一种手套箱内MO源蒸汽回收处理系统的制作方法

本技术属于mo源蒸汽回收处理，具体涉及一种手套箱内mo源蒸汽回收处理系统。

背景技术：

1、mo源(高纯金属有机化合物)，是采用金属有机化学气相沉积(mocvd)技术进行外延生长时的支撑材料，如gaas、gan、inp、algaas等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产led外延片、hemt器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。高纯金属有机化合物(mo源)是一种具有非常活泼的化学性质对空气和水极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。mo源产品灌装需在充满惰性气体的手套箱中进行。mo源钢瓶灌装过程：首先向含有mo源产品的产品罐氮气冲压，通过灌装管线及灌装工具把mo源灌装到客户所需要的各种规格的钢瓶内。由于mo源产品的蒸气压高、沸点较低造成mo挥发性也特别强，所以在灌装过程中mo源蒸汽浓度会越来越高，当灌装完毕后浓度达到最高。由于mo源具有一定腐蚀性，其蒸汽浓度太高会让手套箱手套，高精度电子秤极易损坏；其化学性质易燃易爆，所以灌装手套箱维修保养也存在很大的安全隐患。其氧化物容易对手套箱内部的氧气传感器、水分传感器、风机、吸收装置(内部是在生材料，主要起到吸收水分、氧气的作用)、手套等部分造成损坏，每年要花费大量费用进行维护和更换部件。mo源本身是一种昂贵的光电材料，所以mo源灌装手套箱中的mo源蒸汽的回收处理技术对mo源各厂商是至关重要的。

2、早前的处理技术是mo源灌装完毕后，把手套箱压力范围设置为1-3mbar，再打开手套箱小舱抽真空开关，真空泵会一直对手套箱抽真空，当手套箱压力低于1mbar系统会打开连通氮气的电磁阀对手套箱补气，补充到3mbar电磁阀会自动关闭，如此反.复来回进行置换手套箱mo源蒸汽，手套箱内mo源蒸汽通过真空泵直接抽走再通过真空排气管道，再经过石蜡油吸收后排空。这种方法存在很多弊端如：换气时间较长对真空泵损害特别大，置换的mo源蒸汽在真空尾气管道形成氧化，极易造成管道堵塞，在生产、灌装及拆卸作业时均存在较大的安全隐患，其次手套箱内的mo源蒸汽得不到充分的回收利用，对于企业来说也是不小的损失。

3、因此，现阶段迫切需要一种高效、安全、环保、节约的科学处理技术来替代之前这种弊大于利的mo源灌装手套箱内mo源蒸汽处理技术。

技术实现思路

1、针对上述现有技术中的问题，本实用新型提供了一种手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，用以针对mo源蒸气提供一种高效、安全、环保、节约的科学处理技术，使mo源蒸汽得到充分的回收利用。

2、本实用新型通过以下技术方案实施：一种手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，包括mo源灌装手套箱，其中，所述mo源灌装手套箱出口分别连通于补气管路、抽气管路，所述补气管路、所述抽气管路并联设置，所述补气管路终端设有液氮塔，所述抽气管路中依次串联设有一级回收缓冲罐、二级回收缓冲罐、真空泵、石蜡油吸附装置，所述一级回收缓冲罐外部套合设有一级冷阱，所述二级回收缓冲罐外部套合设有二级冷阱。

3、进一步的，所述mo源灌装手套箱与所述液氮塔之间的所述补气管路中依次串联设有氮气缓冲罐、氮气纯化器、汽化器。

4、进一步的，所述真空泵与所述石蜡油之间的所述抽气管路中设有防倒吸储罐。

5、进一步的，所述mo源灌装手套箱出口管路连接设有压力感应器，所述补气管路、所述抽气管路皆连接设有至少一个电磁阀，所述压力感应器、所述电磁阀皆与dcs控制系统形成电气连接。

6、进一步的，所述一级回收缓冲罐、所述二级回收缓冲罐的入口端、出口端皆串联设有隔膜阀，在任一所述回收缓冲罐中，两个所述隔膜阀在远离所述回收缓冲罐的一端共同连通设有支管路，所述支管路中串联设有另一隔膜阀。

