一种石英坩埚取放装置的制作方法

本技术涉及石英坩埚夹，特别涉及一种石英坩埚取放装置。

背景技术：

1、石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。坩埚钳是一种用于夹持、移动、翻转坩埚的夹具，常用的坩埚是呈上大下小的圆台形结构，利用坩埚钳夹住坩埚外壁或者夹住坩埚内外壁，由于坩埚在高温下出炉，其外壁会变得脆弱，这时就需要操作者掌握娴熟的操作技术，若在操作过程中稍有不慎，则会导致石英坩埚破损，具有较高的危险性。

2、为了降低对石英坩埚取放的操作难度，出现了多种针对石英坩埚取放的装置，如实用新型公开号为cn217093582u所述的一种石英坩埚取放装置，其公开了一种全新的自动夹取石英坩埚的结构，其依靠电机输出驱动力带动夹持组件运动，利用夹持组件中的弧形夹持板作用于石英坩埚侧壁并实现对石英坩埚的夹持固定作用，代替了传统的人工施力操作坩埚钳的动作。但其仍无法在准确感知夹持组件作用于石英坩埚侧壁的挤压作用力大小的前提下关闭电机，即上述石英坩埚取放装置仍存在挤破石英坩埚的操作风险。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚取放装置，在其中添加压力传感器，可精准感知其施加于石英坩埚侧壁的作用力，降低石英坩埚取放装置在夹持石英坩埚过程中损坏石英坩埚的概率。

2、为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：一种石英坩埚取放装置，其主体设置有夹持组件，所述夹持组件设置有主控组件和耐高温压力传感器，所述主控组件控制连接于夹持组件，所述耐高温压力传感器位于夹持组件与石英坩埚之间，所述主控组件电连接于耐高温压力传感器。

3、通过采用上述技术方案，主控组件用于控制夹持组件实现夹持石英坩埚的动作，同时在夹持组件上设置耐高温压力传感器，利用耐高温压力传感器感知夹持组件施加于石英坩埚侧壁的作用力大小，形成向主控组件传输的一个反馈作用，从而可控制主控组件的启停，避免夹持组件对石英坩埚侧壁施加过大的挤压作用，且无需操作者掌握娴熟的操作技术即可直接使用此石英坩埚取放装置。

4、优选的，所述夹持组件从石英坩埚侧边横向夹持固定于石英坩埚侧壁。

5、通过采用上述技术方案，此夹持组件水平移动到石英坩埚侧壁并夹持固定于石英坩埚侧壁，相对于从上方抓取石英坩埚而言，更方便后续倾倒石英坩埚内容物的过程。

6、优选的，所述夹持组件的一侧设置有手持部，所述夹持组件和手持部组成坩埚钳。

7、通过采用上述技术方案，将上述主控组件和耐高温压力传感器应用于坩埚钳上，不仅通用性高且可降低生产成本，同时操作方便。

8、优选的，所述主控组件设置有第一电磁铁组、弹性件和锁止件，所述第一电磁铁组设置有两个电磁铁，所述两个电磁铁分别固定安装于左壳体和右壳体中，所述左壳体、右壳体分别安装于坩埚钳的手持部，所述弹性件两端分别于左壳体、右壳体相连，所述主控组件安装于坩埚钳的手持部，所述左壳体和右壳体可相对移动，所述锁止件作用于左壳体和右壳体之间，所述电磁铁受控于微控芯片，所述微控芯片控制连接于耐高温压力传感器。

9、通过采用上述技术方案，主控组件中的第一电磁铁组通电后产生磁吸力，促使坩埚钳转动完成夹持石英坩埚的过程，当坩埚钳的夹持组件与石英坩埚侧壁接触时，可通过耐高温压力传感器感知其施加于石英坩埚侧壁的作用力，当作用力大于耐高温压力传感器中预设的压力值时，则可通过微控芯片的作用控制第一电磁铁组断电，阻碍坩埚钳进一步挤压石英坩埚，同时利用锁止件保持坩埚钳的夹持状态。

10、优选的，所述左壳体和右壳体活动连接于坩埚钳的手持部，所述左壳体、右壳体与手持部之间通过连接组件连接，所述耐高温压力传感器可拆卸连接于夹持组件。

11、通过采用上述技术方案，利用连接组件实现主控组件与石英坩埚的可拆卸连接。

12、优选的，所述连接组件包括卡板和抵接杆，所述卡板卡接于坩埚钳的手持部，所述抵接杆螺纹连接于卡板，所述抵接杆端部抵接于手持部侧壁。

13、通过采用上述技术方案，连接组件中的卡板卡接于坩埚钳后，旋转抵接杆即可将主控组件安装固定于坩埚钳，操作简单。

14、优选的，所述锁止件设置有锁止杆和调节槽，所述锁止杆活动连接于左壳体，所述调节槽开设于右壳体，所述锁止杆和右壳体之间设置有第二电磁铁组，第二电磁铁组控制连接于微控芯片，所述锁止杆可移动到调节槽中。

