一种电子级氨水生产用液氨蒸发器的制作方法

本发明属于电子级氨水生产，具体涉及一种电子级氨水生产用液氨蒸发器。

背景技术：

1、半导体行业中，在纯净的半导体产品中掺入极微量的杂质元素，就会使产品的电阻率发生极大的变化。因此，半导体行业对其所使用的化学材料的纯净度要求极高，通常使用电子级化学品。

2、电子级氨水作为半导体行业常用的八大电子级化学材料之一，消耗量位居电子产品行业第三，主要用于硅晶片的扩散、腐蚀、清洗等工艺，其能够利用氨水的弱碱性，活化硅晶圆及微粒表面，可以去除其表面颗粒、部分金属不纯物。因此，电子级氨水广泛应用于芯片的清洗中。

3、电子级氨水的生产工艺主要有间歇精馏法、膜过滤吸收法、树脂过滤法等。上述制备工艺多样化，但大多包括蒸发、净化、吸收工序，其利用压缩机将液态氨从原料罐压送至蒸发器内，并利用蒸发器内的热蒸汽蒸发为氨气；然后将汽化后的氨气依次通过排水分离器和活性碳吸附器得到净化后的氨气；将净化过滤后的氨气经过吸附树脂吸附除油处理后，用超纯水和饱和氨水洗涤除杂；再将处理后的氨气用水汽分离器分离成水气和氨气，然后将分离后的氨气经吸收塔用超纯水吸收后超滤，得到电子级氨水。

4、电子级氨水生产的关键要素在于高纯氨气的制备，现有技术中液氨蒸发器制备的氨气中往往含有大量液滴，液滴中存在的杂质会降低氨气纯度，导致生产的氨水达不到电子级。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供了一种电子级氨水生产用液氨蒸发器。

2、本发明的一种电子级氨水生产用液氨蒸发器的技术方案是：

3、一种电子级氨水生产用液氨蒸发器，包括壳体，所述壳体内具有将所述壳体内部分隔成蒸发腔以及纯化腔的隔板，所述隔板的上端设有向凸出部，所述凸出部的外壁上设有出气孔，所述纯化腔内转动安装有转轴，所述壳体上设有驱动所述转轴转动的驱动机构，所述纯化腔内设有若干个环绕所述转轴布置的纯化器，所述纯化器包括外壳，所述外壳内设有将所述外壳内部分隔成加热腔以及排气腔的隔断，所述加热腔内设有加热盘管，所述外壳的下端设有与所述加热腔连通的进气孔，所述进气孔上设有进气单向阀，所述隔断上设有连通所述加热腔以及排气腔的连通孔，所述连通孔上设有连通单向阀，所述壳体的上端设有与所述排气腔连通的排气孔，所述排气孔上设有排气单向阀，所述排气腔内导向安装有滑板，所述滑板的一侧设有第一磁铁，所述转轴的两侧设有第二磁铁以及第三磁铁，所述第二磁铁与第三磁铁外侧的磁极相反。

4、进一步的，所述凸出部内滑动密封安装有用于密封所述出气孔的密封塞，所述密封塞的上端设有连接杆，所述连接杆的上端设有下转盘，所述下转盘与所述凸出部之间设有复位弹簧，所述转轴的下端设有上转盘，所述上转盘的下侧以及下转盘的上侧分别设有凸起。

5、进一步的，所述凸出部的上端封口，所述凸出部的上端设有穿孔，所述外壳的下端与所述转轴通过封板以及密封轴承密封配合。

6、进一步的，所述加热腔内设有若干个与所述加热盘管相匹配、使进入加热腔的气体沿加热盘管延伸方向流动的导流板，所述壳体的上端设有与所述纯化腔连通的出气管。

7、进一步的，所述驱动机构包括驱动电机，所述壳体的上端设有电机固定座，所述驱动电机固定连接在所述电机固定座上侧，所述驱动电机的输出轴伸入所述电机固定座内，所述驱动电机的输出轴与所述转轴通过联轴器连接。

8、进一步的，所述隔板包括上小下大的锥形板，所述凸出部设置在所述锥形板的上端，所述壳体的外壁上设有与所述锥形板的下侧上端连通的出液管，所述出液管上设有截止阀。

9、进一步的，所述加热腔内设有除雾网，所述加热腔的腔壁上设有位于所述除雾网上下两侧的固定板，两个所述固定板之间设有导向杆，所述除雾网的框架导向安装在所述导向杆上，所述导向杆上套装有两个分别位于所述除雾网上下两侧的缓冲弹簧，缓冲弹簧的两端分别与所述安装板以及除雾网的框架连接，所述密封塞的下端固定连接有传动杆，所述传动杆的下端设有密封塞下行时推动除雾网下行的固定块。

