一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置的制作方法

本申请涉及过滤，具体而言，涉及一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置。

背景技术：

1、相关技术中，高纯度氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，现如今由于行业发展，电子级氟化氢的需求正在不断的提高，半导体用电子级氢氟酸广泛应用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域中，同时目前国内外制备半导体级氢氟酸的常用提纯技术将无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2um以下超滤工序。

2、在现有技术中，其过滤筒内部的滤芯为多组设置，同时在滤芯更换安装时，会将原有过滤筒内部的滤芯拿出随后更换新的滤芯，由于一些工业所用的过滤筒的筒身较高，因此在插拔更换滤芯时，在其操作上会存在一些不便。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的过滤筒的筒身较高，因此在插拔更换滤芯时，在其操作上会存在一些不便的技术问题之一。为此，本申请提出一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置。

2、根据本申请实施例的一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，包括过滤筒，以及过滤筒内部设有的滤芯，

3、自过滤筒的内腔底部向上延伸设有定位杆，而在定位杆的外周面设有定位板，其定位板的表面开设有与滤芯位置相对应的定位孔一，定位杆的外周面套接有可升降的升降板，而自升降板中心贯穿处横向设有连接板，连接板的上方设有齿条二，同时定位杆的表面贯穿开设有用于连接板升降的升降槽，连接板的底部延伸至定位杆底面之间设有可压缩回弹的弹簧一，定位杆的内部一侧设有可用于齿条二缓速上升的加速箱。

4、进一步的，所述连接板的上端表面贯穿开设有移动槽，而在定位杆的内壁一侧向内开设有回转槽，其回转槽内设有用于限位齿条二移动的限位块。

5、进一步的，所述限位块的上下端部分别向内开设有用于挡板转动的销孔，其销孔内部还设有用于挡板转动后翻转的扭簧，并且其两组相对的挡板呈对角设置。

6、进一步的，所述齿条二与回转槽相对的表面设有限位杆，同时限位杆的一端延伸至回转槽内。

7、进一步的，所述加速箱内部设有可转动的齿轮五，其加速箱的表面设有可与齿条二间断式啮合的齿轮一，而自齿轮五的相对处设有直径小于其尺寸的齿轮二，位于齿轮二与齿轮五的上方分别啮合连接有连接齿轮。

8、进一步的，所述升降板的表面贯穿开设有与定位孔一相对应的定位孔二，并在定位孔二上方设有底座，其底座的内部呈中空状，同时在底座内部设有冠状齿轮三。

9、进一步的，所述升降槽的内壁一侧设有齿条一，在升降板内部的转轴三两端分别设有齿轮八和齿轮七，齿轮八与齿条一之间形成啮合连接，而自齿轮七的下方啮合连接有冠状齿轮二，其冠状齿轮二上方的另一侧啮合有可同步转动的齿轮六。

10、进一步的，所述升降板内部开设有与齿轮六同轴的移动孔，并且位于齿轮六表面贯穿开设有螺纹孔，同时螺纹孔的内部设有与其螺纹相连的螺纹杆，位于螺纹杆的一侧端部固定设有矩形块，其矩形块位于移动孔一侧开设的定位槽。

11、进一步的，所述定位孔二的内环壁分别相对设有可用于夹持定位滤芯的夹持杆，其夹持杆的外周面向螺纹杆方向延伸设有顶杆，同时顶杆与矩形块之间设有弹簧二，并且弹簧二的两端设有旋转板。

12、进一步的，所述过滤筒的顶部通过盖合的方式密封设有顶盖，同时顶盖与过滤筒之间的密封通过过滤筒外周面设有的锁紧组件实现锁紧连接。

13、本申请的有益效果是：在滤芯进行更换，顶盖打开后，此时齿条二即可推动齿轮一进行转动，随着齿轮一的转动即可使发条开始收卷，即可使竖直状结构的定位板开始翻转，并且通过转孔与限位杆的限位，即可在定位板旋转至水平时停止转动，继而能够通过定位孔一和定位板，方便对滤芯进行一定辅助定位，同时还能够防止滤芯在安装中杂质掉落至过滤筒内部，并且齿条二与齿轮一之间形成啮合连接，随后通过加速箱内部的结构使齿条二实现缓速向上移动，即可方便滤芯的更换，由于弹簧一的弹力反推，其限位杆位于限位块上方的挡板上方，随后顶盖带着滤芯向下压动，其限位杆通过上方的挡板向一侧移动，即可使齿条二脱离齿轮一，继而方便滤芯能够被快速下压对接安装，最后在滤芯的一端通过定位孔一向下插接时，此时滤芯的入口端即可插入定位孔二内部，随后升降板向下移动后，其齿轮六即可与齿条一啮合转动，随着齿轮六转动后齿轮七即可使冠状齿轮二能够一同转动，并且随着冠状齿轮二旋转即可使两组相对的螺纹杆同时相向移动，即可使夹持杆能够不断的夹紧滤芯的入口端，继而能够形成定位夹持，以方便滤芯的入口端与连接管之间形成相通。