7、进一步的，所述一级回收缓冲罐、所述二级回收缓冲罐之间的所述抽气管路与所述补气管路之间连通设有支管路，所述支管路中串联设有隔膜阀。

8、进一步的，所述一级回收缓冲罐与所述二级回收缓冲罐之间的所述抽气管路中设有压力变送器。

9、进一步的，所述石蜡油吸附装置出口端连通设有单向阀。

10、有益效果：本系统通过抽气管路内设有的一级、二级回收缓冲罐及冷阱装置，当mo源蒸气被抽至一级回收缓冲罐时，由于冷阱低温会令mo源蒸汽冷凝至缓冲罐内，剩余部分未冷凝的mo源蒸汽会继续在二级缓冲罐内冷凝回收，从而能更为彻底地回收mo源蒸汽；同时，由于控制过程中的气压波动会造成一级回收缓冲罐内的气体溢出至后续管路，此时溢出的mo源蒸气由二级回收缓冲罐进行吸收，以此对真空泵起到保护作用，确保流经真空泵及石蜡油吸附装置的mo源蒸气成分始终处于极低甚至忽略不计的含量，有效降低真空泵及真空尾气管道所受的氧化损害，保障真空部件的正常使用性能，提升作业安全系数；此外，在完成回收作业后，可将设有冷阱的回收缓冲罐拆卸取出并直接作为回收蒸气的低温储存设备，令mo源蒸汽得到充分的回收利用，为mo源蒸气提供高效、安全、环保、节约的科学处理技术。

技术特征：

1.一种手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，包括mo源灌装手套箱，其特征在于：所述mo源灌装手套箱的出口分别连通于并联设置的补气管路、抽气管路，所述补气管路终端设有液氮塔，所述抽气管路中依次串联设有一级回收缓冲罐、二级回收缓冲罐、真空泵、石蜡油吸附装置，所述一级回收缓冲罐外部套合设有一级冷阱，所述二级回收缓冲罐外部套合设有二级冷阱。

2.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述mo源灌装手套箱与所述液氮塔之间的所述补气管路中依次串联设有氮气缓冲罐、氮气纯化器、汽化器。

3.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述真空泵与所述石蜡油之间的所述抽气管路中设有防倒吸储罐。

4.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述mo源灌装手套箱的出口管路连接设有压力感应器，所述补气管路、所述抽气管路皆连接设有至少一个电磁阀，所述压力感应器、所述电磁阀皆与dcs控制系统形成电气连接。

5.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述一级回收缓冲罐、所述二级回收缓冲罐的入口端、出口端皆串联设有隔膜阀，在任一回收缓冲罐中，两个所述隔膜阀在远离回收缓冲罐的一端共同连通设有支管路，所述支管路中串联设有另一隔膜阀。

6.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述一级回收缓冲罐、所述二级回收缓冲罐之间的所述抽气管路与所述补气管路之间连通设有支管路，所述支管路中串联设有隔膜阀。

7.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述一级回收缓冲罐与所述二级回收缓冲罐之间的所述抽气管路中设有压力变送器。

8.如权利要求1所述的手套箱内mo源蒸汽回收处理系统，其特征在于：所述石蜡油吸附装置的出口端连通设有单向阀。

技术总结
一种手套箱内MO源蒸汽回收处理系统，其中MO源灌装手套箱出口分别连通于补气管路、抽气管路，补气管路终端设有液氮塔，抽气管路中依次串联设有一级回收缓冲罐、二级回收缓冲罐、真空泵、石蜡油吸附装置，一级回收缓冲罐外部套合设有一级冷阱，二级回收缓冲罐外部套合设有二级冷阱。由于冷阱低温令MO源蒸汽在一级、二级缓冲罐内冷凝回收，同时利用一、二级缓冲罐及冷阱的串联结构，能够避免气压波动影响并更为彻底地回收MO源蒸汽，确保流经真空泵的MO源蒸气成分始终处于忽略不计的含量，有效降低真空泵及真空尾气管道所受的氧化损害，提升作业安全系数，令MO源蒸汽得到充分的回收利用，为MO源蒸气提供高效、安全、环保、节约的科学处理技术。

技术研发人员：徐洪林
受保护的技术使用者：江西佳因光电材料有限公司
技术研发日：20230224
技术公布日：2024/1/12