一种反应回流塔的制作方法

本技术涉及六氟乙烷，特别涉及一种反应回流塔。

背景技术：

1、六氟乙烷在半导体与微电子工业中用作等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂，还可用于光纤生产与低温制冷。因其具有无毒无臭、高稳定性而被广泛应用在半导体制造过程中。通常以活性炭与氟为原料进行制发，但由于制造六氟乙烷时需要进行加热，反应装置中的水分不断蒸发，待水分蒸发完全后会导致反应装置过热，影响反应速率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于，提供一种反应回流塔，能够将生产六氟乙烷中的水蒸气进行冷凝回流，能够持续带走反应装置内过剩热量，维持反应装置内各点的热平衡，同时方便将带走的热量进行回收利用，降低生产成本。

2、为实现上述目的，提供一种反应回流塔，包括：罐体，所述罐体的侧端固定连接有固定架，且固定架位于罐体的下端，所述固定架套接于罐体，所述固定架的下端固定连接有支撑架，所述支撑架的下端固定连接有底座，所述罐体的内部设置有腔室，所述腔室的侧端固定连接有冷却板，且冷却板位于腔室的两侧并交错排列，所述罐体的下端中部固定连接有出料管二，所述罐体的侧端中部固定连接有进料管，所述罐体的上端固定连接有出料管一，所述进料管、出料管一和出料管二贯穿罐体，且延伸至腔室内。能够持续带走反应装置内过剩热量，维持反应装置内各点的热平衡。

3、根据所述的一种反应回流塔，所述罐体的侧端固定连接有冷却阀，且冷却阀位于冷却板的侧端，所述冷却阀的内部设置有输入通道和输出通道，所述输入通道与输出通道穿过冷却阀，且贯穿罐体。能够将冷却液通入冷却板内，冷凝水蒸气。

4、根据所述的一种反应回流塔，所述冷却板的内部设置有冷却盘管，所述冷却盘管的输入端固定连接于输入通道，所述冷却盘管的输出端固定连接于输出通道。能够增大冷却板的冷却面，提高冷凝水蒸气的效率。

5、根据所述的一种反应回流塔，所述冷却阀的侧端固定连接有管道，且管道远离罐体，所述管道分别固定连接于输入通道和输出通道，且管道使冷却阀串联。能够使冷却液不断流动，不断带走水蒸气中的热量。

6、根据所述的一种反应回流塔，所述冷却板和腔室侧壁为金属铜材质。防止回流塔被氟气所腐蚀。

7、根据所述的一种反应回流塔，所述冷却板向下倾斜一定角度，且冷却板的表面光滑。能够减少冷却板表面的水分残留，保证水蒸气冷凝的效率。

8、本实用新型的有益效果如下：利用冷却板能够将生产六氟乙烷时产生的水蒸气进行冷凝回流，维持反应装置内各点的热平衡，并且降低六氟乙烷气体中的水蒸气含量。

9、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种反应回流塔，其特征在于，包括：罐体(2)，所述罐体(2)的侧端固定连接有固定架(4)，且固定架(4)位于罐体(2)的下端，所述固定架(4)套接于罐体(2)，所述固定架(4)的下端固定连接有支撑架(5)，所述支撑架(5)的下端固定连接有底座(6)，所述罐体(2)的内部设置有腔室(10)，所述腔室(10)的侧端固定连接有冷却板(11)，且冷却板(11)位于腔室(10)的两侧并交错排列，所述罐体(2)的下端中部固定连接有出料管二(9)，所述罐体(2)的侧端中部固定连接有进料管(3)，所述罐体(2)的上端固定连接有出料管一(1)，所述进料管(3)、出料管一(1)和出料管二(9)贯穿罐体(2)，且延伸至腔室(10)内。

2.根据权利要求1所述的一种反应回流塔，其特征在于，所述罐体(2)的侧端固定连接有冷却阀(8)，且冷却阀(8)位于冷却板(11)的侧端，所述冷却阀(8)的内部设置有输入通道(13)和输出通道(14)，所述输入通道(13)与输出通道(14)穿过冷却阀(8)，且贯穿罐体(2)。

3.根据权利要求2所述的一种反应回流塔，其特征在于，所述冷却板(11)的内部设置有冷却盘管(12)，所述冷却盘管(12)的输入端固定连接于输入通道(13)，所述冷却盘管(12)的输出端固定连接于输出通道(14)。

4.根据权利要求2所述的一种反应回流塔，其特征在于，所述冷却阀(8)的侧端固定连接有管道(7)，且管道(7)远离罐体(2)，所述管道(7)分别固定连接于输入通道(13)和输出通道(14)，且管道(7)使冷却阀(8)串联。

5.根据权利要求1所述的一种反应回流塔，其特征在于，所述冷却板(11)和腔室(10)侧壁为金属铜材质。

6.根据权利要求1所述的一种反应回流塔，其特征在于，所述冷却板(11)向下倾斜一定角度，且冷却板(11)的表面光滑。

技术总结
本技术公开了一种反应回流塔，包括：罐体，所述罐体的侧端固定连接有固定架，且固定架位于罐体的下端，所述固定架套接于罐体，所述固定架的下端固定连接有支撑架，所述支撑架的下端固定连接有底座，所述罐体的内部设置有腔室，所述腔室的侧端固定连接有冷却板，且冷却板位于腔室的两侧并交错排列，所述罐体的下端中部固定连接有出料管二，所述罐体的侧端中部固定连接有进料管，所述罐体的上端固定连接有出料管一，所述进料管、出料管一和出料管二贯穿罐体，且延伸至腔室内。能够将制造六氟乙烷时产生的水蒸气进行冷凝回流，能够持续带走反应装置内过剩热量，维持反应装置内各点的热平衡。

技术研发人员：王洪祥,王京,鲍飞,胡良平,巫健
受保护的技术使用者：福建省清流县东莹化工有限公司
技术研发日：20230313
技术公布日：2024/1/15