10、本发明提供了一种电子级氨水生产用液氨蒸发器，其有益效果是：

11、本发明的电子级氨水生产用液氨蒸发器使用时，液氨在蒸发腔内蒸发，蒸发出的氨蒸汽通过除雾网除雾后进入纯化腔内，驱动电机驱动转轴转动，转轴上的第二磁铁和第三磁铁随转轴转动，第二磁铁和第三磁铁带动滑板左右滑动。滑板向右滑动过程中，将加热腔内的气体吸入至排气腔，在此过程中，气体被加热盘管加热，气体中的液体受热挥发。滑板向左滑动过程中，将排气腔中的气体排出至，从而实现对氨蒸汽纯化。转轴转动时带动上转盘转动，下转盘在上转盘以及复位弹簧作用下上下运动，密封塞上下运动过程中周期性密封和解封出气孔，使蒸发腔内的氨蒸汽间歇性进入纯化腔，降低了纯化腔内蒸汽密度，有助于提升纯化器纯化效果。密封塞上下运动过程中带动固定块上下运动，使除雾网上下震动，将除雾网上附着的液滴振落。相比于现有技术，本发明的电子级氨水生产用液氨蒸发器提高了氨蒸汽纯净度，有助于提高氨气纯度，使生产的氨水达到电子级。

技术特征：

1.一种电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，包括壳体，所述壳体内具有将所述壳体内部分隔成蒸发腔以及纯化腔的隔板，所述隔板的上端设有向凸出部，所述凸出部的外壁上设有出气孔，所述纯化腔内转动安装有转轴，所述壳体上设有驱动所述转轴转动的驱动机构，所述纯化腔内设有若干个环绕所述转轴布置的纯化器，所述纯化器包括外壳，所述外壳内设有将所述外壳内部分隔成加热腔以及排气腔的隔断，所述加热腔内设有加热盘管，所述外壳的下端设有与所述加热腔连通的进气孔，所述进气孔上设有进气单向阀，所述隔断上设有连通所述加热腔以及排气腔的连通孔，所述连通孔上设有连通单向阀，所述壳体的上端设有与所述排气腔连通的排气孔，所述排气孔上设有排气单向阀，所述排气腔内导向安装有滑板，所述滑板的一侧设有第一磁铁，所述转轴的两侧设有第二磁铁以及第三磁铁，所述第二磁铁与第三磁铁外侧的磁极相反。

2.根据权利要求1所述的电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，所述凸出部内滑动密封安装有用于密封所述出气孔的密封塞，所述密封塞的上端设有连接杆，所述连接杆的上端设有下转盘，所述下转盘与所述凸出部之间设有复位弹簧，所述转轴的下端设有上转盘，所述上转盘的下侧以及下转盘的上侧分别设有凸起。

3.根据权利要求2所述的电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，所述凸出部的上端封口，所述凸出部的上端设有穿孔，所述外壳的下端与所述转轴通过封板以及密封轴承密封配合。

4.根据权利要求1所述的电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，所述加热腔内设有若干个与所述加热盘管相匹配、使进入加热腔的气体沿加热盘管延伸方向流动的导流板，所述壳体的上端设有与所述纯化腔连通的出气管。

5.根据权利要求1所述的电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，所述驱动机构包括驱动电机，所述壳体的上端设有电机固定座，所述驱动电机固定连接在所述电机固定座上侧，所述驱动电机的输出轴伸入所述电机固定座内，所述驱动电机的输出轴与所述转轴通过联轴器连接。

6.根据权利要求1所述的电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，所述隔板包括上小下大的锥形板，所述凸出部设置在所述锥形板的上端，所述壳体的外壁上设有与所述锥形板的下侧上端连通的出液管，所述出液管上设有截止阀。

7.根据权利要求2所述的电子级氨水生产用液氨蒸发器，其特征在于，所述加热腔内设有除雾网，所述加热腔的腔壁上设有位于所述除雾网上下两侧的固定板，两个所述固定板之间设有导向杆，所述除雾网的框架导向安装在所述导向杆上，所述导向杆上套装有两个分别位于所述除雾网上下两侧的缓冲弹簧，缓冲弹簧的两端分别与所述安装板以及除雾网的框架连接，所述密封塞的下端固定连接有传动杆，所述传动杆的下端设有密封塞下行时推动除雾网下行的固定块。

技术总结
本发明涉及一种电子级氨水生产用液氨蒸发器。该电子级氨水生产用液氨蒸发器包括壳体，壳体内具有将壳体内部分隔成蒸发腔以及纯化腔的隔板，隔板的上端设有向凸出部，凸出部的外壁上设有出气孔，纯化腔内转动安装有转轴，壳体上设有驱动转轴转动的驱动机构，纯化腔内设有若干个环绕转轴布置的纯化器，纯化器包括外壳，外壳内设有将外壳内部分隔成加热腔以及排气腔的隔断，加热腔内设有加热盘管，外壳的下端设有与加热腔连通的进气孔，进气孔上设有进气单向阀，隔断上设有连通加热腔以及排气腔的连通孔，连通孔上设有连通单向阀。本发明的电子级氨水生产用液氨蒸发器提高了氨蒸汽纯净度，有助于提高氨气纯度，使生产的氨水达到电子级。

技术研发人员：李凌云,杨华春,于贺华,赵年斌,侯利芳,吴海峰,张小霞,冯晓港,高胜军
受保护的技术使用者：多氟多新材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1