一种排灰除尘器的制作方法

本发明涉及半导体制备，特别是涉及一种单晶硅、多晶硅、重掺硅单晶等工业生产中工艺粉尘处理的排灰除尘器。

背景技术：

1、单/多晶炉拉晶过程产生大量遇空气可自燃的sio粉尘，简谐式真空除尘器将这些sio粉尘过滤后储存在灰仓中，灰仓中的粉尘达到一定的量后需进行泄灰作业。目前，传统除尘器卸灰，一般采用灰仓振打，清灰口星型卸灰阀卸灰。对于小型除尘器，由于灰仓较小，采用人工掏、铲、扫等原始方式达到卸灰的目的。

2、鉴于sio粉尘遇空气可自燃甚至爆炸的特性，人工清灰前必须对sio粉尘进行缓慢氧化，将sio粉尘缓慢氧化为sio2粉尘，人工手动清除时，需穿戴好防护服、护目镜、口罩。使用刮板和扫把把灰尘收集到袋子中，操作的过程中会产生扬尘，使车间环境造成二次污染。给后续车间的保洁，设备的保养增加了负担。

3、现开发一种可用于单晶硅、多晶硅、重掺硅单晶等工业生产中sio工艺粉尘处理的排灰除尘器。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种排灰除尘器，以解决上述现有技术存在的问题，减少企业的用工成本，实现密闭环境下收灰。

2、为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

3、本发明提供了一种排灰除尘器，包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有出风口，所述下壳体上开设有进风口和清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有花板，所述上壳体与所述花板之间的空间为净气室，所述气包与所述净气室连通，若干所述滤袋设置在所述净气室内，各所述滤袋的下端均与所述花板上的通孔连通，所述净气室内还设置有振打结构，所述振打结构用于对所述滤袋进行振打，所述下壳体与所述花板之间的空间为浊气室，所述浊气室内设置有喷嘴，所述气包与所述喷嘴连通，所述二次氧化气包用于盛放氧化气体，所述二次氧化气包与所述浊气室连通。

4、优选地，所述气包通过喷吹管路与所述净气室连通，所述喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述气包上还设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀。

5、优选地，所述喷嘴设置在所述清灰口的对面，所述气包与各所述喷嘴分别通过一吹扫管路连通，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀和第二气动球阀。

6、优选地，所述振打结构位于所述滤袋的上方，各所述振打结构包括气缸、弹簧和活动吊架，所述气缸的缸体与所述上壳体连接，所述气缸的活塞杆用于推动所述活动吊架，所述弹簧的一端与所述上壳体中的固定吊架连接，所述弹簧的另一端与所述活动吊架连接，所述活动吊架与所述滤袋的上端连接。

7、优选地，还包括支架，所述支架的下端与所述花板连接，所述支架的上端设置有所述固定吊架。

8、优选地，还包括导向结构，所述导向结构包括导向套和导向杆，所述导向套套设在所述导向杆的外侧，所述导向套与所述固定吊架连接，所述导向杆与所述活动吊架连接。

9、优选地，所述上壳体上开设有上测温口，所述下壳体上开设有下测温口。

10、优选地，所述二次氧化气包上设置有第二手动球阀、第三手动球阀和第三电磁阀，所述第三电磁阀位于所述第二手动球阀的外侧。

11、优选地，还包括气控箱和电控箱，所述气控箱和所述电控箱均位于所述上壳体的外侧，且所述气控箱和所述电控箱位于同一侧。

12、优选地，所述出风口和所述清灰口分别用于与一真空设备连接，所述清灰口连接的真空设备与所述喷嘴配合实现粉尘的清理。

13、本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

14、含尘气体由本发明的进风口进入下壳体的浊气室中，然后由滤袋的下端进入滤袋内，经过滤袋过滤后的气体由出风口排出，滤袋内的粉尘一部分在重力的作用下下落至浊气室中，另一部分附着在滤袋内表面，通过气包内的气体对滤袋进行喷吹以及配合振打结构对滤袋进行振动，使得滤袋内表面的附着物下落至浊气室，然后通过二次氧化气包内的气体对粉尘进行氧化，氧化完成后，气包内的气体通过喷嘴将氧化后的粉尘吹向清灰口。本发明无需人工进行清灰，整个清灰过程在密闭环境中进行，避免了操作过程中产生的扬尘，避免了车间环境的二次污染。

技术特征：

1.一种排灰除尘器，其特征在于：包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有出风口，所述下壳体上开设有进风口和清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有花板，所述上壳体与所述花板之间的空间为净气室，所述气包与所述净气室连通，若干所述滤袋设置在所述净气室内，各所述滤袋的下端均与所述花板上的通孔连通，所述净气室内还设置有振打结构，所述振打结构用于对所述滤袋进行振打，所述下壳体与所述花板之间的空间为浊气室，所述浊气室内设置有喷嘴，所述气包与所述喷嘴连通，所述二次氧化气包用于盛放氧化气体，所述二次氧化气包与所述浊气室连通。

2.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述气包通过喷吹管路与所述净气室连通，所述喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述气包上还设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀。

3.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述喷嘴设置在所述清灰口的对面，所述气包与各所述喷嘴分别通过一吹扫管路连通，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀和第二气动球阀。

4.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述振打结构位于所述滤袋的上方，各所述振打结构包括气缸、弹簧和活动吊架，所述气缸的缸体与所述上壳体连接，所述气缸的活塞杆用于推动所述活动吊架，所述弹簧的一端与所述上壳体中的固定吊架连接，所述弹簧的另一端与所述活动吊架连接，所述活动吊架与所述滤袋的上端连接。

5.根据权利要求4所述的排灰除尘器，其特征在于：还包括支架，所述支架的下端与所述花板连接，所述支架的上端设置有所述固定吊架。

6.根据权利要求5所述的排灰除尘器，其特征在于：还包括导向结构，所述导向结构包括导向套和导向杆，所述导向套套设在所述导向杆的外侧，所述导向套与所述固定吊架连接，所述导向杆与所述活动吊架连接。

7.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述上壳体上开设有上测温口，所述下壳体上开设有下测温口。

8.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述二次氧化气包上设置有第二手动球阀、第三手动球阀和第三电磁阀，所述第三电磁阀位于所述第二手动球阀的外侧。

9.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：还包括气控箱和电控箱，所述气控箱和所述电控箱均位于所述上壳体的外侧，且所述气控箱和所述电控箱位于同一侧。

10.根据权利要求3所述的排灰除尘器，其特征在于：所述出风口和所述清灰口分别用于与一真空设备连接，所述清灰口连接的真空设备与所述喷嘴配合实现粉尘的清理。

技术总结
本发明公开了一种排灰除尘器，涉及半导体制备技术领域，包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋，上壳体与下壳体连接，上壳体上开设有出风口，下壳体上开设有进风口和清灰口，上壳体和下壳体之间设置有花板，上壳体与花板之间的空间为净气室，气包与净气室连通，若干滤袋设置在净气室内，各滤袋的下端均与花板上的通孔连通，净气室内还设置有振打结构，振打结构用于对滤袋进行振打，下壳体与花板之间的空间为浊气室，浊气室内设置有喷嘴，气包与喷嘴连通，二次氧化气包用于盛放氧化气体，二次氧化气包与浊气室连通。本发明无需人工进行清灰，清灰过程在密闭环境中进行，避免了操作过程中产生的扬尘以及车间环境的二次污染。

技术研发人员：刘峰岳,单海涛,师洋,王磊,王刚
受保护的技术使用者：北京中兴汇融节能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12