14、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，包括过滤筒(11)，以及过滤筒(11)内部设有的滤芯(4)，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述连接板(61)的上端表面贯穿开设有移动槽(611)，而在定位杆(12)的内壁一侧向内开设有回转槽(123)，其回转槽(123)内设有用于限位齿条二(62)移动的限位块(124)。

3.根据权利要求2所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述限位块(124)的上下端部分别向内开设有用于挡板(126)转动的销孔(125)，其销孔(125)内部还设有用于挡板(126)转动后翻转的扭簧(127)，并且其两组相对的挡板(126)呈对角设置。

4.根据权利要求3所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述齿条二(62)与回转槽(123)相对的表面设有限位杆(63)，同时限位杆(63)的一端延伸至回转槽(123)内。

5.根据权利要求4所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述加速箱(16)内部设有可转动的齿轮五(162)，其加速箱(16)的表面设有可与齿条二(62)间断式啮合的齿轮一(161)，而自齿轮五(162)的相对处设有直径小于其尺寸的齿轮二(165)，位于齿轮二(165)与齿轮五(162)的上方分别啮合连接有连接齿轮(164)。

6.根据权利要求5所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述升降板(6)的表面贯穿开设有与定位孔一(51)相对应的定位孔二(65)，并在定位孔二(65)上方设有底座(64)，其底座(64)的内部呈中空状，同时在底座(64)内部设有冠状齿轮三(641)。

7.根据权利要求6所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述升降槽(121)的内壁一侧设有齿条一(122)，在升降板(6)内部的转轴三(7)两端分别设有齿轮八(71)和齿轮七(72)，齿轮八(71)与齿条一(122)之间形成啮合连接，而自齿轮七(72)的下方啮合连接有冠状齿轮二(66)，其冠状齿轮二(66)上方的另一侧啮合有可同步转动的齿轮六(671)。

8.根据权利要求7所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述升降板(6)内部开设有与齿轮六(671)同轴的移动孔(68)，并且位于齿轮六(671)表面贯穿开设有螺纹孔(672)，同时螺纹孔(672)的内部设有与其螺纹相连的螺纹杆(673)，位于螺纹杆(673)的一侧端部固定设有矩形块(674)，其矩形块(674)位于移动孔(68)一侧开设的定位槽(67)。

9.根据权利要求8所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述定位孔二(65)的内环壁分别相对设有可用于夹持定位滤芯(4)的夹持杆(693)，其夹持杆(693)的外周面向螺纹杆(673)方向延伸设有顶杆(692)，同时顶杆(692)与矩形块(674)之间设有弹簧二(691)，并且弹簧二(691)的两端设有旋转板(69)。

10.根据权利要求9所述的高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，其特征在于，所述过滤筒(11)的顶部通过盖合的方式密封设有顶盖(2)，同时顶盖(2)与过滤筒(11)之间的密封通过过滤筒(11)外周面设有的锁紧组件(112)实现锁紧连接。

技术总结
本申请实施例提供一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置，涉及过滤领域。一种高纯度氢氟酸提纯用过滤装置包括：过滤筒的内腔底部向上延伸设有定位杆，定位杆的外周面套接有可升降的升降板，而自升降板中心贯穿处横向设有连接板，连接板的上方设有齿条二，同时定位杆的表面贯穿开设有用于连接板升降的升降槽，连接板的底部延伸至定位杆底面之间设有可压缩回弹的弹簧一，定位杆的内部一侧设有可用于齿条二缓速上升的加速箱，在滤芯需要进行更换时，此时通过下方挡板的导向移动，即可使齿条二与齿轮一之间形成啮合连接，随后通过加速箱内部的结构使齿条二实现缓速向上移动，即可方便滤芯的更换。

技术研发人员：沙永华,骆宝超
受保护的技术使用者：安瑞森（宁夏）电子材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15