一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统的制作方法

本技术涉及半导体制备工艺中的设备领域，特别涉及一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统。

背景技术：

1、半导体和lcd工艺中使用的大部分气态物质(sih4，ph3，ash3)，是具有毒性或危险性的气态物质。因此，制造过程后排出的有毒气体必须通过处理装置来减轻及稀释其毒性，以降低危险性。

2、通用气体处理设备一般被称为废气处理设备(scrubber)。有毒气体到达scrubber之前产生的副产物by-product(powder)，具有粘附性和腐蚀性，长时间使用，by-product渐渐堵塞管道内部，所造成的压力损失会导致管道内部清洗主机周期的缩短和pump down，同时存在安全事故的危险。

3、因此在废气进入废气处理设备之前，大部分厂家会设置有hot n2氮气加热系统，将加热后氮气注入管道内部，最大限度的抑制by-product的生成，预防管道堵塞的情况，但是目前绝大部分的hot n2氮气加热系统中氮气在注入管道内与废气混合后整体温度下降导致粉尘结晶，结晶后粉尘黏附在管道内壁上造成该段管路的堵塞，针对这一情况，本申请提出了一种解决方案。

技术实现思路

1、实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，能够防止氮气加热系统注入氮气至管道内后，由于混合后温度过低导致的粉尘结晶，堵塞管道的情况，同时也能够使氮气与废气混合充分，提高后续废气处理设备的处理效率。

2、技术方案：本实用新型所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，包括有氮气加热器，所述氮气加热器的进气口连接氮气源，出气口连接进气模块，所述进气模块的两端连接入通用废气处理设备的进气管道上，在进气模块的出口位置设置有温控口，温控口内设置有温度传感器。

3、作为优选，所述进气模块包括有管道、夹套和进气管，所述管道的两端连接入通用废气处理设备的进气管道，夹套密闭设置在管道的进口位置，管道的出口位置设置有温控口，所述进气管的进气口与氮气加热器连接，出气口与夹套联通，所述夹套密闭连接的管道外壁上均匀设置有多个通孔。

4、进气模块完成加热后氮气导入进气管道的功能，使废气与加热后氮气充分混合，将温度口设置在管道的出口位置能够检测到混合后气体的温度，而不是混合前的温度，从而使操作人员能够及时调整氮气的控制温度，减少氮气进入管道后与废气混合导致温度下降过多，使粉尘结晶黏附在管道内壁上的情况。

5、作为优选，多个所述通孔沿同一方向倾斜贯穿管道的外壁，多个所述通孔与垂直于管道外壁的垂直面间的夹角在45°到60°之间。

6、通孔倾斜贯穿管道外壁的设置能够使进入管道的氮气螺旋涡流，使气体流速增快，与管道内废气混合更加充分，并且能够使管道内混合后气体的温度更加均匀，不会产生局部点位温差过大导致粉尘结晶的情况。

7、作为优选，所述管道、夹套和进气管均采用不锈钢材质的钢材。

8、不锈钢材质更耐腐蚀，提高设备的整体寿命。

9、作为优选，所述温度传感器伸入温控口至管道的出口中心位置检测温度。

10、管道出口中心的位置的温度更加符合完全混合均匀后的气体的温度的实际情况，采集此处温度能够有效提高对氮气温度控制的精度。

11、作为优选，所述氮气加热器和进气模块的外壁均包裹有加热保温套。

12、加热保温套能够有效的维持氮气的控制温度。

13、作为优选，所述进气模块可拆卸的安装在进气管道上。

14、可拆卸的安装方式便于将进气模块在一定的使用周期后拆卸下来进行清洗。

15、有益效果：

16、(1)、本申请中将温度传感器设置在进气模块的出口位置的中心点位处，能够有效检测到混合后气体的温度，从而提高对注入的氮气温度控制的精度，降低氮气进入管道内部并且混合后，由于温度过低使管道内粉尘结晶，堵塞管道现象的发生，从而拉长将本装置拆卸下来进行清洗的周期，提高了整体的工作效率；

17、(2)、本申请通过倾斜贯穿管道外壁的通孔的设置，能够使氮气与废气混合更加充分，进而使混合后气体的温度更加均匀，不会存在局部点位温差过大导致的粉尘结晶现象的产生。

技术特征：

1.一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，包括有氮气加热器(1)，其特征在于：所述氮气加热器(1)的进气口连接氮气源，出气口连接进气模块(2)，所述进气模块(2)的两端连接入通用废气处理设备的进气管道(3)上，在进气模块(2)的出口位置设置有温控口(4)，温控口(4)内设置有温度传感器。

2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，其特征在于：所述进气模块(2)包括有管道(21)、夹套(22)和进气管(23)，所述管道(21)的两端连接入通用废气处理设备的进气管道(3)，夹套(22)密闭设置在管道(21)的进口位置，管道(21)的出口位置设置有温控口(4)，所述进气管(23)的进气口与氮气加热器(1)连接，出气口与夹套(22)联通，所述夹套(22)密闭连接的管道(21)外壁上均匀设置有多个通孔(24)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，其特征在于：多个所述通孔(24)沿同一方向倾斜贯穿管道(21)的外壁，多个所述通孔(24)与垂直于管道(21)外壁的垂直面间的夹角在45°到60°之间。

4.根据权利要求2所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，其特征在于：所述管道(21)、夹套(22)和进气管(23)均采用不锈钢材质的钢材。

5.根据权利要求2所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，其特征在于：所述温度传感器伸入温控口(4)至管道(21)的出口中心位置检测温度。

6.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，其特征在于：所述氮气加热器(1)和进气模块(2)的外壁均包裹有加热保温套。

7.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，其特征在于：所述进气模块(2)可拆卸的安装在进气管道(3)上。

技术总结
本技术公开了一种半导体废气处理设备管道防堵塞系统，包括有氮气加热器，氮气加热器的进气口连接氮气源，出气口连接进气模块，进气模块的两端连接入通用废气处理设备的进气管道上，在进气模块的出口位置设置有温控口，温控口内设置有温度传感器，本申请将温度传感器设置在进气模块的出口位置，能够有效检测到混合后气体的温度，从而提高对注入的氮气温度控制的精度，降低氮气进入管道内部并且混合后，由于温度过低使管道内粉尘结晶，堵塞管道现象的发生。

技术研发人员：秦大元,林昉玮,骆海婧
受保护的技术使用者：摩尔机电工程无锡有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12