一种补液装置及臭氧水分解系统的制作方法

本发明涉及半导体，尤其涉及一种补液装置及臭氧水分解系统。

背景技术：

1、臭氧和臭氧水都具有非常强的氧化能力，在溶液中，臭氧的氧化电位仅比氟低。臭氧水可将溶液中的有机物氧化为η2o和co2、有机酸等，金属元素可氧化到最高价。因而，可利用臭氧水的超强氧化能力，在化学清洗中替代η2o2。在光伏领域中经常利用臭氧水的氧化能力进行清洗，比如制绒前清洗、制绒后清洗、碱抛后清洗和去绕镀后清洗，同时通过臭氧水的氧化能力，也可适用于杀菌和氧化。

2、臭氧水在理想条件下自然分解需要几十分钟到数个小时，由于臭氧水对人体有害，需要尽快对使用后排放的臭氧水进行分解处理。

3、现有技术中臭氧水的分解系统包括反应室、导液管和补液装置，反应室的一端与导液管连接，反应室的侧壁与补液装置连接；导液管用于将臭氧水排入反应室内，补液装置通过软管用于将反应液导入反应室内以使臭氧水与反应液发生反应。由于臭氧水的分解系统在进行臭氧水分解反应时所需反应液的量和对反应室内进行换液时所需反应液的量不同，所以现有设备中补液装置设置了两个软管，用以导入不同量的反应液。但是采用两个软管输液的结构，既会占用更大的空间，又会在反应室上增设阀的数量，从而会影响到反应室的密封性。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种补液装置及臭氧水分解系统，实现对反应液排放速度调节的同时，减少了安装空间，增加了密封性。

2、为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种用于提供反应液的补液装置，包括储液器、导液管和调节器；

3、所述储液器用于盛放反应液；

4、所述导液管的一端与所述储液器连通，所述导液管的另一端用于与反应室连通；

5、所述调节器包括容纳箱和调节件，所述容纳箱设置在所述导液管上，以使所述导液管的反应液通过所述容纳箱排出，所述调节件活动的设于所述容纳箱内，用于调节从所述容纳箱内排放反应液的速度。

6、在一些实施例中，所述导液管包括第一管道、第二管道和第三管道；其中，

7、所述第一管道的一端与所述储液器连通，所述第一管道的另一端与所述容纳箱的顶部连通；

8、所述第三管道穿设于所述第二管道内，且所述第二管道的一端和所述第三管道的一端均与所述容纳箱的底部连通，所述第二管道的另一端和所述第三管道的另一端均用于与所述反应室连通；

9、所述调节件设于所述容纳箱内，用于将所述第一管道内的液体引流至所述第三管道内，或将所述第一管道内的液体引流至所述第三管道和所述第二管道内。

10、在一些实施例中，所述调节器包括传动机构；

11、所述调节件具有伸缩部和引流部，所述调节件延其轴向开设有引流通道，所述引流通道贯穿所述伸缩部和所述引流部，所述伸缩部与所述第一管道连通，所述引流部对应所述第三管道，以使所述引流部与所述第三管道同轴设置；