15、通过采用上述技术方案，锁止件利用微控芯片控制锁止杆在调节槽移动，实现将左壳体和右壳体之间位置关系的锁定，从而锁定坩埚钳夹持固定于石英坩埚的使用状态，结构简单。

16、与现有技术相比，本实用新型的优点在于：(1)在夹持组件上设置主控组件，利用主控组件来控制夹持组件的运动过程，同时在夹持组件作用于石英坩埚的端部添加耐高温压力传感器，使其来监测夹持组件对石英坩埚施加的作用力大小，并将其反馈到主控组件，以此来控制主控组件对夹持组件的驱动作用，形成一个带有反馈效果的闭环控制系统，用于降低其在夹持石英坩埚时对石英坩埚造成的损伤；(2)将上述主控组件和耐高温压力传感器应用到坩埚钳上，可提高其使用的通用性；(3)将左壳体和右壳体设置为与坩埚钳的活动连接，同时耐高温压力传感器可拆卸连接于夹持组件，从而实现将主控组件和耐高温压力传感器与坩埚钳的可拆卸分离过程，便于更换与维修。

技术特征：

1.一种石英坩埚取放装置，其特征在于，其主体设置有夹持组件(110)，所述夹持组件(110)设置有主控组件(2)和耐高温压力传感器(3)，所述主控组件(2)控制连接于夹持组件(110)，所述耐高温压力传感器(3)位于夹持组件(110)与石英坩埚(5)之间，所述主控组件(2)电连接于耐高温压力传感器(3)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚取放装置，其特征在于，所述夹持组件(110)从石英坩埚(5)侧边横向夹持固定于石英坩埚(5)侧壁。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚取放装置，其特征在于，所述夹持组件(110)的一侧设置有手持部(120)，所述夹持组件(110)和手持部(120)组成坩埚钳(1)。

4.根据权利要求3所述的石英坩埚取放装置，其特征在于，所述主控组件(2)设置有第一电磁铁组(210)、弹性件(220)和锁止件(230)，所述第一电磁铁组(210)设置有两个电磁铁，所述两个电磁铁分别固定安装于左壳体(241)和右壳体(242)中，所述左壳体(241)、右壳体(242)分别安装于坩埚钳(1)的手持部(120)，所述弹性件(220)两端分别与左壳体(241)、右壳体(242)相连，所述主控组件(2)安装于坩埚钳(1)的手持部(120)，所述左壳体(241)和右壳体(242)可相对移动，所述锁止件(230)作用于左壳体(241)和右壳体(242)之间，所述电磁铁受控于微控芯片(250)，所述微控芯片(250)控制连接于耐高温压力传感器(3)。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚取放装置，其特征在于，所述左壳体(241)和右壳体(242)活动连接于坩埚钳(1)的手持部(120)，所述左壳体(241)、右壳体(242)与手持部(120)之间通过连接组件(4)连接，所述耐高温压力传感器(3)可拆卸连接于夹持组件(110)。

6.根据权利要求5所述的石英坩埚取放装置，其特征在于，所述连接组件(4)包括卡板(410)和抵接杆(420)，所述卡板(410)卡接于坩埚钳(1)的手持部(120)，所述抵接杆(420)螺纹连接于卡板(410)，所述抵接杆(420)端部抵接于手持部(120)侧壁。

7.根据权利要求4所述的石英坩埚取放装置，其特征在于，所述锁止件(230)设置有锁止杆(231)和调节槽(232)，所述锁止杆(231)活动连接于左壳体(241)，所述调节槽(232)开设于右壳体(242)，所述锁止杆(231)和右壳体(242)之间设置有第二电磁铁组(233)，第二电磁铁组(233)控制连接于微控芯片(250)，所述锁止杆(231)可移动到调节槽(232)中。

技术总结
本技术公开了一种石英坩埚取放装置，其涉及石英坩埚夹技术领域，其主体设置有夹持组件，所述夹持组件设置有主控组件，主控组件控制连接于夹持组件，主控组件用于控制夹持组件实现夹持石英坩埚的动作，同时在夹持组件上设置耐高温压力传感器，耐高温压力传感器位于夹持组件与石英坩埚之间，所述主控组件电连接于耐高温压力传感器，利用耐高温压力传感器感知夹持组件施加于石英坩埚侧壁的作用力大小，形成向主控组件传输的一个反馈作用，从而可控制主控组件的启停，避免夹持组件对石英坩埚侧壁施加过大的挤压作用，且无需操作者掌握娴熟的操作技术即可直接使用此石英坩埚取放装置。

技术研发人员：陶飞,周勇,吴伟华,毛炳权
受保护的技术使用者：浙江美晶新材料有限公司
技术研发日：20221216
技术公布日：2024/1/11