空气输入装置的制作方法

本技术属于空气处理，特别是涉及一种空气输入装置。

背景技术：

1、在半导体行业晶圆的生产环节中，需要 efem（半导体设备前端模块）设备对晶圆进行分类、预对准搬运传输等工作。而efem设备使用需要过滤酸性、碱性、水和有机化合物，需要提供恒温恒湿的洁净空气；

2、目前行业内主要的设备供应商如brooks、rorze、siasun等主要还是采用efem设备顶部空气过滤器在efem设备内部产生的从上往下高洁净气流。但是目前的空气过滤单元普遍存在送风的风速不均匀，导致内部压力不均衡。

技术实现思路

1、本实用新型主要解决的技术问题是提供一种空气输入装置，进风网板和过滤模块之间设有第一均流腔，过滤模块和加热模块之间设有第二均流腔，加热模块和进风罩之间设有第三均流腔，均流腔的设置起到均流的作用，对进入空气输入装置的气流进行缓冲，使空气均匀的流入efem设备。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种空气输入装置，包括进风网板、过滤模块、加热模块和进风罩，所述进风网板位于所述过滤模块的上方，所述过滤模块位于所述加热模块的上方，所述加热模块位于所述进风罩的上方，所述进风网板安装于壳体，所述壳体的内部设有所述过滤模块和所述加热模块，所述进风罩固定于所述壳体，所述壳体与所述进风罩连通，使空气恒温恒湿，efems设备内实际运行湿度能够控制在±1.5%以内，温度在±2℃以内，从而提高晶圆产品良品率；

3、所述进风网板具有均匀排布的进风孔，所述进风孔贯穿所述进风网板的上、下表面，所述进风网板的侧边向下延伸翻卷形成延长段，所述延长段与所述进风网板相互垂直设置，所述进风网板和所述过滤模块之间设有第一均流腔；

4、所述过滤模块和所述加热模块之间设有第二均流腔，所述加热模块和所述进风罩之间设有第三均流腔，均流腔的设置起到均流的作用，对进入空气输入装置的气流进行缓冲，使空气均匀的流入efem设备；

5、所述加热模块包括固定框和固定于固定框的若干根加热管，若干根所述加热管均匀排布于所述固定框的内部，且若干根所述加热管相互平行设置；

6、所述进风罩为下大上小的结构，所述进风罩的相对两侧壁为斜面，且斜面的倾斜方向沿着壳体内空气流动的方向逐渐向所述进风罩的外侧倾斜。

7、进一步地说，所述壳体的内壁安装有第一安装框，所述过滤模块放置于所述第一安装框的上方，所述第一安装框环绕所述壳体的内壁一周形成所述第二均流腔。

8、进一步地说，所述壳体的内壁安装有第二安装框，所述过滤模块的固定框通过螺丝固定于所述第二安装框的上方，所述第二安装框环绕所述壳体的内壁一周形成所述第三均流腔。

9、进一步地说，所述进风罩的四个内臂皆设有横向设置的折弯补强件。

10、进一步地说，所述折弯补强件为u型折弯件，且所述u折弯件的两侧向外延伸形成连接段，螺丝穿过连接段与进风罩连接以使折弯补强件固定于所述进风罩。

11、进一步地说，所述过滤模块包括活性炭和包覆于活性炭的无纺布。

12、进一步地说，所述进风网板通过螺丝固定于壳体。

13、进一步地说，所述壳体的壁厚为2mm，且所述壳体为铝壳体。

14、进一步地说，所述壳体的外壁设有把手，螺丝穿过把手与固定板连接，所述固定板位于所述壳体的内壁。

15、本实用新型的有益效果至少具有以下几点：

16、本实用新型的进风网板的侧边向下延伸翻卷形成延长段使进风网板和过滤模块之间设有第一均流腔，过滤模块和加热模块之间设有第二均流腔，加热模块和进风罩之间设有第三均流腔，均流腔的设置起到均流的作用，对进入空气输入装置的气流进行缓冲，使空气均匀的流入efem设备；

17、本实用新型的进风网板位于过滤模块的上方，过滤模块位于加热模块的上方，加热模块位于进风罩的上方，使空气恒温恒湿，efems设备内实际运行湿度能够控制在±1.5%以内，温度在±2℃以内，从而提高晶圆产品良品率；

18、本实用新型的进风罩的四个内臂皆设有横向设置的折弯补强件，保证进风罩的强度；

19、本实用新型的壳体的外壁设有把手，螺丝穿过把手与固定板连接，固定板位于壳体的内壁，通过固定板的设置，增加接触面积，在提拉把手使防止损坏壳体。

技术特征：

1.一种空气输入装置，其特征在于：包括进风网板（1）、过滤模块（2）、加热模块（3）和进风罩（4），所述进风网板位于所述过滤模块的上方，所述过滤模块位于所述加热模块的上方，所述加热模块位于所述进风罩的上方，所述进风网板安装于壳体（5），所述壳体的内部设有所述过滤模块和所述加热模块，所述进风罩固定于所述壳体，所述壳体与所述进风罩连通；

2.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述壳体的内壁安装有第一安装框（51），所述过滤模块放置于所述第一安装框的上方，所述第一安装框环绕所述壳体的内壁一周形成所述第二均流腔。

3.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述壳体的内壁安装有第二安装框（52），所述过滤模块的固定框通过螺丝固定于所述第二安装框的上方，所述第二安装框环绕所述壳体的内壁一周形成所述第三均流腔。

4.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述进风罩的四个内臂皆设有横向设置的折弯补强件（42）。

5.根据权利要求4所述的空气输入装置，其特征在于：所述折弯补强件为u型折弯件，且所述u型折弯件的两侧向外延伸形成连接段（43），螺丝穿过连接段与进风罩连接以使折弯补强件固定于所述进风罩。

6.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述过滤模块包括活性炭和包覆于活性炭的无纺布。

7.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述进风网板通过螺丝固定于壳体。

8.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述壳体的壁厚为2mm，且所述壳体为铝壳体。

9.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述壳体的外壁设有把手（53），螺丝穿过把手与固定板（54）连接，所述固定板位于所述壳体的内壁。

技术总结
本技术公开了一种空气输入装置，包括进风网板、过滤模块、加热模块和进风罩，所述进风网板位于所述过滤模块的上方，所述过滤模块位于所述加热模块的上方，所述加热模块位于所述进风罩的上方，所述进风网板安装于壳体，所述壳体的内部设有所述过滤模块和所述加热模块，所述进风罩固定于所述壳体，所述壳体与所述进风罩连通。本技术的进风网板和过滤模块之间设有第一均流腔，过滤模块和加热模块之间设有第二均流腔，加热模块和进风罩之间设有第三均流腔，均流腔的设置起到均流的作用，对进入空气输入装置的气流进行缓冲，使空气恒温恒湿，EFEMS设备内实际运行湿度能够控制在±1.5%以内，温度在±2℃以内，从而提高晶圆产品良品率。

技术研发人员：刘晓彤,余杭,倪素丽
受保护的技术使用者：苏州悠远环境科技有限公司
技术研发日：20230116
技术公布日：2024/1/12