12、所述传动机构设于所述容纳箱的侧壁并与所述引流部连接，用于带动所述引流部插入所述第三管道内，或带动所述引流部位于所述第三管道的上方。

13、在一些实施例中，所述调节器还包括驱动器和固定件；

14、所述驱动器设于所述容纳箱的外侧壁，并与位于所述容纳箱内的所述传动机构连接，所述驱动器用于带动所述传动机构运动；

15、所述固定件设于所述传动机构上，所述固定件的一端与所述引流部连接。

16、在一些实施例中，所述传动机构包括传动组件、第一移动件和第二移动件；

17、所述驱动器与所述第一移动件连接，用于带动所述第一移动件运动；

18、所述第二移动件可滑动的设于所述第一移动件上，且所述第一移动件和所述第二移动件通过所述传动组件活动连接；

19、当所述驱动器带动所述第一移动件上下移动时，所述第二移动件相对于所述第一移动件同样进行上下移动。

20、在一些实施例中，所述调节器还包括支撑箱，所述传动组件包括驱动链条、第一直齿条、第二直齿条、转动杆、第一齿轮和第二齿轮；

21、所述第一移动件的侧壁设有直线齿条结构，所述驱动链条与所述驱动器连接，所述驱动链条与所述直线齿条结构啮合，用于带动所述第一移动件移动；

22、所述转动杆可转动的设于所述支撑箱，且位于相对设置的所述第一移动件和所述第二移动件之间；

23、所述第一直齿条和所述第二直齿条位于所述转动杆的相同侧间隔设置，且所述第一直齿条与所述第一移动件连接，所述第二直齿条与所述第二移动件连接；

24、所述第一齿轮和所述第二齿轮间隔的套设于所述转动杆，且所述第一齿轮与所述第一直齿条啮合，所述第二齿轮与所述第二直齿条啮合；

25、所述固定件设于所述第二移动件，且所述固定件靠近所述第三管道一侧。

26、在一些实施例中，所述第二移动件靠近所述第一移动件的侧壁还设有滑动凸块，所述滑动凸块的沿所述调节件的轴向延伸，且所述滑动凸块位于所述第一直齿条和所述第二直齿条的侧边；

27、所述第一移动件对应所述滑动凸块开设有滑动槽，所述滑动凸块可滑动的设于所述滑动槽内。

28、在一些实施例中，还包括位于所述容纳箱内的缓冲套，所述缓冲套嵌设于所述第三管道的一端。

29、在一些实施例中，还包括具有弹性的支撑件，所述支撑件设于所述缓冲套的侧边，且所述支撑件的一端与所述缓冲套连接，所述支撑件的另一端与所述第三管道连接。

30、在一些实施例中，所述缓冲套为橡胶套，所述缓冲套呈喇叭状结构。

31、第二方面，本发明实施例提供一种臭氧水分解系统，包括反应室、排液管和所述的补液装置；

32、所述排液管的一端与所述反应室连通，用于将臭氧水导入至所述反应室内；

33、所述补液装置与所述反应室连通，用于将反应液导入至所述反应室内与臭氧水反应。

34、本发明提供的一种补液装置及臭氧水分解系统的有益效果在于：

35、1、通过设置调节器可以调节导液管排放反应液的速度，以满足反应室内对所需反应液量的大小调节。

36、2、结构简单，占用空间少，增加了反应室的密封性。

37、3、采用本实施例中的传动机构可实现快速的反应液排放速度调整，提高流量调整的效率。

38、4、通过设置缓冲套，避免调节件与第三管道的端面直接接触导致结构的磨损。

技术特征：

1.一种用于提供反应液的补液装置，其特征在于，包括储液器、导液管和调节器；

2.根据权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述导液管包括第一管道、第二管道和第三管道；其中，

3.根据权利要求2所述的补液装置，其特征在于，所述调节器包括传动机构；

4.根据权利要求3所述的补液装置，其特征在于，所述调节器还包括驱动器和固定件；

5.根据权利要求4所述的补液装置，其特征在于，所述传动机构包括传动组件、第一移动件和第二移动件；

6.根据权利要求5所述的补液装置，其特征在于，所述调节器还包括支撑箱，所述传动组件包括驱动链条、第一直齿条、第二直齿条、转动杆、第一齿轮和第二齿轮；

7.根据权利要求6所述的补液装置，其特征在于，所述第二移动件靠近所述第一移动件的侧壁还设有滑动凸块，所述滑动凸块的沿所述调节件的轴向延伸，且所述滑动凸块位于所述第一直齿条和所述第二直齿条的侧边；

8.根据权利要求2所述的补液装置，其特征在于，还包括位于所述容纳箱内的缓冲套，所述缓冲套嵌设于所述第三管道的一端。

9.根据权利要求8所述的补液装置，其特征在于，还包括具有弹性的支撑件，所述支撑件设于所述缓冲套的侧边，且所述支撑件的一端与所述缓冲套连接，所述支撑件的另一端与所述第三管道连接。

10.根据权利要求8所述的补液装置，其特征在于，所述缓冲套为橡胶套，所述缓冲套呈喇叭状结构。

11.一种臭氧水分解系统，其特征在于，包括反应室、排液管和权利要求1至10任一项所述的补液装置；

技术总结
本发明提供了一种补液装置及臭氧水分解系统，包括储液器、导液管和调节器；所述储液器用于盛放反应液；所述导液管的一端与所述储液器连通，所述导液管的另一端用于与反应室连通；所述调节器包括容纳箱和调节件，所述容纳箱设置在所述导液管上，以使所述导液管的反应液通过所述容纳箱排出，所述调节件活动的设于所述容纳箱内，用于调节从所述容纳箱内排放反应液的速度。本发明公开的补液装置通过在一根所述导液管上设置所述调节器来切换反应液的流量大小，减少了设备安装空间，并且无需在反应室上增设控制阀，提高反应室的密封性。

技术研发人员：韩培丁,刘运宇,张良
受保护的技术使用者：上海钧乾智造科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4