一种综合废气的净化设备的制作方法

本技术涉及半导体生产排放设备，具体为一种综合废气的净化设备。

背景技术：

1、半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂，而这些溶剂含有大量的有机物成分，这也导致排放出来的废气含有大量的挥发性有机物，在挥发性有机物浓度较高且有火花或静电情况下，极易发生闪爆现象，因此针对半导体生产的净化设备都会侧重于挥发性有机物的处理。

2、现有技术的不足：

3、目前生产企业常用沸石转轮设备来处理废气中的有机物，将沸石转轮划分为处理区，脱附区和冷却区，通过转轮的不断转动，使得整个转轮处在处理、脱附、冷却和再处理的循环中，但是这种处理方式中为了保证废气处理的效率，处理区的面积往往较大，脱附区和冷却区的面积较小，这会导致脱附区的沸石往往没有得到彻底的脱附再生就要进入下一个循环进行废气处理，从而导致废气处理的效率较低，在排放量大的情况下，部分废弃还未彻底处理就会被排放出去，破坏环境，并且这种转轮结构的内部为了保证转轮的转动无法完全密封，脱附区的含有高浓度挥发性有机物的气体容易渗透进过滤好的空气随之一起排出，净化的效率不高，因此现有的半导体生产用的废气净化设备已无法适应当前的使用需求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种综合废气的净化设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种综合废气的净化设备，包括底座，所述底座的上端面上设置有沸石过滤机构，所述沸石过滤机构上设置有驱动机构，所述沸石过滤机构的一侧设置有加热组件，所述底座上端面的一侧设置有三级过滤组件；

3、所述沸石过滤机构包括有：

4、工作箱，所述工作箱设置在底座上端面的一侧；

5、沸石过滤模块，所述沸石过滤模块活动设置在工作箱的两侧；

6、安装板，所述安装板设置在沸石过滤模块的上下两端；

7、第一排风管，所述第一排风管与工作箱的上端出风口相连接，所述工作箱下端的出风口连接有第二排风管。

8、优选的，所述驱动机构包括有：

9、电机，所述电机设置在工作箱上端面的两侧，所述电机的一侧连接有主动齿轮，所述工作箱的上端面上远离主动齿轮的一侧设置有从动齿轮；

10、链条，所述链条与主动齿轮和从动齿轮啮合连接，所述链条的两端分别与工作箱内部两侧的安装板连接。

11、优选的，所述加热组件包括有：

12、加热箱，所述加热箱设置在三级过滤组件的上端，所述加热箱的出风端与工作箱上端的进风口相连；

13、高温隔热棉，所述高温隔热棉设置在加热箱内部的上下两端，所述高温隔热棉之间设置有加热块。

14、优选的，所述三级过滤组件包括有：

15、初效过滤器，所述初效过滤器设置在底座的上端面上远离工作箱的一侧，所述初效过滤器的一端连接有中效过滤器，所述中效过滤器的一端连接有高效过滤器；

16、连接管，所述连接管连接在高效过滤器和工作箱下端的进风口之间，所述连接管的上端通过分支管与加热箱的进风口相连接。

17、优选的，所述工作箱的两侧均设置有滑槽，所述安装板的两侧通过设置滑块与滑槽滑动连接。

18、优选的，所述工作箱的上端面上位于链条的进出口处设置有和链条相匹配的密封块。

19、优选的，所述加热块由蜂窝陶瓷蓄热体制成。

20、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

21、1、该一种综合废气的净化设备，通过设置有沸石过滤机构，沸石过滤机构包括有工作箱、沸石过滤模块、安装板、第一排风管和第二排风管，使得沸石过滤模块的脱附再生时间更久，相较于传统的沸石转轮脱附再生更加彻底，有效避免了部分废气过滤不彻底就排放进大气的情况，同时由于安装板增加了工作箱上下两端的密封性，不会出现未经过滤的含有高浓度挥发性有机物的气体渗透进工作箱下端通过第二排风管排进大气的情况，更加环保、安全和高效；

22、2、该一种综合废气的净化设备，通过设置有驱动机构，驱动机构包括有电机、主动齿轮、从动齿轮和链条，实现了快速更换两个沸石过滤模块位置的效果，进一步提高了沸石过滤机构的过滤效率。

技术特征：

1.一种综合废气的净化设备，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的上端面上设置有沸石过滤机构（2），所述沸石过滤机构（2）上设置有驱动机构（3），所述沸石过滤机构（2）的一侧设置有加热组件（4），所述底座（1）上端面的一侧设置有三级过滤组件（5）；

2.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述驱动机构（3）包括有：

3.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述加热组件（4）包括有：

4.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述三级过滤组件（5）包括有：

5.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述工作箱（201）的两侧均设置有滑槽（206），所述安装板（203）的两侧通过设置滑块与滑槽（206）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述工作箱（201）的上端面上位于链条（304）的进出口处设置有和链条（304）相匹配的密封块（6）。

7.根据权利要求3所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述加热块（403）由蜂窝陶瓷蓄热体制成。

技术总结
本技术公开了一种综合废气的净化设备，包括底座，所述底座的上端面上设置有沸石过滤机构，所述沸石过滤机构上设置有驱动机构，所述沸石过滤机构的一侧设置有加热组件，所述底座上端面的一侧设置有三级过滤组件；本技术结构简单，设计合理，通过沸石过滤机构，使得沸石过滤模块的脱附再生时间更久，相较于传统的沸石转轮脱附再生更加彻底，有效避免了部分废气过滤不彻底排放进大气的情况，同时由于安装板增加了工作箱上下两端的密封性，不会出现未经过滤的气体渗透进工作箱下端通过第二排风管排进大气的情况，更加环保、安全和高效，同时通过驱动机构，实现了快速更换两个沸石过滤模块位置的效果，进一步提高了沸石过滤机构的过滤效率。

技术研发人员：洪协庆
受保护的技术使用者：江苏晨达半导体科技有限公司
技术研发日：20221208
技术公布日：2024/1/12