废气处理设备用循环水箱的制作方法

本技术涉及半导体废气处理，尤其涉及一种废气处理设备用循环水箱。

背景技术：

1、随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重。排放出的无组织废气多数比空气重，如果排放进大气，经过蔓延后会沉积在地面上，并达到很高的浓度，造成严重的环境污染，危害人体健康。如若遇到火种，将造成火灾，甚至产生爆炸。因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。

2、为了防止废气排放中存在的问题发生，人们通常将其集中起来烧掉，然后再经过水箱和水洗塔等洗涤降温，但在降温过程中废气随喷淋水进入水箱中，废气中的污泥等杂质也会进入水箱中，一般需要污泥自动沉积后再清理水箱，需要停机处理，而且清理过程耗时耗力；而且水箱中的水在管路中循环往复使用时，很容易由于污泥堵塞循环管路。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种废气处理设备用循环水箱，用以解决现有技术中随废气进入水箱中的污泥等杂质沉积在水箱中，清洗困难且耗时耗力，并容易堵塞循环管路的缺陷，实现水箱中固定杂质的有效收集，别不需要停机处理，保证了废气处理设备对废气的处理效率。

2、本实用新型提供一种废气处理设备用循环水箱，包括：

3、水箱本体，所述水箱本体构造有连通反应塔的进气口及连通洗涤塔的出气口，所述水箱的侧板构造有出液口，且所述水箱的顶板构造有用于放置收集盒的固定口；

4、泵压机构，所述泵压机构的进液端通过管道与所述出液口连接；

5、泥水分离机构，通过管道与所述泵压机构的出液端连接，适于将从所述水箱本体流出的液体进行固体杂物与水分离，所述固体杂物流入所述收集盒内，所述水进入废气处理设备的循环管路中。

6、根据本实用新型提供的一个实施例，还包括气动隔膜阀，设置在所述泥水分离机构与所述收集盒之间，所述气动隔膜阀适于控制流向所述收集盒的所述固体杂物的流量大小。

7、根据本实用新型提供的一个实施例，所述气动隔膜阀包括限位组件，所述限位组件适于保持所述气动隔膜阀位于常开状态，且在所述泥水分离机构中的所述固体杂物堆积到预设高度时，控制所述气动隔膜阀切换至全开状态。

8、根据本实用新型提供的一个实施例，还包括承漏壳体，所述水箱本体置于所述承漏壳体内，所述承漏壳体内设有漏液传感器。

9、根据本实用新型提供的一个实施例，所述泵压机构置于所述承漏壳体内，靠近所述泵压机构的所述承漏壳体的一侧设有挡板，且所述挡板与所述承漏壳体之间可拆卸连接。

10、根据本实用新型提供的一个实施例，所述进气口和所述出气口设于所述水箱本体的顶板上，所述顶板还构造有用于固定过滤组件的安装口，且所述安装口设于所述进气口和所述出气口之间。

11、根据本实用新型提供的一个实施例，所述过滤组件包括固定板和与所述固定板可拆卸连接的过滤筛，所述过滤筛为分子筛或过滤网至少一种。

12、根据本实用新型提供的一个实施例，所述固定板上安装有多个水喷嘴，所述水喷嘴的出口位于所述水箱本体内，所述水喷嘴的进口与所述循环管路连通。

13、根据本实用新型提供的一个实施例，所述水箱本体的顶板上穿设有液位监测器和温度监测器，所述顶板还安装有透明板。

14、根据本实用新型提供的一个实施例，所述泵压机构与所述泥水分离机构之间的管路上设有压力检测器，所述压力检测器适于判断所述泵压机构运行是否正常；和/或，

15、所述泵压机构与所述水箱本体之间的管路上设有三通球阀，所述三通球阀适于通断调节所述水箱本体和所述泵压机构。

16、本实用新型提供的废气处理设备用循环水箱，通过泵压机构将水箱本体内的液体泵入泥水分离机构中，并通过泥水分离机构利用水流离心力将液体中的固体杂物与水进行分离，分离出的水继续在废气处理设备中再次使用，分离出的固体杂物从泥水分离机构下方排至收集盒内，该种设置能够有效减少水箱内部泥沙堆积，而且避免了带有泥沙的水流堵塞循环管路。

技术特征：

1.一种废气处理设备用循环水箱，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，还包括气动隔膜阀，设置在所述泥水分离机构与所述收集盒之间，所述气动隔膜阀适于控制流向所述收集盒的所述固体杂物的流量大小。

3.根据权利要求2所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述气动隔膜阀包括限位组件，所述限位组件适于保持所述气动隔膜阀位于常开状态，且在所述泥水分离机构中的所述固体杂物堆积到预设高度时，控制所述气动隔膜阀切换至全开状态。

4.根据权利要求1所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，还包括承漏壳体，所述水箱本体置于所述承漏壳体内，所述承漏壳体内设有漏液传感器。

5.根据权利要求4所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述泵压机构置于所述承漏壳体内，靠近所述泵压机构的所述承漏壳体的一侧设有挡板，且所述挡板与所述承漏壳体之间可拆卸连接。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述进气口和所述出气口设于所述水箱本体的顶板上，所述顶板还构造有用于固定过滤组件的安装口，且所述安装口设于所述进气口和所述出气口之间。

7.根据权利要求6所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述过滤组件包括固定板和与所述固定板可拆卸连接的过滤筛，所述过滤筛为分子筛或过滤网至少一种。

8.根据权利要求7所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述固定板上安装有多个水喷嘴，所述水喷嘴的出口位于所述水箱本体内，所述水喷嘴的进口与所述循环管路连通。

9.根据权利要求1至5中任意一项所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述水箱本体的顶板上穿设有液位监测器和温度监测器，所述顶板还安装有透明板。

10.根据权利要求1至5中任意一项所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述泵压机构与所述泥水分离机构之间的管路上设有压力检测器，所述压力检测器适于判断所述泵压机构运行是否正常；和/或，

技术总结
本申请涉及半导体废气处理技术领域，提供一种废气处理设备用循环水箱，包括水箱本体，水箱本体构造有连通反应塔的进气口及连通洗涤塔的出气口，出液口，及用于放置收集盒的固定口；泵压机构，泵压机构的进液端通过管道与出液口连接；泥水分离机构，通过管道与泵压机构的出液端连接，适于将从水箱本体流出的液体进行固体杂物与水分离。本申请通过泵压机构将水箱本体内的液体泵入泥水分离机构中，并通过泥水分离机构利用水流离心力将液体中的固体杂物与水进行分离，分离出的水继续在废气处理设备中再次使用，分离出的固体杂物从泥水分离机构下方排至收集盒内，该种设置能够有效减少水箱内部泥沙堆积。

技术研发人员：章文军,闫潇,杨春水,张坤,宁腾飞,王继飞,蔡传涛,席涛涛,杨春涛,陈彦岗
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/13