、107-吸附物、108-反应气体、109-第一排气管、110-第二排气管、111-进液口、112-供给管、113-液位传感器、114-废气收集罐、115-排出口、116-保护装置、117-四氟管、118-石墨垫片、119-法兰盘、120-密封垫片、121-控制阀。
具体实施方式
17.下面结合附图1-2和具体实施方式，进一步阐明本发明，应理解下述具体实施方式仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
18.实施例1：参阅图1，一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置,所述装置包括反应釜100和处理装置，反应釜100的输出管连接处理装置，处理装置包括第一处理结构101、第二处理结构102、回收结构103、供给结构104以及控制结构，反应釜100的输出口105通过进气管106连接第一处理结构101的进气口，第一处理结构101的排气口通过第一排气管109连接至第二处理结构102的进气口，第一处理结构101和第二处理结构102内部设置有吸附物107，第二处理结构102的出气口通过第二排气管110连接至回收结构103，供给结构104通过供给管112连接于第一处理结构101和第二处理结构102的进液口111，进气管106、第一排气管109、第二排气管110以及供给管112上均设置有控制阀。反应釜100中用于盛装反应气体108，第一处理结构101和第二处理结构102用于对反应气体108进行脱氢处理，回收机构用于回收排出的废气，供给结构104用于对第一处理结构101和第二处理结构102内的吸附物107进行补给。控制结构包括设置于第一处理结构101和第二处理结构102上的液位传感器113，液位传感器113设置于第一处理结构101和第二处理结构102的内壁上。第一处理结构101和第二处理结构102内的液位传感器113能够对内部的液体进行实时监测，配合相应控制器和报警器对处理结构内的液体进行监控。回收结构103包括废气收集罐114，废气收集罐114上具有排出口115。废气收集罐114上的排出口115用于定时将废气排出。
19.参阅图2，供给结构104与第一处理结构101和第二处理结构102之间连接处设置有保护装置116。保护装置116用于保护供给结构104与第一处理结构101和第二处理结构102之间连接的密封性，保证了供给过程的稳定性。保护装置116包括设置于第一处理结构101和第二处理结构102上进液口111内的四氟管117和石墨垫片118，石墨垫片118上下位置还设置有法兰盘119和密封垫片120。法兰盘119的下侧设置有密封垫片120，法兰盘119之间设置有石墨垫片118。
20.工作过程：打开进气管106上的控制阀，反应釜100中的反应气体108通过进气管106进入第一处理结构101中，关闭进气管106和第一排气管109上的控制阀121，经过吸附处理后，打开第一排气管109上的控制阀并关闭第二排气管110上的控制阀，使得气体进入到
第二处理结构102中，关闭第一排气管109上的控制阀，经过第二处理结构102吸附处理后，打开第二排气管110上的控制阀，使得气体能够进入到回收结构103中，被吸附的气体在第二处理结构102中得到进一步处理，需要补液时，通过供给结构104对第一处理结构101和第二处理结构102进行补液，通过处理结构内部的监测装置实时进行监控。
21.需要说明的是，以上内容仅仅说明了本发明的技术思想，不能以此限定本发明的保护范围，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰均落入本发明权利要求书的保护范围之内。


技术特征：
1.一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置,其特征在于,所述装置包括反应釜（100）和处理装置，反应釜（100）输出连接处理装置，处理装置包括第一处理结构（101）、第二处理结构（102）、回收结构（103）、供给结构（104）以及控制结构，反应釜（100）的输出口（105）通过进气管（106）连接第一处理结构（101）的进气口，第一处理结构（101）的排气口通过第一排气管（109）连接至第二处理结构（102）的进气口，第一处理结构（101）和第二处理结构（102）内部设置有吸附物（107），第二处理结构（102）的出气口通过第二排气管（110）连接至回收结构（103），供给结构（104）通过供给管（112）连接于第一处理结构（101）和第二处理结构（102）的进液口（111），进气管（106）、第一排气管（109）、第二排气管（110）以及供给管（112）上均设置有控制阀（121），控制结构包括设置于第一处理结构（101）和第二处理结构（102）上的液位传感器（113），液位传感器（113）设置于第一处理结构（101）和第二处理结构（102）的内壁上，回收结构（103）包括废气收集罐（114），废气收集罐（114）上具有排出口（115）。2.根据权利要求1所述的一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置,其特征在于,供给结构（104）与第一处理结构（101）和第二处理结构（102）之间连接处设置有保护装置（116）。3.根据权利要求2所述的一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置，其特征在于，保护装置（116）包括设置于第一处理结构（101）和第二处理结构（102）上进液口（111）内的四氟管（117）和石墨垫片（118），石墨垫片（118）上下位置还设置有法兰盘（119）和密封垫片（120）。

技术总结
本实用新型公开了一种具有多重脱氢结构的氯化氢反应装置,包括反应釜和处理装置，反应釜的输出管连接处理装置，处理装置包括第一处理结构、第二处理结构、回收结构、供给结构以及控制结构，反应釜的输出口通过进气管连接第一处理结构的进气口，第一处理结构的排气口通过第一排气管连接至第二处理结构的进气口，第一处理结构和第二处理结构内部设置有吸附物，第二处理结构的出气口通过第二排气管连接至回收结构，供给结构通过供给管连接于第一处理结构和第二处理结构的进液口，进气管、第一排气管、第二排气管以及供给管上均设置有控制阀，反应釜中用于盛装反应气体，第一处理结构和第二处理结构用于对反应气体进行脱氢处理，回收机构用于回收排出的废气。回收机构用于回收排出的废气。回收机构用于回收排出的废气。


技术研发人员：牛友德 胡旭 林枫 雷苑立 宋金锋
受保护的技术使用者：安徽华塑股份有限公司
技术研发日：2022.05.11
技术公布日：2023/2/20