一种显影机喷头结构的制作方法

本技术涉及显影机喷头，特别涉及一种显影机喷头结构。

背景技术：

1、显影机在使用的时候，需要将显影液从喷头结构一端喷出在晶圆表面，使得其显影，所以需要设置一种显影机喷头结构。

2、现有技术中，对于喷头使用的时候，一般都是固定的结构进行使用，其不便于进行拆装，喷头结构在进行喷液的时候，其都是进行一端或者多端进行喷液，都是一个方向喷液出来，喷出来的显影液均匀箱达不到预期。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于，提供一种显影机喷头结构，便于对装置内部结构进行拆装，能够均匀地将显影液喷出。

2、为了实现上述目的，提供一种显影机喷头结构，包括喷头本体，所述喷头本体上端设置有出液管，所述出液管上端固定贯穿设置有连接管，所述喷头本体下端均匀设置有多个第二固定板，所述第二固定板下端对称固定连接有两个第一固定板，所述第一固定板一端固定连接有电机，所述两个第二固定板之间均匀设置有多个出液软管，所述多个出液软管呈网状格子状分布，所述电机一端对称设置有两个夹紧板，所述夹紧板之间固定连接有喷头管，所述喷头管上端和出液软管贯穿且固定连接。

3、根据所述的一种显影机喷头结构，所述出液管一端固定连接有连接盘，所述连接盘上均匀螺纹连接有多个第一锁紧螺栓。

4、根据所述的一种显影机喷头结构，所述出液管外侧固定连接有连接螺纹。

5、根据所述的一种显影机喷头结构，所述第二固定板一端固定连接有固定块，所述固定块一端固定连接于喷头本体一端，所述固定块上螺纹连接有第三锁紧螺栓。

6、根据所述的一种显影机喷头结构，所述电机一端设置有转轴，所述转轴和电机的输出端一端固定连接，所述转轴一端固定有转动板，所述转动板一端和喷头管一端固定连接。

7、根据所述的一种显影机喷头结构，所述夹紧板上螺纹连接有第二锁紧螺栓。

8、根据所述的一种显影机喷头结构，所述喷头本体内部对称固定连接有两个出液斜板，所述出液斜板之间和出液软管之间相互对应。

9、根据所述的一种显影机喷头结构，所述出液软管上端设置有出液槽，所述出液槽和喷头本体内壁相通。

10、有益效果：

11、1、连接管一端固定连接有出液管，出液管一端固定连接有连接盘，连接盘上均匀螺纹连接有第一锁紧螺栓，通过连接盘和第一锁紧螺栓使得出液管和喷头本体之间拆装，喷头本体下端均匀设置有多个第二固定板，第二固定板一端固定连接有固定块，固定块上螺纹连接有第三锁紧螺栓，通过固定块和第三锁紧螺栓实现对第二固定板一端结构和喷头本体之间结构进行拆装，通过上述结构使得装置之间便于拆装。

12、2、第一固定板一端固定连接有电机，电机一端设置有转轴，转轴一端固定连接有转动板，转动板一端对称设置有两个夹紧板和第二锁紧螺栓，夹紧板之间夹紧固定连接有喷头管，通过电机结构带动喷头管结构转动，使得其能够左右摇摆的进行喷液，使得其喷出来的液体很均匀，显影效果好。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种显影机喷头结构，包括喷头本体（1），其特征在于：所述喷头本体（1）上端设置有出液管（2），所述出液管（2）上端固定贯穿设置有连接管（5），所述喷头本体（1）下端均匀设置有多个第二固定板（17），所述第二固定板（17）下端对称固定连接有两个第一固定板（16），所述第一固定板（16）一端固定连接有电机（12），所述两个第二固定板（17）之间均匀设置有多个出液软管（9），所述多个出液软管（9）呈网状格子状分布，所述电机（12）一端对称设置有两个夹紧板（11），所述夹紧板（11）之间固定连接有喷头管（10），所述喷头管（10）上端和出液软管（9）贯穿且固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述出液管（2）一端固定连接有连接盘（3），所述连接盘（3）上均匀螺纹连接有多个第一锁紧螺栓（4）。

3.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述出液管（2）外侧固定连接有连接螺纹（6）。

4.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述第二固定板（17）一端固定连接有固定块（18），所述固定块（18）一端固定连接于喷头本体（1）一端，所述固定块（18）上螺纹连接有第三锁紧螺栓（19）。

5.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述电机（12）一端设置有转轴（13），所述转轴（13）和电机（12）的输出端一端固定连接，所述转轴（13）一端固定有转动板（14），所述转动板（14）一端和喷头管（10）一端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述夹紧板（11）上螺纹连接有第二锁紧螺栓（15）。

7.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述喷头本体（1）内部对称固定连接有两个出液斜板（7），所述出液斜板（7）之间和出液软管（9）之间相互对应。

8.根据权利要求1所述的一种显影机喷头结构，其特征在于，所述出液软管（9）上端设置有出液槽（8），所述出液槽（8）和喷头本体（1）内壁相通。

技术总结
本技术公开了一种显影机喷头结构，包括喷头本体，所述第一固定板一端固定连接有电机，所述两个第二固定板之间均匀设置有多个出液软管，所述多个出液软管呈网状格子状分布，所述电机一端对称设置有两个夹紧板，所述夹紧板之间固定连接有喷头管，所述喷头管上端和出液软管贯穿且固定连接。通过上述结构，通过连接盘和第一锁紧螺栓使得出液管和喷头本体之间拆装，通过固定块和第三锁紧螺栓实现对第二固定板一端结构和喷头本体之间结构进行拆装，通过上述结构使得装置之间便于拆装，夹紧板之间夹紧固定连接有喷头管，通过电机结构带动喷头管结构转动，使得其能够左右摇摆的进行喷液，使得其喷出来的液体很均匀，显影效果好。

技术研发人员：李喆雨,颜俊雄,高政纲,滕福爱,盛振宏,崔亨利,豆帆,朱洪维
受保护的技术使用者：山东凯瑞尔光电科技有限公司
技术研发日：20221213
技术公布日：2024/1/12