高压过滤器的制作方法

背景技术：

1、半导体制造操作需要没有杂质、污染物及颗粒的高纯度金属(例如锡)及高纯度气体(例如溴化氢)，所述杂质、污染物及颗粒可破坏过程且导致正生产的工件中的缺陷。熔融金属的过滤尤其需要在高温及高压下执行过滤。用于过滤熔融金属的过滤器必须在高温(举例来说，大于200℃的温度)及高压(举例来说，高达8000psig)下提供防漏密封。

2、现有技术中教示的装置及方法未必满足半导体工业中的当今顾客的要求。持续需要在高温及高压下提供防漏性能以用于过滤熔融金属及气体的过滤器。

技术实现思路

1、本发明关于高压过滤器以及制成且使用高压过滤器的方法，所述高压过滤器用于移除可存在于熔融金属或气体中的杂质、污染物及颗粒。

2、在本发明的版本中，一种高压过滤器包括第一壳体及第二壳体，所述壳体中的每一者具有在第一端上的渐缩表面及在第二端上的流体配件。所述第二壳体的所述渐缩表面与所述第一壳体的所述渐缩表面互补地渐缩，且垫圈位于所述第一壳体的所述渐缩表面与所述第二壳体的所述渐缩表面之间。过滤器元件居中地安置于所述第一壳体及所述第二壳体内。所述第一壳体的外部表面的至少一部分为带螺纹的且压缩轴环装配在所述第二壳体上方且旋拧到所述第一壳体上。

3、在本发明的特定版本中，所述第一壳体及所述第二壳体包括钼。或者，所述第一壳体及所述第二壳体包括铝、碳化硅、不锈钢、镍或镍合金。所述压缩轴环可包括钼、不锈钢、镍或镍合金。所述垫圈可包括钽、钛、不锈钢、镍或镍合金。

4、0007在本发明的另一版本中，所述第一壳体的所述渐缩表面以不同于所述第二壳体的所述渐缩表面的角度渐缩，此可增强位于所述渐缩表面之间的所述垫圈的压缩。在本发明的版本中，高压过滤器在大约200℃到大约400℃或大约250℃到大约300℃的温度下为防漏的。本发明的高压过滤器在操作期间于高达大约8000psig的压力下可为防漏的。

5、在本发明的进一步版本中，所述垫圈包含凸缘，所述凸缘可阻止在所述壳体的所述渐缩表面之间的所述垫圈的滑动或移动。居中地安置于所述壳体内的所述过滤器元件可为烧结粉末多孔过滤器元件。所述流体配件可为vcr、真空耦合半径密封配件或压缩配件。

6、在本发明的另一版本中，一种过滤液体或气体进料的方法包括：提供高压过滤器；将含有污染物的进料引入到所述高压过滤器中；及从所述高压过滤器回收经净化而不含污染物的所述进料。所述进料可沿着从所述第一壳体的所述流体配件穿过所述过滤器元件到达所述第二壳体的所述流体配件的流动路径行进，其中所述污染物保留在所述过滤器元件内。所述进料可为液态金属或气体。

7、在本发明的又一版本中，一种制成高压过滤器的方法包括：加热高压过滤器的第一壳体；将烧结粉末多孔过滤器元件装配到所述第一钼壳体中；将垫圈放置在所述第一壳体的渐缩表面上方；将具有互补渐缩表面的第二壳体放置成与所述垫圈及所述第一壳体密封接触；及将压缩轴环旋拧在所述第二壳体上方且旋拧到所述第一壳体的至少一部分上，借此在所述第一壳体与所述第二壳体之间提供防漏密封。

技术特征：

1.一种用于过滤液态金属或气体的高压过滤器，其包括：

2.根据权利要求l所述的高压过滤器，其中所述第一壳体、所述第二壳体、所述压缩轴环或其组合包括钼。

3.根据权利要求l所述的高压过滤器，其中所述第一壳体及所述第二壳体包括不锈钢或镍。

4.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述压缩轴环包括不锈钢或镍。

5.根据权利要求l所述的高压过滤器，其中所述垫圈包括钽。

6.根据权利要求l所述的高压过滤器，其中所述垫圈包括选自由以下各者所组成的群组中的材料：

7.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述第一壳体的所述凸形渐缩表面以不同于所述第二壳体的所述凹形渐缩表面的角度渐缩。

8.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述高压过滤器在操作期间于约200℃到约400℃的温度下为防漏的。

9.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述高压过滤器在操作期间于约250℃到约300℃的温度下为防漏的。

10.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述高压过滤器在操作期间于高达约8000psig的压力下为防漏的。

11.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述垫圈包含凸缘。

12.根据权利要求l所述的高压过滤器，其中所述烧结粉末多孔过滤器元件包括选自由以下各者所组成的群组中的材料：

13.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述流体配件为压缩配件。

14.根据权利要求1所述的高压过滤器，其中所述烧结粉末多孔过滤器元件包括所述液态金属或气体流入其中的空心部分。

15.一种过滤液态金属或气体进料的方法，其包括：

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述进料为液态金属。

17.根据权利要求15所述的方法，其中所述进料为气体。

18.根据权利要求15所述的方法，其中所述第一壳体及所述第二壳体包括钼且所述垫圈包括钽。

19.根据权利要求15所述的方法，其中所述第一壳体及所述第二壳体包括选自由以下各者所组成的群组中的材料：

20.一种制成用于过滤液态金属或气体的高压过滤器的方法，其包括：

21.一种用于过滤液态金属或气体的高压过滤器，其包括：

22.根据权利要求21所述的高压过滤器，其中所述烧结粉末多孔过滤器元件包括所述液态金属或气体流入其中的空心部分。

技术总结
本申请实施例涉及一种高压过滤器，其包含：第一壳体及第二壳体，其具有互补渐缩表面；垫圈，其位于所述渐缩表面之间；过滤器元件，其居中地安置于所述壳体内；及压缩轴环，其装配在所述第二壳体上方且旋拧到所述第一壳体上。还提供制成且使用高压过滤器的方法。

技术研发人员：M·兰多尔弗
受保护的技术使用者：恩特格里斯公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13