喷淋装置以及喷淋系统的制作方法

本申请涉及清洗设备领域，具体而言，涉及一种喷淋装置以及喷淋系统。

背景技术：

1、在半导体、集成电路、光伏产品等电子产品制造过程中，需要对以半导体晶片和光掩模版为代表的各种基板进行光刻处理。需要使用光致抗蚀材料(光刻胶)在基板上形成集成电路和半导体器件的布局图案或者其它电路图案和数据图案。基板完成曝光、显影、刻蚀等加工工艺之后，需要去除基板表面残留的光刻胶。硫酸与过氧化氢的混合物(spm)是微电子行业普遍使用的清洗药液。spm的主要用途是用来清洗基板上的有机残留物，spm清洗有机残留物的主要工作原理是利用spm的强氧化性将有机物脱水并氧化成二氧化碳和水。可以通过旋转喷淋方法去除光掩模版上的光刻胶。

2、已有的清洗设备在药剂喷淋时在掩模版表面不能很好的覆盖，影响清洗设备的清洗能力，容易造成清洗产品异常。此外，已有的清洗设备的药剂混合腔体设计不合理，导致药剂的热量损耗较大，药剂喷淋至掩模版表面时难以维持在特定温度，这也进一步影响了清洗设备的清洗能力。

技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供一种喷淋装置以及喷淋系统，以解决上述至少一个问题。

2、为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种喷淋装置，包括喷淋管、第一输送管路、第二输送管路以及固定连接部，其中，所述喷淋管包括入口以及位于所述喷淋管的管壁上的多个所述喷嘴，多个所述喷嘴包括第一喷嘴，其中，所述第一喷嘴的开孔的轴向方向与其他所述喷嘴的开孔的轴向方向不同，所述第一喷嘴为远离所述入口的所述喷嘴，所述喷嘴至少有六个；所述第一输送管路一端用于与第一储液设备连通；所述第二输送管路一端用于与第二储液设备连通；所述固定连接部，用于固定所述喷淋管，并将所述第一输送管路的另一端以及所述第二输送管路的另一端分别与所述喷淋管的入口连接。

3、进一步地，除所述第一喷嘴之外的各所述喷嘴的开孔的轴向方向相同，且所述第一喷嘴的开孔的轴向方向与各剩余所述喷嘴的开孔的轴向方向角度的差值范围为15°～20°。

4、进一步地，多个所述喷嘴包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，所述第一喷嘴组包括沿着第一方向依次排列多个所述喷嘴，所述第二喷嘴组包括沿第二方向依次排列的至少一个所述喷嘴，所述第一方向和所述第二方向均为沿着所述喷淋管的远离所述固定连接部的方向，且所述第一方向和所述第二方向平行，所述第一喷嘴为所述第一喷嘴组中的一个所述喷嘴。

5、进一步地，任意两个相邻的所述喷嘴的间距范围为7mm～9mm。

6、进一步地，所述喷淋管还包括喷嘴安装孔，所述喷嘴设置在所述喷嘴安装孔上。

7、进一步地，所述喷淋管的直径范围为12mm～15mm。

8、进一步地，各所述喷嘴的孔径范围为0.4mm～0.6mm。

9、进一步地，所述喷淋管的内壁的材料为聚四氟乙烯。

10、进一步地，所述第一输送管路和所述第二输送管路的材料为pfa(polyfluoroalkoxy，可溶性聚四氟乙烯)树脂。

11、根据本申请的另一方面，提供了一种喷淋系统，包括喷淋装置、第一储液装置、第二储液装置以及控制器，其中所述喷淋装置包括任一种所述的喷淋装置；所述第一储液装置与所述喷淋装置的第一输送管路的一端连通；所述第二储液装置与所述喷淋装置的第二输送管路的一端连通；所述控制器分别与所述第一储液装置以及所述第二储液装置电连接，用于控制所述第一储液装置中的液体的流量以及所述第二储液装置中的液体的流量。

12、本申请的喷淋装置通过设置至少六个喷嘴，且将喷淋管的远离固定连接部的喷嘴的开孔的轴向设计成与其他喷嘴不同，提高药剂喷淋过程中在掩模版表面药剂覆盖率，进而解决了现有技术中喷淋装置的喷洒覆盖不完全的问题，同时，药剂通过第一输送管路和第二输送管路直接通入喷淋管，减少了药剂的热量损耗，使得药剂喷淋到掩模版表面时可以维持一定的温度，进而增强了喷淋装置的清洗能力。

技术特征：

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，除所述第一喷嘴之外的各所述喷嘴的开孔的轴向方向相同，且所述第一喷嘴的开孔的轴向方向与各剩余所述喷嘴的开孔的轴向方向角度的差值范围为15°～20°。

3.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，多个所述喷嘴包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，所述第一喷嘴组包括沿着第一方向依次排列多个所述喷嘴，所述第二喷嘴组包括沿第二方向依次排列的至少一个所述喷嘴，所述第一方向和所述第二方向均为沿着所述喷淋管的远离所述固定连接部的方向，且所述第一方向和所述第二方向平行，所述第一喷嘴为所述第一喷嘴组中的一个所述喷嘴。

4.根据权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，任意两个相邻的所述喷嘴的间距范围为7mm～9mm。

5.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管还包括喷嘴安装孔，所述喷嘴设置在所述喷嘴安装孔上。

6.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管的直径范围为12mm～15mm。

7.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，各所述喷嘴的孔径范围为0.4mm～0.6mm。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管的内壁的材料为聚四氟乙烯。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一输送管路和所述第二输送管路的材料均为pfa树脂。

10.一种喷淋系统，其特征在于，包括：

技术总结
本申请提供了一种喷淋装置以及喷淋系统。该喷淋装置包括喷淋管、第一输送管路、第二输送管路以及固定连接部，其中，喷淋管包括入口以及位于喷淋管的管壁上的至少六个喷嘴，多个喷嘴包括第一喷嘴，其中，远离入口的第一喷嘴的开孔的轴向方向与其他喷嘴的开孔的轴向方向不同；第一输送管路一端用于与第一储液设备连通；第二输送管路一端用于与第二储液设备连通；固定连接部用于固定喷淋管，并将第一输送管路的另一端以及第二输送管路的另一端分别与喷淋管的入口连接。该喷淋装置通过设置至少六个喷嘴，且将第一喷嘴的开孔的轴向设计成与其他喷嘴不同，解决了现有技术中喷淋装置的喷洒覆盖不完全以及药剂的热量损耗大而导致清洗能力较低的问题。

技术研发人员：伏道椿
受保护的技术使用者：无锡迪思微电子有限公司
技术研发日：20221221
技术公布日：2024/1/12